Устройство для ввода и удаления объектов из вакуумного пространства Советский патент 1950 года по МПК H01J37/20 H01J37/26 

Предметом изобретения является устройство для ввода объектюв в вакуумное пространство корпускулярно-лучевых приборов (в частности электронных микроскопов) и удаления их из приборов.

В настоящее время для ввода объектов в электронные микроскопы нрим-еняют крап, в пробке которого помещается подвижная часть с держателем: объекта. Для смены объекта подвижная часть с ПОМО щью зубчатой рейки выдвигается и опускается, после чего пробка крана поворачивается на 90°. При работе микроскопа луч проходит через отверстие пробки крана и попадает па Объект. Однако эта конструкция имеет существенный недостаток, заключающийся .в ограииченHOMi перемещении объекта, что вызывает (при необходимости изменения положения объекта) Heoi6xoдимость применения несимметричных линз, ухудшающих изображение.

В предлагаемом устройстве этот недостаток устраняется за счет применения нескольких отдельных частей, скользящих одна в другой и перемещаемых зубчатыми рейками.

Сущность изобретения поясняется чертежом. На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство ,в выдвинутом, а на фиг. 2-во вдвинутом положении.

Объект 1 укреплен (ввинчен) в подвижной цилиндрический держатель 3. При работе объект располагается внутри магнитной или электростатической линзы 2.

Конический конец держателя 3 входит без зазора в коническое отверстие предметного столика 4, переставляемого по высоте при помощи зажима 5.

Чтобы обеспечить возможность перестановки предметного столика, цилиндрический держатель 3 подвешен жестко iB направляющем цилиндре 6 с помощью штифтов. Цилиндр 6 скользит в металлическом пустотелом цилиндре 8. Перемещение производится при помощи шестерни 9, которая имеет зацепление с рейками на цилиндрах и 8. Вал шестерни приводится в действие от наружной рукоятки через соответствующее уплотнение.

При вращении шестерни 9 цилиндр 6 перемещается до тех пор, пока его буртик не захватит цилиндр 8. При этом двусторонняя зубчатая рейка цилиндра 8 захватывается шестерней; одновременно плоская пружина 10 доходит до скоса 11. Затем оба цилиндра перемещаются до вхождения объекта в зону вакуума.

При удалении объекта шестерня выводит цилиндр 8 вверх. После того, как пружина 10 дойдет до скоса 11 пробки 12 крана, начнет смещаться цилиндр 6, входя в отверстие 13 пробки.

Пред Ml ет изо-бретения

Устройство для ввода и удаления объектов из вакуумногО пространства корпускулярно-лучевых приборов, в частности электронных микроскопов, в которых в качестве пространства шлюзования о-бъектов служит отверстие цилиндрической или конусной пробки крана, через которое проходят лучи, отличающееся тем, что, с целью приближения рассм1атриваемого объекта к полюсным наконечникам, объектодержатель перемещается при помощи двух или более деталей, скользящих одна в другой в направлении электронно-оптической оси, причем это перемещение осуществляется зубчатыми рейками.