Устройство для распознавания дефектов изображений объектов Советский патент 1985 года по МПК G06K9/36 

Изобретение относится к автомати и вычислительной технике и может бы использовано у системах автоматическо визуального контроля, изделий микро электроники, в частности для контро топологии фотошаблонов, кристаллов ИС, печатных плат. Известно устройство для распозна вания дефектов По основному авт.св. № 1023356 известно устройство для распознавания дефектов изображений объектов, содержащее телевизионные датчики, входы которых соединены с распределителем импульсов, а выходы подключены к соответствующим формировател сигналов, группу детекторов, соединенных с соответств ощими ;формирова телями сигналов, первый селектор, подключенный к одному формирователю сигнала и к первому блоку памяти, первую группу элементов ИЛИ, входы которых соединены с распределителем импульсов, и с одним детектором гру пы, а вых.оды подключены к первому блоку памяти, триггер, один вход которого соединен с распределителем импульсов, подключенным.к блоку регистрагщи, первый счетчик, соединен ньй с первым блоком памяти, с распр делителем импульсов, с блоком регистр адаи и с другим входом триггера, вторую группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к другому детектору и к распределителю импульсов, с блоком регистрации и с другим входом триггера, вторую группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к другому детектору и к распределителю импульсов, а выходы соединены с первым блоком памяти, первую группу элементов И, входы которых подключены к триггеру и к распределителю импульсов, элемент НЕ,, соединенный с распределителем импульсов, вторую группу элементов И, входы которых соединены с триггером, с элементом НЕ и с распределителем импульсов, и третью группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к выходам элементов И перво и второй группы, а выходы соединены с блоком регистрации Щ Недостаток известного устройства заключается в его невысокой надежности распознавания таких дефектов изображений как сужение и сближение, под которыми понимают участ ки проводников, минимальная ширина которых меньше минимально допустимой, rt участки топологии изображений, в которых минимальное расстояние между проводниками меньше минимально допустимого. Цель изобретения - повышение надежности распознавания. Поставленная цель достигается тем, что устройство для распознавания дефектов изображений объектов содержит последовательно соединенные второй селектор, вход которого подключен к соответствуищему формирователю сигналов, детектор, элементы ИЛИ четвертой группы, другие входы которых подключет. к распределителю импульсов, второй блок памяти, другие входы которого подключены к выходам первого селектора и элементов ИЛИ первой группы, и второй счетчик, другой вход которого подключен к распределителю импульсов, а выход соединен с вxoдa ffl триггера и блока регистрации. На фиг. t представлена блок-схема предлагаемого устройства; на фиг.2 конструктивнЬе выполнение селектора; на фиг. 3 - конструктивное выполнение формирователей последовательности сигналов; на фиг. 4 - расположение точек в электронном;окне. Устройство содержит телевизионные датчики t и 2, формирователи 3 и 4 видеосигналов, детектор 5, группу детекторов 6 и 7, селекторы 8 и 9, блок 10 памяти, группы 11 и 12 эле-, ментов ШШ, блок 13 памяти, счетчики 14 и 15, ipyimy 16 элементов и}ш, триггер 17, элемент НЕ 18, группы 19 и 20 элементов И, группу 21 элементов ИЛИ, распределитель 22 импульсов и блок 23 регистрации. Селектор 9 (фиг. 2) состоит иэ четырех формирователей 24 - 27 последовательности видеосигналов, элементов ИЛИ 28 и 29 и элементов И 30 и 31. При этом каждый из формирователей 24-27 состоит из группы 32 элементов задержки на Сторону и на элемент 33 разложения в строке и предназначен для формирования электронного окна в форме круга. Устройство работает следукицим образом. Дефекты типа разрьш и закоротка в изображении контролируемой топологии обнаруживаются известным устройством. Рассмотрим работу уст- ройства при распознавании дефектов типа сужение и сбл1€кение, Видеосигнал развертки изображения контролируемой топологии с выхода те левизионного датчика 1 поступает на вход первого фчэмироеателя 3, который квантует его по уровням логических 1 и О. Уровень логической 1 квантованного видеосигнала соответствует объектам изображения, а О их отсутствию (фону). Сигнал с выход формирователя 3 поступает на вход селектора 9, который преобразует его .в видеосигнал, соответствукя191й изображению после иоследовательного применения операций растяжение - сжатие и сжатие - растяжение различного диаметра. Сигнал с выхода селектора 9 посту пает на вход детектора 5, который преобразует его в последовательнслтъ кодов, так что коды отображают прииадлбжность отдельных точек изображе ния к соответствукирм объектам (связ ным областям). На «дходе детектора 6 появляются сигнапы, соответствующие исходному изображению после операции кодирования. Коды связных областей преобраэова11ного и контролируемого изображений через соответствующие группы элементов ШШ tt и 21 поступают на первый и второй адресные входы блока t3. Блок t3 представляет собой матриц оперативно запоминахицих устройств (ШЗУ). Первый и втсфой адресный входы блока 13 памяти служат для выборки соответственно столбцов и строк МОЗУ. До начала развертки изображения контролируемой топологии все ячейки бгэка 13 обнулены. Во время развертки этого изображения на информационный вход блока 13 памяти подается постоянный сигнал с уровнем логической 1, а в момент сканирования контактной площадки проводника с выхода селектора 8 на его вход Запись - считывание подается сигнал записи. Поэтому если в этот момент на первьй адресный вход, блока 13 памяти приходит сигнал коДа со значением, равным номеру строки, а на второй - со значением, равным номеру столбца, то в соответствующую ячейку МОЗУ будет записана 1. В момент окончания развертки изображения контролируемой топологии с выхода селектора 8 на вход запись считывание блока 13 памяти подается . сигнал считывания. Считывание из блока 13 памяти происходит аналогично, как и считьшанне информации с блока 10 памяти и осуществляется за два цикла по сигналам с распределителя 22. Число единиц в ка}|щом столбце и строке блока 13.памяти подсчитывается счетчиком 15, которь в первом цикле считывания определяет число единиц в каждой строке, а во втором - в каждом столбце ШЗУ. Если число больше или равно двум, то на выходе счетчика 15 появится сигнал дефектора, ко торЫ( устанавливает триггера 17 в единичное состояние. Элементы и 19 и 20 открываются и на вход блока 23 регистрации поступает номер проводника, имеющего дефект. После окончания считывания информации с каждого столбца (строки) блока 13 памяти с четвертого выхЬда распределителя 22 ввдаются импульсы на установку счетчика 15 в исходное состояние 1, а триггера 17 - в нулево. Номер щкла считывания определяется уровнем сигнала (логических О или 1) с пятого выхода распределителя 22, уровень логической 1 соответствует первому циклу считывания (определение сужений), а уровень логического О соответствует второму циклу считывания (определение сближений) . Так как при распознавании дефектов типа сужение и сближение используется информация о связности контактных площадок, а их связность определяется только наличием распознаваемых дефектов в топологии и не зависит от формы, размеров, ориентации и местоположения данных типов дефектов, то результаты распознавании . дефектов типа сужение и сближение с помощью предлагаемого устройства не зависит от их формы, размеров ориентации и местоположения. Введение новых.узлов и элементов позволяет существенно повысить надеж- ность распознавания дефектов изображений объектов.

2Ц

25

29

0t4t.t

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПОЗНАРА НИЯ ДЕФЕКТОВ ИЗОБРАЖЕНИЙ ОБЪЕКТОВ по авт. св. W 1023356, of ли ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения надежности распознавания, оно содержит последовательно соединентеге второй селектор, вход которого подклкг чей к соответствующему формирователю сигналов, детектор, элементы ИЛИ четвертой группы, другие входы которых подключены к рагспределитепю импульсов, второй блок памяти, другие входы которого подключены к выходам первого селектора и элементов ИЛИ первой группы, и второй счетчик, другой вход которого подключен к распределителю импульсов, а выход соединен с входами триггера и блока регистрации.

зг

k

n

faa.J

Фиг.

Жг