Способ изготовления электронно-оптической системы и электронно-оптическая система Советский патент 1983 года по МПК H01J9/02 

Изобретение относится к электрон ной технике, в частности, к способам изготовления электронно-оптических систем ( ЭОС ) и их конструкциям. Известен способ иэготорления ЭОС включающий электронноискровое прошивание отверстий в диафрагмах посл их сборки tl. Однако этот способ неприменим для ЭОС, снабженных вырезывающими диафрагмами с малым диаметром отвер стия, и не обеспечивает необходимой точности для протяженных систем. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является спо соб изготовления ЭОС, включающий сбо ку диафрагм на арматуре и последовательное электроискровое прошивание отверстий в диафрагмах по мере увеличения диаметра отверстий прйцентров ке инструмента по отверстиям большего ;диаметра.По этому способу испольэуют для прошивания электрод в вЯДё ступенчатого стержня,который через калибр базируется по внутренней повер Чрсти последнего электрода ЭОС(2-. I. Известный способ также не позволяет получить с требуемой соосностью отверстия различного диаметра, расположенные не в порядке увеличения их диаметра. Использование протяженного прошивающего электрода не обеспечивает необходимого центрирования, что приводит к искгикениям формы отверстий. Такой инструмент сложен и быстро изнашивается. Цель изобретения - повышение точности изготовления ЭОС. Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления ЭОС, включающему сборку диафрагм на арматуре и последовательное элек роискровое прсшгавани отверстий в д афрагмах по мере увеличения диамет ров отверстий при центровке инструмента по отверстиям большего диамет ра, производят сборку первой группы диафрагм, с увеличивающимися рабо чими диаметрами отверстий, после их гГоследовательного прсяяивания устана ливают вторую группу диафрагм с отверстиями меньших рабочих диаметров по отнсяцению к предыдущим и повторяют операцию прошивания, начиная с первой из второй группы диафрагм. При этом целесообразно ЭОС, соде жащую первую группу диафрагм с увеличивающимися по ходу пучка диаметрами отверстий и вторую группу диаф рагм с отверстиями меньших диаметров по отношению к предыдущим диафрагмам, снабдить технологическими пластинами, закрепленными в арматуре в месте расположения диафрагм второй группы и имеющими отверстия, диаметр которых не менее диаметров отверстий смежных диафрагм первой ГЕупйы, а диафрагьел второй группы закрепляются на указанных технологических пластинах. На фиг.1 и 2 показана последовательность операций проишвания отверс тий в диафрагмах для одной из схем ЭОС. Электронно-йоттическая система вкл|а чает последовательно размещенные по ходу пучка катод 1, модулятор 2, первый электрод 3 и второй электрод 4 линзы подфокусировки, третий (вырезывающий ) электрод 5 линзы подфокусировки, дополнительную диафрагму 6 .и дополнительный электрод 7, фокусирующий электрод 8 и анод 9. На месте третьего электрода 5 линзы подфокусировки устанавливаются в арматуре 10 например, две технологические пластины 11 и 12 с отверстиями 13 и 14, равными или большими по диаметру отверстиям в электроде 4. Инструмент выполнен в виде кондуктора 15,состоящего из полого цилиндра 16 с Отверстием 1.7 и прижима 18 с отверстиялш „. 19,которые фиксируются по цилиндрической поверхности 20. Кондуктор центрируется внешней цилиндричесj Oй поверхностью 21 по отверстиям второго электрода 4 линзы подфокусировки и дополнительной диафраг- мы б. По оси кондуктора устанавливается электрод 22 для прошивания отверстий в диафрагмах. Корпусная нера-бочая часть 23 кондуктора упирается во внутренний торец фокусирующего электрода 8. Способ изготовления предложенной схема ЭОС реализуется следующим образОм. В арматуре собирают первую группу диафрагм; модулятор 2 и первый электрод 3 линзы подфокусировки без отверстий. Все последующие диафрагмы и электроды выполнены с увеличивающимися диаметрами отверстий. Но если какой либо из последующих электродов имеет меньший дхиаметр отверстия ( вторая группал в данном случае третий электрод 5 линзы подфокусировки ), то он заменяется одной или двумя технологическими пластинами с отверстиями/ равными или большими отверстий смежных диафрагм. После этого осуществляют прсядивание отверстий в модуляторе 2 и электроде 3 и удаляют кондуктор 15. Между технологическими пластинами устанавливают и закрепляют точечной сваркой электрод 5 и снова осуществляют прошивание отверстия в указанном электроде с.помощью кондуктора аналогичной конструкции, центрируя его по отверстто следующей диафрагмы. Таким образом получают отверстия во второй группе (одной или более диафрагмах). Последовательная обработка отверстий и взаимная центровка кондуктора по отверстиям в диафрагмах поэво55® достичь соосности отверстий

различного диаметра, расположенных ае в порядке увеличения. Из-за малог

го расстояния 1{ондуктор - проишвае мый электрод обеспечивается высокая ТОЧНОСТЬ направления прсшивакнцего

электрода 22, а следовательно, н

.точность получения форяй.отверстия. При этом кондуктор прост в эксплуа:тации и долговечен. В целом ЭОС иэготсшливается с. более высокой точностью и имеет повышенную разрешающую способность.

1. Способ изготовления электро но-оптической системы, включающий сборку диафрагм на арматуре и после довательное электроискровое прошивание отверстий в диафрагмах по мер увеличения диаметра отверстий при цеатровке инструмента по отверстиям большего диаметра, отличающ и и с я тем, что, с целью повыше 22р г j 7 ния точности изготовления, производят сборку первой группы диафрагм с увеличивающимися рабочими диаметрами отверстий, после их последовательного прошивания устанавливают вторую группу диафрагм с отверстиями меньших рабочих диаметров по отношению к предыдущим и повторяют операцию прсядивания, начиная с первой из второй группы диафрагм. 2. Электронно-оптическая система, содержащая первую группу | диафрагм с увеличивающимися по ходу пучка дч аметрами отверстий и вторую группу дИс1фрагм с отверстиями меньших дкаМет-ров по отношению к предыдущим диафрагмам, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности изготовления, она снабжена технологическими пластинами, закрепленными в арматуре в месте расположения диафрагм второй группы и имеющими отверстия, диаметр которых не менее диаметров отверстий смежных диафрагм первой группы, а диафрагмы второй групПЫ закреплены на указанных технологических пластинах.

(i55Z

n