Изобретение Относится к контрольно-измерительной технике, в частное ти к датчикай, предназначенным для измерения абсолютного давления.
Известны конструкции датчиков, в которых упругим элементом является сильфов, а чувствительный элемент выполнен в виде кольцевой обмотки из тензочувствительной проволоки j
Недостатком этих устройств являеся неширокий диапазон измеряемых давлений.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности -является датчик абсолютного давления газа, содержащий корпус, внутри которого установлен сильфон, разделяющий его на измерительную и опорную камеры, ограничительный упор и упругую балку с тензорезисторами, жестко связанную с подвижным торцом сильфона 21 ,
Недостатком этого датчика являются невысокие точность и чувствительность измерений.
Целью изобретения является повышение точности и чувствительности измерения.
Поставленная цель достигается тем, что в датчик абсолютного давления, содержащий корпус, внутри которого установлен сильфон, разделяющий его на измерительную и опорную камеры, ограничительный упор и упругую балку с тензорезисторами, жестко связанную штоком с подвижным торцом сильфона, введен допол«ительный упор, установленный между упругой балкой и основным упором, а другая балка выполнена с жестким центром и закреплена двумя концами в корпусе, причем дополнительный упор контактирует с жедтким центром упругой балки.
.На чертеже изображена конструкция датчика.
Датчик .абсолютного движения содержит манометрический чувствительный элемент - сильфон 1, жестко закрепленный через передающий шток 2 с упругим элементом 3, на котором методом тонкопленочной технологии напылены тензорезисторы 4, включенные в четырехплечевую схему. Перемещение сильфона 1 при перегрузочном давлении ограничивается упором 5. Перемещение жесткого центра упругого элемента 3 в сторону сильфона 1 при снятии с последнего избыточного давления, равного заданному начальному уровню, ограничивается дополнительным упором 6. Сильфон 1, упругий элемент 3 и упоры 5 и 6 помещены в корпус 7.
Датчик абсолютного давления работает следующим образом.
При подаче в измерительную полость давления, равного начальному (нижнему) уровню, с сильфона 1 снимается предварительный натяг и упругий элемент 3 занимает нейтральное положение, в результате чего с выхода тензорезисторной схеквы снимается напряжение, соответствующее начальному разбалансу моста. При подаче в эту полость давления, равного верхнему уровню диапазона измерения, сильфон 1 нагружается номинальным давлением, за счет чего упругий элемент 3 деформируется на величину рабочего прогиба, и с выхода тензорезисторной схемы снимается номинальное выходное напряжение.
Таким образом, использование конструкции датчика абсолютного давления позволяет повысить точность и чувствительность измерения.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Датчик абсолютного давления и способ его изготовления | 1988 |
|
SU1525506A1 |
Способ настройки тензорезисторного датчика абсолютного давления | 1986 |
|
SU1345074A1 |
Датчик абсолютного давления | 1983 |
|
SU1081448A1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ПОВЫШЕННОЙ ТОЧНОСТИ И НАДЕЖНОСТИ | 2012 |
|
RU2480723C1 |
Датчик давления | 1985 |
|
SU1307253A1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ | 2012 |
|
RU2516375C1 |
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ | 2013 |
|
RU2547886C1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ С БАЛОЧНЫМ УПРУГИМ ЭЛЕМЕНТОМ | 2016 |
|
RU2619447C1 |
ДАТЧИК АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ | 2011 |
|
RU2477846C1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ БАЛОЧНОГО ТИПА | 2012 |
|
RU2520943C2 |
ДАТЧИК АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ, содержащий корпус, внутри которого установлен сильфон, разделяющий его на измерительную и опорную камеры, ограничительный упор и упругую балку с тензорезисторами, жестко связанную штоком с подвижным торцом сильфона, отличающийс я тем, что, с целью повышения точности и чувствительности измере ния, в него введен дополнительный упор, установленный между упругой балкой и основным упором, а упрутая балка выполнена с жестким -центре и закреплена двумя концами в корпусе, причем дополнительный упор контактирует с жестким центром упругой балки. i СО | 00 с
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов | 1917 |
|
SU2A1 |
и др | |||
Датчики контроля и регулирования | |||
М., Машиностроение , 1965, с | |||
СПОСОБ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЕРЕДАЧИ ИЗОБРАЖЕНИЙ ПРИ ПОМОЩИ СИСТЕМЫ ПАРАЛЛЕЛЬНЫХ ПРОВОДОВ | 1921 |
|
SU636A1 |
Авторы
Даты
1985-01-30—Публикация
1983-05-26—Подача