Способ изготовления микроканальных пластин Советский патент 1984 года по МПК H01J43/06 

2, Способ по п,1. отличающ и и с я тем, что метку создают.изменением регулярности структуры микроканальной пластины за пределами ее рабочей зоны путем изъятия или добавления одного или групп каналов при соединении волокон в блок.

3.Способ по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что резку блока осуществляют по плоскостям, перпендикулярным плоскости, проходящей через продольную ось блока и метку.

4.Способ по пп. 1 и 2, о т л и чающийся тем, что резку блока осуществляют по плоскостям, наклоненным относительно плоскости, проходящей

через продольную ось блока и метку , на угол, равный заданному углу наклона каналов в пластинах.

5. Способ по пп. 1 , и 2, отличающийся тем, что на наружной поверхности и/или в объеме блока создают две метки различного профиля, так, что, взятые попарно с продольной осью блока, они распсотагаются в несовпадающих плоскостях..

6. Способ по пп. 1-5, отличающийся тем, что при последовательной резке нескольких блоков плоскость резки ориентируют одинаковым образе относительно меток каждого из блоков.

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОКАНАЛЬНЫХ ПЛАСТИН с заданной ориентацией наклона каналов, включающий соединение волокон в многоволоконный блок, резку блока на пластины по параллельным плоскостям, «составлякщим с продольной осью блока заданный угол наклона каналов, и маркировку наклона каналов в пластинах, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии и повышения качества пластин и сборок из них, маркировку осуществляют до операции резки путем создания на поверхности или в объеме по длине блока по крайней мере одной метки, параллельной продольной оси блока.

1

Изобретение относится к технологии производства электровакуумных приборов (ЭВП).

Известен способ изготовления микро- канальных пластин (МКП), включающий операшга перетяжки волокон (полых или содержащих растворимый сердечник из металла или стекла), их укладки и спекания в многовопоконные блоки, резки блоков на отдельные пластины, кругления, шлифовки и полировки пластин, формирования вторично-эмиссионных слоев в каналах и нанесения проводящих электродов на торцовые поверхности. При этом для уменьшения обратных связей в ЭВП используют МКП с наклонными каналами. Для этого при изготовлешги МКП многоволоконные .блоки разрезают по параллельным плоскостям, наклоненным к оси блока, причем обычно угол между осью каналов и торцовой поверхностью получаемых пластин составляет 75-85 .

Недостатком этого способа изготовления МКП является то, что на готовой пластине направление наклона каналов неизвестно. Это затрудняет использование МКП и ЭВП, в которых необходимо ориентировать пластины с наклонными каналами определенным образом (например, в усилителе изображения - ориекгироватъ относительно фотокатода и экрана, в ФЭУ и ВЭУ с шевронной сборкой МКП ориентировать две пластины отнобительно друг друга). При использовании МКП с наклонными каналами в таких прибоpax необходимо определять направление наклона каналов в каждой из пластин и наносить на них какие-либо метки, что весьма усложняет производство.

Наиболее близким техническим решением к изобретению является способ изготовления МКП, включающий соединение волокон в многоволоконный блок, реэку блока на пластины по параллельным ПЛОСКОСГЯ.М, составляющим с продольной осью блока заданный угол наклона канала, и маркировку наклона каналов в пластинах 2J.

При нанесении метки на пластину по известнсялу способу пластину устанавливают на пути светового потока в калиброванной сщтической системе и врещают вплоть до максимального отклонения одной из осей калибровочного креста,расположенного перед пластиной, от соответствущей оси креста окуляра, после чего на пластине устанавливают метку в -точке Пересечения окружности пластины с другой осью креста.

Однако процесс ведется отдельно доя каждой пластины, что значительно повышает трудоемкость изготовления МКП. Возможна значительная неточность в определении направления наклона каналов, связанная с неточнЪстью юстировки оптической системы и определения мaкcvIмaльного отклонения оси калибровочного чреста. Во время определения наклона каианалов (и, в частности, в процессе вращения пластины) велика вероятность загрязнения поверхностей и каналов МКП, а также ухудшения качества торцовых поверхностей пластины, которые должны быть хорошо отполированы, не иметь рисок, потертостей, загрязнений и т.п. Целью изобретения является упрощение технологии и повышение качества, пластин и сборок из них. Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления микроканальных пластин с заданной ориентацией наклона каналов, ввлючаюшему соединение волокон в многоволоконный блок, резку блока на пластины по парал лельным плоскостям, составляющим с продольной осью блока заданный угол наклона каналов, и маркировку наклона каналов в пластинах, маркировку осущес вляют до операции резки путем создания на поверхности или в объеме по дпи не блока по крайней мере одной метки, параллельной продольной оси блока. В частности метку создают изменением регулярности структуры микроканальной пластины за пределами ее рабочей зоны путём изъятия или добавления одного или групп каналов при содиненин волокон в блок.. Резку блока осуществляют по плоскостям, перпендикулярным плоскости, проходящей через продольную ось блока и метку. В другом варианте резку осуществляют по плоскостям, наклоненным относительно плоскости, проходящей через про дольную ось блока и метку, на угол, равный заданному углу наклона каналов в пластинах. В варианте способа на наружной поверхности и/или в объеме блока создают две метки различного профиля 1ак, что, взятые попарно с продольной осью блока, они располагаются в несовпадак щих плоскостях. При последовательной резке нескольких блоков плоскость резки ориентируют одинаковым образом относительно меток каждого из блоков. На фиг. 1 показан общий случай наготовления с меткой по предлагаемд му способу, аксонометрии; на фиг.2 соответствующая ортогональная проекция; на фиг.З и 4 - варианты предлага емого способа, различаюшиеся .ориентацией плоскости резки многоволоконного блока; на фиг.5 - вариант способа с двумя метками; на фиг. 6-варианты об разования меток в объеме многовопоконного блок МноговопоконныЙ блок 1 (см.фиг. 1 и 2), собрашп 1Й, например, из бопьщого числа отдельных волсжон, имеет в сеченнв форму круга. Вдоль его наружной поверхности наносят продольную метку, например в виде лыски 2. Затем блок режут по параллельным плоскостям 3-5, наклоненным к продольной оси блока QX под заданным утлом наклона канала об , напромф оС 80 , Части многоволоконного блока 1, полученные после его резки (например, части 6 и 7), проходят затем . общеизвестные операции при изготовлении МКП; кругление, шлифовка, пошфовка, нанесение электродов и т.д. При достаточной глубине лыски 2 на блоке 1 после кругления и других операций на боковой поверхности пластины сохраняются лыски 2, одинаково ориентированные у всех пластин относительно плоскости наклона каналов в МКП, По варианту изготовления пластин фиг.З) после образования на.поверхности блока 1 метки 8 , например в виде лыски, параллельной оси ОЛ блока, блок 1 разрезают по плоскостям 9-11, наклоненным к оси блока под углом наклона S и перпендикулярным плоскости, проходящей через ось блока ОХи метку 8 (т.е. по плоскостям, перпендикулярным плоскости данной фигуры). МКП, образованные из участков 12 и 13 блока 1/ имеют метки в виде лыски 8, причем эти метки находятся совместно с осями пластин в плоскости, параллельной плоскости наклона каналов пластин. По другому варианту изготовления МКП с метками (фиг.4) на поверхности ьшоговолоконного блока 1 образуют метку 14 (например, в виде глубокой риски), параллельную продольной оси блока , а затем блок 1 разрезают по параллельным плоскостям 15-17, наклоненным к оси блока и к плоскости, содержащей эту ось и метку 14, на заданный угол наклона каналов оС . МКП, образованные из участков 18 и 19 блока 1, имеют метки 14 в виде рисок, причем эти метки находятся совместно с осями пластин в плоскости, пер тевдикулярной плоскости наклона каналов плпстин. По варианту изгoтoвлe raя МКП с двумя метками .(фиг.5) на поверхности многоволоконного блока 1 создают метку 2О, например в виде лыски, и метеку другого npo-j филя 21 в виде, например, риски. Причем метS10ЙKii параллельны оси блока .1и, взятые п( парно, с этой осью находятся, например, в перпендикулярных плоскостях. Затем блок 1 разрезают по параллельным плоскостям 22-24, наклоненным к продольной оси блока 1 на заданный угол наклона каналовоС . МКП, образованные из участ ков 25 и 26 блока 1, имеют, каждая две метки: в виде лыски 2О и риски 21. При этом метки 2О находятся совместно с осями пластин в плоскости, параллельной плоскости наклона каналов, а взаимно расположение меток 21 и 20 офюзначно определяет расположение торцовых поверхностейпластин. В совокупности ме-гки 20 и 21 указывают не только влоо- кость, но и направление наклона каналов в МКП. На фиг. 5 показан вариант создания продольных меток на примере МКП с обрамлением из моношггного стекла. Для этого в процессе укладки отдельных волокон в многоволокошюм блоке 27 изменяют регулярность укладки отдельных волокон, например, путем укладки дополнительного волокна (или нескольких всяокон) 28 или пропуска 29 в укладке волокон. После этого мнсяоволоконный блок обжимают цилиндром из монолитного стекла ЗО, что закрепляет структуру с метками 27-28, параллельными волокнам блока. После резки такого блока по параллельным плоскостям, наклоненным к продольной оси блока, образуются пластины, на торцовых поверхностях которых имеются ълетка 27 и 28, одинаково орие тированные к направлению наклона каналов в пластинах. . При сборке МКП с метками, указываю щими наклон каналов, в шевронные конструкций достаточно развернуть их мег.ками в противопсуюжные стороны или со вместить эти метки (в зависимости от принятого варианта нанесения меток на многовопоконный блок и резки блока). Многоволоконный блок разрезают на станке, который содержит вертикально расположенный алмазный нож и горизонтально расположенный технологический стоя, где размешено поворотное приспособление с оправкой для крепления блока, причем на вертикальной поверхности О1Ьравки имеется риска, параллельная плоскости технологического стола. Технологический стоп имеет возможность перемещения относительно ножа в перпендику 0 лярной ему горизонтальной плоскости в двух направле.даях; продольном - направление, перпендикулярное плоскости ножа , и поперечном - направление вдсмь ножа (параллельно его плоскости),. Перед операцией резки блок с нанесенной на его, боковой поверхности продольной меткой закрепляют (наклеивают) торцовой поверхностью на оправке таким образом, что центр симметрии (или центр тяжести) торцовой поверхности блока и метка находятся на горизонтальной прямой, параллельной поверхности технологического стола.Для этого перед закреплением блока на его торцовой поверхности наносят риску, соединяющую центр симметрии торцовой поверхности блока и метку, а при закреплении блока в оправке указанную риску совмещают с риской, нанесенной по вертикальной поверхности оправки. Оправку с закрепленным на ней блоком развертьгоают в гхэризонтальной плоскости так, что угол между продольной осью блока и направлением продольного перемещения технологического стола равен заданному углу наклона каналов МКП. Развернутый на заданный угол наклона блок поступательным перемещением технологического стола в поперечном направлении разрезают. После этого перемещают технологический стол с блоком в продольном на- . правлении под нОж на расстояние, равное толщине МКП (с припуском на последук Щие шлифовку и полировку) и повторяют резку блока, для чего снова перемещают технологический стол с блоком в поперечном направлении и т.д. Данный способ обеспечивает упрощение технологии и повьпиение качества МКП. В частности, повьпдается точность маркировки наклона каналов в МКП, так как маркировка ведется не отдельно для каждой пластины, а обеспечивается проо тыми технологическими операциями, одновременно длЯ всех изготавливаемых из данного блока пластин. В результате этого точность маркировки наклона в МКП фактически оказывается сравнимой с точностью выполнения заданного наклона каналов при резке блока. Кроме того, исключаются загрязнения и ухудшение качества поверхности МКП, которые возможны при известных способах, а также облегчается Сборка пластин в шеврон. / . у 13 12 17 16 15 /2 фиг ФигЛ

Фиг.

30

27