Фотоэлектрический микроскоп Советский патент 1984 года по МПК G01B9/04 

Изобретение относится к измерительной техника и может использоваться для регистрации границы объекта при линейных и угловых измерениях. Известен фотоэлектрический микрос коп содержащий источник света, оптическую проекционную сист&му, щель, фотоприемник и блок регистрации 1J Недостаток микроскопа-невысокая точность измерения, обусловленная нечувствительностью к знаку смещения системы наведения от положения, соответствующего точному наведению на штрих, так как независимо от знака этого смещения два изображения штриха одинаково расходятся и дпительность соответствуюп|их импульсов от совмещеншях изображений штриха в обоих случаях возрастает. Наиболее близким по технической сущности к изобретению является фото электрический микроскоп, содержащий источник излучения и оптически связанные проекционную систему, призменный блок в виде двух скрепленных друг с другом светоделительного кубика и двух прямоугольных призм, установленных на смежных гранях симметрично относительно светоделитель- ной диагональной плоскости, щелевой модулятор и регистрирующий блок 2 Недостатком известного микроскопа является невысокая точность, обуслов ленная зависимостью результатов измерения от формы и размера штриха, поскольку дпя определения положения объекта необходимо получать отсчетны импульсы от обеих границ изображения объекта. Цель изобретения - повышение точности измерения. Указанная цель достигается тем, что фотоэлектрический микроскоп, содержащий источник излучения и оптически связаиные проекционную систему призменный блок в виде скрепленных друг с другом светоделительного куби ка и двух прямоугольных призм, установленных на смежных гранях симметр 1чно относительно светоделительной диагональной плоскости, щелевой модулятор и регистрирующий блок, снабжен третьей прямоугольной призмой, установленной с одной из двух прямоугольных призм на грани светоделительного кубика перпендикулярно опти ческой оси микроскопа, щелевой модулятор выполнен в виде двухщелевой диафрагмы, щели которой смещены в противоположные стороны от оптической оси на величину, равную длине щели, а величина смещения двух прямоугольных призм равна расстоянию между щелями щелевого модулятора. На чертеже представлена схема фотоэлектрического микроскопа. Фотоэлектрический микроскоп содержит источник 1 излучения, проекционную систему 2, призменный блок 3 в виде скрепленных друг с другом светоделительного кубика 4 и трех прямоугольных призм 5-7, призмы 5 и 6 установлены на смежных гранях симмет-. рично относительно светоделительной диагональной плоскости, призмы 6 и 7 установлены на грани светоделительного кубика 4 перпендикулярно оптической оси микроскопа со смещением, щелевой модулятор 8 выполнен в виде двухщелевой Диафрагмы, щели которой смещены в противоположные стороны от оптической оси на величину, равную длине щели, а величина смещения призм 6 и 7 равна расстоянию между щелями щелевого модулятора В, регистрирующий блок 9, а также объект 10, располагаемый на оптической оси микроскопа между источником I излучения и проекционной системой 2. Устройство работает следуюищм образом. Источник 1 излучения освещает объект 10, изображение границы которого проекционной системой 2 через призменный блок 3 проецируется в плоскость щелевого модулятора 8. Призмы 6 и 7 двойного изображения, смещены относительно оптической оси микроскопа в противоположные стороны,, при этом в плоскости щелей модулятора 8 образуются два изображения границы объекта 10, причем одно из изображений имеет вид ступеньки. Световой noTQK через щели модулятора 8 попадает на регистриру101ций блок 9. При перемещении границы объекта 10 к оптической оси микроскопа ва изображения границы объекта 10 перемещаются в направлении одно к ругому. В момент регистрации полоения границы объекта 10 при совпаении границы объекта 10 с оптичесой осью микроскопа в плоскости щеей щелевого модулятора 8 образуютя два щтриховых знака, один - светый на темном поле, другой - темный 3 10894 на светлом поле, причем ширина их одинакова. При отклонении границы объекта 10 относительно оптической оси в ту или иную сторону ширина знаков меняется, причем одного увеличи-s вается, а другого - уменьшается. При сканированииизображений границы щелевым модулятором 8 с амплитудой. С ольшей суммы ширины щели и половины ;расстояния между щелями, в регистри-ю рующий блок 9 поступают импульсы фототока. В случае, когда граница объекта 10 не доходит до оптической оси или переходит ее, длительности импульсов фототоков не равны и толь-is 054 ко в момент совпадения границы объекта 10 с оптической осью наступает равенство длительностей импульсов. Равенство длительностей импульсов можат быть зафиксировано любым из известных способов, Таким образом, при помощи предлагаемой конструкции фотоэлектрического микроскопа получают т счетные импульсЫ от одной границы изображения объекта, благодаря чему на точность измерения не влияет форма и размер объекта, а также соотношение его с шириной щ&пи модулятора.

ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МИКРОСКОП, содержавши .источник излучения и оптически связанные проекционную систему, приэменный блок в виде скрепленных друг сдругом светоделительного кубика и двух прямоугольных призм, установленных на смежных гранях симметрично относительно светоделительной диагональной плоскости, щелевой модулятор и регистрирующий блок, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, он снабжен третьей прямоугольной призмой, установленной с одной из двух прямоугольных призм на грачи светоделительного кубика перпендикулярно оптической оси микроскопа, щелевой модулятор вьшолнен в виде двухщелевой диафрагмы, щели которой смещены в противоположные стороны от оптической оси на величину, равную длине щели, а величина смещения двух прямоуголь(Л lajx призм равна расстоянию между щелями щелевого модулятрра. ОО ;о 4 о ел