Линза для электронно-оптической системы Советский патент 1957 года по МПК H01J29/64 H01J29/56 H01J37/26 

Предметом изобретения является линза для электронно-онтической системы, в частности, для электронных микроскопов с электромагнитным или магнитно-статическим возбуждением и системой полюсных наконечников, с помощью которых магнитное поле концентрируется в зазоре, где проходит пучок электронных лучей. Для устранения краевых лучей в таких линзах служат апертурная диафрагма, расположенная по ходу луча, ниже зазора.

Согласно изобретению, с целью уменьшения асимметрии магнитного поля линзы, анертурную диафрагму изготовляют пе из немагнитного материала, например из платины, а из слабомагнитного материала, например из карбида вольфрама.

На чертеже показана принципиальная схема линзы, где / - намагничивающая обмотка, 2 - железный панцырь, 5 - полюсные наконечники, которые соединены промежуточной частью 4 и разделены зазором 5.

Апертурная диафрагма 6 с небольщим отверстием в центре укрепляется в регулируемом держателе. Она выполняется из слабомагнитного материала, например из карбида вольфрама, чем достигается однородность поля в непосредственной близости к отверстию диафрагмы.

Предмет изобретения

ЛинЗа для электронно-оптической системы, снабженная апертурной диафрагмой, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения асимметрии магнитного поля линзы, апертурная диафрагма выполнена из слабомагнитного материала, например из карбида вольфрама.