Фотоэлектрический микроскоп Советский патент 1974 года по МПК G01B9/04 

1

Изобретение относится к области измерительной техники и предназначено для высокоточной регистрации положений границы объекта при линейных и угловых измерениях.

Известен фотоэлектрический микроскоп, содержащий оптическую проекционную систему, щелевой модулятор, ось колебаний которого совмещена с визирной осью проекционной системы, фотоприемник и блок регист}зации.

Предложенный микроскоп отличается от известного тем, что он снабжен призмой двойного изображения, размещенной между проекционной системой и щелевым модулятором так, что визирная ось проекционной системы смещена с оси колебаний модулятора на величину, меньшую половины щирины его поля зрения.

Это позволяет повысить точность регистрации границы объекта на визирной оси микроскопа.

На фиг. 1 показана принципиальная схема предложенного микроскопа; на фиг. 2 урафики, поясняющие работу микроскопа.

Фотоэлектрический микроскоп содержит осветитель 1, проекциотгаый объектив 2, расположенные на оптической оси и образующие проекционную систему, призму двойного изображения 3, шелевой модулятор 4, коллектив 5, фотоприемник 6 и электронный блок регистрации 7. Объект 8 измерения располагается в плоскости предметов проекционного объектива 2.

При установке призмы двойного изобра жения 3 в плоскости колебаний модулятора 4 появляются два изображения кромки объекта 8, перемещающиеся при смещении объекта в разные стороны.

При смещении границы объекта 8 к визирной оси микроскопа кромки объекта смещаются в направлении одна к другой. В момент точной регистрации границы изображений объекта находятся встык одна к другой. При отклонении в ту или иную сторону изображения границы объекта либо не доходят одна до другой, либо накладьгоаются одна на другую, образуя при этом щтрихрвой знак переменной ширины. В том случае, когда граница объекта не доходит

до визирной оси, штрих светлый, а остальное поле темное (см. фиг, 2а). В случае, когда граница объекта переходит визирную ось микроскопа, штрих темный на более светлом поле (см фиг. 26).

Так как формирование штриха происходит не на оси колебаний модулятора 4, то и в первом и во втором случаях возникает сигнал, в котором присутствует сигнал остновной частоты и при смещении объекта 8 изменяется только его-амплитуда.

Кроме этого, автоматически от первого случая ко второму изменяется фаза сигнала на 180 (светлый штрих на темном поле и темнъ1Й штрих на светлом поле).

Сигнал рассогласования поступает сфазочувствитепьного выпрямителя на стрелочный прибор или после усиления в исполнительный механизм блока регистрации (элекенты блока регистрации на фиг. 1 не показаны).

В момент точного положения границы объекта на оси микроскопа исчезает вообще переменная составляющая сиг-

нала (глубина модуляции равна нулю), и стрелочный прибор показывает нуль (см. фиг. 2в).

Кроме того, при работе с призмойдвойнрго изображения не предъявляются требования к стабильности положения центра колебаний модулятора.

Предмет изобретения

Фотоэлектрический микроскоп, содержащий оптическую проекционную систему, щеJ5, левой модулятор, фотоприемник и блок регистрации, отличающийся тем, что

целью повышения точности регистрации границы объекта, он снабжен призмой двойного изображения, размещенной между про- 20 секционной системой и щелевым модулятором так, чго визирная ось проекционной системы смещена с оси колебаний модулятора на величину, меньшую половинъ ширины его поля зрения.

а

fja 2 i.