Электронно-оптическая система с электростатической фокусировкой Советский патент 1984 года по МПК H01J29/46 

Изобретение относится к электронной технике, в частности к электронно-оптическим системам (ЭОС), применяемым в электронно-лучевых приборах (ЭЛЛ).с электростатической фокусиров кой электронного пучка. Известна ЭОС с электростатической фокусировкой, содержащая систему формирования электронного пучка и фо кусирующую систему, например, в виде одиночной линзы Ct J. Однако увеличение разрешающей способности в таких ЭОС связано с деоб, ходимостью увеличения отношения наибольшего значения напряжения на электрод е,располшсенном перед последним электрод(м«,имекяцим потенциал экрана,к напряжению на экране. Увеличение нап ряжения требует принятия специальных мер для устранения пробоев как между штьфьками ножки.прибора, так и внутри его. При этом усложняется конструкция ЭЛП. Наиболее близкой по тех.нической сущности к изобретению является ЭОС с электростатической фокусировкой, содержащая систему формирования электронного пучка, фокусирующую систему из двух линзовых систем, образованных четырьмя электродами, и вырезывающую диафрагму. Первая линзовая система образует действительное изображение кроссовера до входа пучка во вторую линзовую систему, вторая линзовая система в свою очередь проецирует это промежуточное изображение на экран ЭЛП Г2 J. Однако в известной ЭДС первая линзовая система состоит из плоских диафрагм с отверстиями разных диаметров и цилиндра с диаметром, больпшм чем диаметр отверстий диафрагм, что сильно затрудняет получение трегбуемой соосности конструк1даи.Значительное зат- руднение представляет также обеспечение соосности первой и вторЫ линзовых систем. Для ограничения тока пучка на входе второй линзовой системы размещена вырезывающая диафрагма, и ток пучка изменяется с изменением регулируемого фокусирукмдего тсапряження, подаваемого на один из электродов первой линзовой системы. После вырезывакяцей диафрагмы электроны ускоряются, поэтому в пучке присутствуют электроны, отраженные от стенок отверстия диафрагмы и имеющие меньшие скорости, что приводит к об- 1 5 разованию ореола вокруг сфокусированного пятна на экране. Цель изобретения - повышение разрешающей способности при уменьшении ее зависимости от тока электронного пучка и упрощении конструкции. Указанная цель достигается тем, что в ЭОС с электростатической фокусировкой, содержащей систему формирования электронного пучка, фокусирующую систему из двух линзовых систем, образованных четырьмя электродами, и вырезывающую диафрагму, электроды .: линзовых систем выполнены в виде полых цилиндров одинакового диаметра, а вырезывающая диафрагма установлена внутри первого электрода на расстоянии от его выходного торца не более 0,7 от внутреннего диаметра Р электродов, при этом диаметр отверстия диафрагмь не превышает 0,16D , а длины первого , второго Ej, и третьего f, электродов выбирают в следующих пределах: 1,2D, 2D в 2,5D , ). Кроме того, первый и третий электроды фокусирующей системы могут быть электрически соединены между собой. На чертеже показана схема предлагаемой ЭОС. I Электронно-оптическая система состоит из системы четырех электродов 1-4, выполненных в виде цилиндров одинакого диаметра с длинами и системы 5 электронного формирования пучкам. Торец цилиндра электрода 1, обращенный к системе 5 формирования, закрыт доньЩ1ком 6 с отверстием, которое является конечным электродом системы формирования. В цилиндре первого электрода 1 на расстоянии не более 0,73 от его выходного торца, обращенного к электроду 2, установлена вырезывающая диафрагма 7 с отверстием 8, величина диаметра которого составляет 0,16D так, что диаметр пучка на выходе из цилиндра электрода 1 не превьшает 0,2D. Толщина материала вьфезывающей диафрагмы 7 в районе отверстия 8 должна быть Мен1Л1е О,1 мм. Пучок электронов, расходящийся из крассовера 9 системы 5 фрр шровавия, собирается линзами 10 (меязду электродами 1 и 2) и 11 (между электродами 2 и 3) в точку на оси системы, где формируется промежуточное изображение 12 кроссовера 9,

1. ЭЛЕКТРОНЙО-ОПТИЧЕСКАЯ / СИСТЕМА С ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЙ ФОКУСЙРОВКСЙ1, содержащая систему формирования электронного пучка, фокусирующую систему из двух линзовых систем, образованных четырьмя электродами,и вь резьтакяцую диафрагму, о т ли чаю щ а я с я тем, что, с целью повышения разрешающей способности при уменыпении ее зависимости от тока электронного пучка и упрощении конструк:ции, электроды линзовых систем выполнены в виде полых цилиндров одинакового диаметра, я вырезывающая диафрагма устанговлена внутри первого элект|К1да на расстоянии от его выходного торца не более 0,7 от внутреннего диаметра В электродов, при этом диаметр отверстия диафрагмы не |фвв1япает 0,16D , а длины первого С , второго tj и третьего в,электродов выбраны в следующих пределах: (,2Р, ,5Р,Сз. 22). 2. Система по п. 1, о т л и ч а ю flt а я с я тем, что первый и третий электроды фокусирующей системы электрически соединены между собой. Г 71 1 Я J ЯГ