Устройство для очистки внутренней поверхности труб Советский патент 1985 года по МПК B08B9/32 F28G1/16 

О1

4

00

1

Изобретение относится к области очистки от загрязнений, преимущественно внутренней поверхности труб диффузионных печей, где требуется высокая степень очистки при обработке изделий для полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Целью изобретения является повышение эффективности очистки.

На че.ртеже изображено устройство, обпщй вид и разрез.

Устройство содержит резервуар 1 с очищающей жидкостью, расположенную под ним камеру 2 испарения с входны 3 и вьЕкодным 4 патрубкам}, клапан 5 подачи жидкости, обратный клапан 6, трубку 7 с нагревателем 8, расположенную эксцентрично внутри камеры 2 испарения с образованием зазора, систему регулирования температзфы 9. Ось трубки 9 расположена выше оси камеры 2 испарения, вследствие чего зазор в верхней части камеры испарения имеет капиллярньш участок.

Выходной патрубок 4 расположен по углом к оси камеры 2 испарения, при этом его входной конец расположен ниже капиллярного участка зазора. Устройство работает следующим образом.

Из программатора команд диЛфузионной печи подается сигнал для включения системы 9 регулирования температуры и подачи электрической мощности на нагреватель 8 и сигнал на открывание клапана 5 подачи жидкости. Жидкость из резервуара 1 через входной патрубок 3 и обратный клапан 6 поступает в камеру 2 испарения и заполняет нияапою часть зазора.

Как только уровень жидкостив камере испарения достигнет уровня кагшл082

лярного участка зазора, на жидкость начинают действовать силы поверхностного натяжения, которые затягивают ее в капиллярный участок, где жидкость быстро прогревается и благодаря наличию там большого количества активных центров парообразования быстро закипает, создавая повьшенное давление в верхней части камеры испарения. Пар давит на нижележащий слой жидкости, в результате чего последняя выбрасывается через выходной патрубок 4 в очищаемую трубу. Выброс жидкости в резервуар 1 через входной

патрубок 3 при повышении давления в камере испарения предотвращается посредством обратного клапана 6. После выброса жидкости из камеры испарения через выходной патрубок 4 давление в

ней снижается и жидкость из резервуара 1 поступает в камеру 2 испарения, цикл повторяется.

Выброшенный через выходной патрубок очищаюиц1Й состав в виде капель жидкости и пара очищает внутреннюю поверхность труб комплексно от всех видов загрязняющих примесей. Очищающий состав в парообразном состоянии при термическом воздействии ввиду своей большой химической активности превращает частицы продуктов реакции в летучие вещества, а в виде движущихся капель жидкости - удаляет механические частицы.

Максимальная эффективность работы устройства в каждом конкретном случае достигается путем варьирования размерами камеры испарения, мощности нагревателя, расположением выходного патрубка и размерами выходного отверстия выходного патрубка.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ВНУТРЕННЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ТРУБ, преимущественно диффузионных печей, содержащее резервуар с очищающей жидкостью, камеру испарения с входньм и выходным патрубками и расположенную эксцентрично внутри нее трубку с нагревателем с образованием забора, имеющего капилляр ньй участок, отличающ е е с я тем, что, с целью повышения эффективности очистки, резервуар с очищаиядей жидкостью расположен над камерой испарения, ось трубки с нагревателем расположена вьше оси камеры испарения для образования капиллярного участка зазора в ее верхней части, входной патрубок содержит клапан подачи жидкости и обратный клапан, а выходной патрубок расположен под углом к оси камеры испарения с обращением его выходного конца в направлении к оси камеры, при этом его входной конец расположен ниже капиллярного участка.