Ионизационный насос Советский патент 1958 года по МПК F04D33/00 

Предметом изобретения является ионизационный насос с корпусом, вынолненным в виде дилиндрической трубки с накапливаемыми катодами и унравляющими электродами.

Извесяные однокаскадные ионизационные насосы, предназначенные для удаления остаточных газов в вакуум-сосудах, не обеспечивают глубокого вакуума.

Описываемое изобретение предназначено для повышения глубины вакуума в вакуумных сосудах. С этой целью насос выполнен в виде каскадов откачки с четным числом управляюнд,их электродов, а накапливаемые катоды помещены между цилиндрами так, что имеют промежуточный потенциал между потенциалами цилиндров.

На чертеже схематически показан продольный разрез ионизационного насоса, представляющего собой широкую цилиндрическую трубку 1, к одному концу которой присоединяется вакуум-сосуд, а через другой конец выбрасывается откачиваемый газ.

В трубке помеш,ено четное число управляющих электродов 2, имеющих форму цилиндров с искрив.1СН11ЫМИ сетками 3. Накаливаемые катоды 4 в каждом каскаде поменииотся между цилиндрами-электродами и обладают промежуточным потенциалом по отношению к потенциалам цилиндров.

Благодаря таколп выполнению насоса ионы имеют возможность пробегать большие разности потенциалов и запасаться большой кинетической энергией, чем электроны, не останавливаясь под действием поля двумя соседними каскадами, а электроны, наоборот, могут совершать колебания возле сетки в аноде каскада и за пределы его пе выходят.

Таким образом, ионы проходят все каскады, создавая в трубке поток одностороннего течения с возрастаюпгей от каскада к каскаду скоростью.

Изменением размеров и формы цилиндрических электродов с заключающимися в них сетками достигается изменение градиентов потенциалов на различных участках длины трубки насоса.

Предмет изобретения

Ионизацонный насос, состоящий из корпуса в виде цилиндрической

№ 114161

трубки с накаливаемыми катодами и управляющими электродами, о тл и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повышения глубины вакуума, в трубке размещено четное число унравляющих электродов в форме цилиндров с искривленными сетка2 ми, образующими нопарно отдельные каскады насоса, накаливаемые катоды которых иомещены между цилиндрами так, что они имеют промежуточный потенциал между потенциалами цилиндров.

- .W