Сканирующий интерферометр Советский патент 1984 года по МПК G01B9/02 

2. Интерферометр по п.1, отличающийся тем, что система отклонения световых пучков вьшолнена в виде последовательно установленных по ходу светового пучка нризм. 10990 97 3. Интерферометр по п.1, отличающийся тем, что система отклонения световых пучков вьшолнена в виде последовательно установленньпс по ходу светового пучка призмы и зеркала,

1. СКАНИРУЮЩИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР, содержащий установленные по ходу светового пучка пары сканирующих подвижных и неподвижных полупрозрачных зеркал, формирующих интерференционные максимумы пропускания в промежутках, образованных рабочими плоскостями зеркал, и выходную диафрагму,о т личающийся тем, что, с целью увеличения светосилы и разрешающей способности, между парами полупрозрачных зеркал установлена система отклонения световых пучков, расположенная так, что входящий в нее и выходящий из нее световые пучки перпендикулярны рабочим плоскостям зеркал, а центр выходной диафрагмы установлен в центре интерференционной картины. со о .ко

1

Изобретение относится к оптико-интерференционным средствам измерения и предназначено для исследований спектрального состава оптических излучений. ,

Известны интерферометры,, представляющие собой два сопряженных эталона Фабри-Пероразной толщины (мультиплексы) 1 J,

Недостатком таких интерферометров является отсутствие сканирования спектра, что ограничивает возможности применения чувствительных методов регистрации.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является сканирующий интерферометр, содержащий уст новленные по ходу светового пучка пары сканируемых подвижных и неподвижных полупрозрачных зеркал, формирующих интерференционные максимумы пропускания в промежутках, образованных рабочими плоскостями зеркал, и выходную диафрагму 2.

Недостатком известного интерферометра является малая светосила и низкая разрешающая способность, обусловленные тем, что оптические оси световых пучков в нем не перпендикулярны отражающим поверхностям зеркал и не одинаковы углы падения лучей на отдельные рабочие помежутки. Это приво дит к потерям света, так как на центр круглой выходной диафрагмы интерферометра не попадает излучение, соответствующее центрам интерференционных максимумов отдельных промежутков. Поэтому в нем ограничены углы меж,п;у плоскостями рабочих промежутков и их толщины, определяющие величину разрешающей способности.

Целью изобретения является увеличение светосилы и разрешающей способности интерферометра.

Поставленная цель достигается тем, что в сканирующем интерферометре, содержащем установленные по ходу светового пучка пары сканирующих подвижных и неподвижных полупрозрачных зеркал, формирующих интерференционные максимумы пропускания в промежутках, образованных рабочими плоскостями зеркал, и выходную диафрагму, между парами полупрозрачных зеркал установлена система отклонения световых пучков, расположенная так, что входящий в нее и выходящий из нее световые пучки перпендикулярны рабочим плоскостям зеркал, а центр выходной диафрагмы установлен в центре интерференционной картины.

этом система отклонения световых пучков может быть выполнена в виде последовательно установленных по ходу светового пучка призм или призмы и зеркала.

На фиг.1 приведена схема интерферометра с отклоняющей системой, выполненной в виде двух преломляющих клиньев, образованных прозрачными подложками зеркал, на фиг.2,- схема неселективной отклонякицей системы с двумя отражателями, в качестве ко- торых можно использовать зеркала, призмы полного внутреннего отражения.

Интерферометр содержит неподвижную пару зеркал 1 и 2, неподвижную нижнюю плиту 3, подвижную пару зеркал с призмами 4 и 5, подвижную верхнюю плиту 6з з-еркала 7, призму 8 и выходную диафрагму 9.

Зеркала 1 и 2 установлены на неподвижной нижней плите 3 параллелограммных направляющих. Зеркала 4 и 5 установлены на подвижной верхней плите 6, связанной с нижней плоскими пружинами, усиленными в средней части накладками. Тангенсы углов f и между отражающими поверхностями зер