Пневматический дозатор жидкости Советский патент 1984 года по МПК G01F13/00 

NCi

00 ОС

| Изобретение относится к дозирующим устройствам, в частности к паев матическим дозаторам агрессивных жидкостей, и может быть использовано для автоматизации операций дозирования в химических установках для производства микроэлектронных прибо ров, в частности интегральных схем. Известен пневматический дозатор агрессивных сред, содержащий прибор управления, вспомогательное устройс во в виде клапанного блока с прямодействукщими пневматическими мембра ными клапанами, реактор и мерную емкость. Мерная емкость выполнена герметичной, с внутренней перегород кой, делящей ее на две равные полос ти, соединенные в верхней части между собой и с реактором, а нижние части каждой полости соединены через клапанный блок исполнительного устройства с магистральным трубопро водом и реактором Jl . Недостатками данного дозатора яв ляются отсутствие универсальности, так как размеры мерной емкости однозначно определяют величину дозы, и низкая точность дозирования, определяющаяся точностью изготовления мерной емкости. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и дост гаемому результату является пневматический дозатор содержащий мерную емкость с регулируемым объемом, рас ходную емкость с соединительными ма гистралями и штуцером слива дозы, насос, источник сжатого газа, систему управления с клапанами 2 . Недостатком известного дозатора является низкая точность дозирования за счет влияния на размер дозы газовых пузырьков в ее объеме. Целью изобретения является повышение точности дозирования. Указанная цель достигается тем, что в пневматический дозатор жидкост содержащий мерную емкость с регулируемым объемом, расходную емкость с соединительными магистралями и штуце ром слива дозы, насос, источник сжатого газа, систему управления с клапанами, введена дополнительная ем кость с крышкой, нижняя часть которо соединена с насосом и через первый клапан - с верхней частью расходной емкости, которая сообщена с верхней частью дополнительной емкости, которая через второй клапан подключена к источнику сжатого газа, причем мерная емкость с регулируемым объемом вьшолнена в виде гибкой трубки, первый конец которой введен в нижнюю часть дополнительной емкости, а второй - соединен через третий клапан со штуцером слива и снабжен приводом вертикального перемещения, а объем мерной емкости выбран не больше объема дополнительной емкости между ее крышкой и первым концом трубки. На чертеже изображен пневматический дозатор жидкости. Устройство содержит мерную емкость 1 с регулируемым объемом, расходную емкость 2 с соединительными магистралями 3-5 и штуцером 6 слива дозы., насос 7, источник 8 сжатого газа, систему 9 управления с клапанами 10-12, дополнительную емкость 3 с крьщ1кой 14, нижняя часть которой соединена с насосом 7 и через первый клапан 10 - с верхней частью 11 расходной емкости 2, которая сообщена с верхней частью дополнительной емкости 13, последняя через второй клапан 11 подключена к источнику 8 сжатого газа. Мерная емкость 1 с регулируемым объемом вьтолнена в виде гибкой трубки, первый конец 15которой введен в нижнюю часть дополнительной емкости 13, а второй 16соединен через третий клапан 12 со штуцером 6 слива и снабжен приводом 17вертикального перемещения. Дозатор работает следующим образом. При дозировании включается ласос 7. Жидкость из расходной емкости 2 насосом -7 по соединительной магистрали3 -подается в дополнительную емкость 13 и, заполнив ее, по оединительной магистрали 4 сливаетя обратно в расходную, емкость 2. После заполнения дополнительной емкости 13 насос 7 включается и открывается третий клапан 12. Дозируемая идкость заполняет мерную емкость 1 (гибкую трубку) до уровня, общето с уровнем жидкости в дополнительной емкости 13, причем этот уровень выше ервого конца трубки 5, так как доолнительный объем мерной емкости 1 ыбран не больше объема дополнительной емкости 13 между ее крышкой 14 первым концом 15 трубки с целью беспечения полного заполнения труП31ки 1 (мерной емкости) при максимальной дозе. При заполнении трубки 1 жидкостью газовые пузьгри барботируют через третий клапан 12, что обусловливает исключение влияния их объемов на точность дозировки. После заполнения мерной емкости 1 (трубки) открывается первый клапан 10, избыточное количество жидкости сливается по соединительной магистрали 3 через первый клапан 10, в расходную емкость 2, при этом по срезу первого конца 15 трубки 1 происходит формирование дозы жидкости. После получения дозы закрывается первый клапан 10, открывается второй клапан 11. Инертный газ, поступая по магистрали 5, выдавливает дозу 7Л в 1 абочий объем. Автоматическое управление насосом 7 и клапанами 10 12 осуществляет система 9 управления, Настройка величины дозы в дозоторе осуществляется вертикальным перемещением подвижного второго конца 16 трубки 1 приводом 17. Регулировка дозы в области малых значений может производиться заменой трубки 1 одного сечения трубкой другого сечения. Таким.образом, при использовании и гибкой мерной емкости, соединенной с приводом перемещения, обеспечивается повышение точности дозирования малых доз жидкости, а также исключь;ние влияния на величину дозы газовых пузьфей.

ПНЕВМАТИЧЕСКИЙ ДОЗАТОР ЖИДКОСТИ, содержащий мерную емкость с регулируемым объемом, расходную емкость с соединительными мап тралями и штуцером слива дозы, насос, источ ник сжатого газа, систему управления с клапанами, отличающийся тем, что, с целью повышения точности дозирования, в него вв.едена дополнительная емкость с крышкой нижняя часть которой соединена с насосом и через первый клапан - с верхней частью расходной емкости, которая сообщена с верхней частью дополнительной емкости, которая через второй клапан подключена к источнику сжатого газа, причем мерная емкость с регулируемым объемом выполнена в виде гибкой трубки, первый конед которой введен в нижнюю часть дополнительной емкости, а второй - соединен через третий клапан со штудером слива и снабжен приводом i вертикального перемещения, а мерной емкости выбран не бапыио объе(Л ма дополнительной емкости между ее крышкой и первым концом трубки.