Способ контроля качества электронно-оптических систем Советский патент 1985 года по МПК H01J9/42 

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для контроля качества электроннооптических систем (ЭОС) различных приборов. Известен способ контроля электрон но-оптических систем, включающий определение соосности отдельных деталей и сходимость оптических осей отдельных пушек . Указанный .способ применяется в процессе сборки ЭОС, а в процессе его реализации используют дополнительное оборудование, HanpjiMep, микроскоп МБС-2 и т.п. Однако такой способ контроля достаточно сложен и не позволяет определить качество ЭОС п рабочем с:остоя нии. Наиболее близким к предлагаемому является способ контроля качества электронно-оптической систем1 1, включающий определение MciCTa положения точки фокусировки пучка заряженных частиц 2j . Для определения точки фокусировки в известном способе используется электронно-оптическая скам1 я, на которую устанавливается исследуемая ЭОС. Недостатками способа являются сложность и невозможность.его исполь зования для готовых приборов. Цель изобретения - упрощение способа за счет осуществления контроля в готовом приборе. Указанная цель достигаетс.1 тем, что согласно способу контроля качест ва электронно-оптических систем, включающему определение места положения точки фокусировки пучка заряженных частиц, на прибор устанавлива ют в области кроссовера ЭОС стигмато подают на прибор и стигматор напряже ния питания, перемещают стигматор вдоль оси прибора, а местоположение Точки фокусировки пучка определяют в момент Преобразования крестообразного изображения на экране прибора в расфокусированное пятно. На чертеже схематически изображен электромагнитный стигматор, использу емьй в качестве индикатора места положения точки фокусировки пучка заря женных частиц. Электромагнитный стигматор включа ет в себя катушку 1 и регулируемый источник 2 питания. Стигматор воздей 1 72 ствует на электронный пучок 3, формируемьй электронно-оптической системой 4 электроннолучевой трубки 5. Для определения места положения точки фокусировки электронного пучка 3, формируемого электронно-оптической системой 4 электроннолучевой трубки 5, катушку электромагнитного стигматора размещают на горловине электроннолучевой трубки в пространстве дрейфа электронного пучка. На катушку электромагнитного стигматора от источника питания 2 подают переменное напряжение, например промышленной частоты. При расположении средней плоскости стигматора вне места фокусировки пучка на экране электроннолучевой трубки наблюдается характерная Д.ПН работы стигматора крестообразная фигура, формирующаяся в результате фокусирующего действия квадрупольного поля стигматора. При перемещении стигматора вдоль оси пучка в направлении точки фокусировки штрих-фокусы, образугацие крестообразную фигуру, начинают преобразовываться в эллипсы, а в момент совмещения средней плоскости с точкой фокусировки приобретают форму расфокусированного пятна, которая остается неизменной независимо от амплитуды питающего тока. Неизменность формы светящегося пятна является критерием определения места положения точки фокусировки электронного пучка. При дальнейшем перемещении стигматора в том же направлении расфокусированное пятно вновь становится эллиптичным. Применение известного электромагнитного стигматора для определения места положения точки фокусировки заряженных частиц оказалось возможным благодаря взаимно компенсирующему действию квадрупольного поля стигматора на траектор|ию заряженных частиц до и после точки фокусировки. Так, если в меридиональной плоскости крайние траектории пучка подвергаются воздействию первой по ходу пучка половины квадрупольного поля стигматора и при этом отклоняются, например, к оси пучка, то, пройдя точку фокусировки, эти траектории должны были бы еще больше удаляться от оси, однако, .вторая половина квадрупольного поля повторно отклоняет траектории к оси и тем самым компенсирует воздействие первой половины 3 поля, в результате фокусирующее действие стигматора на пучок па экране электроннолучевой трубки не на блюдается. Экспериментальная проверка И1гдикатора бьта выполнена на электронно лучевой трубке типа 13ЛК, электронно-оптическая система которой создает второй кроссвер в пространстве дрейфа. Стигматор, выполненный в виде электромагнитного квадруполя,размещался на горловине трубки за пределами предполагаемой области второго кроссовера и подсоединялся -к ЛАТРу. При включении трубки и подаче переменного тока в стигматор на экране трубки наблюдалась характерная для стигматора крестообразная фигура. Стигматор .перемещался вдоль оси горловины в направлении второго кроссвера. В момент совмещения сред67кей плоскости стигматора с кроссвером штрих-фокусы крестообразной фигуры приобретали форму неискаженного расфокусированного пятна. Место положения второго кроссовера в исследуемой электроннолучевой трубке определялось расстоянием между средней плоскостью квадруполя и люминофорным покрытием экрана трубки. Это расстояние составило 405 мм при ускоряющем напряжении 15 кВ и 387 мм при ускоряющем напряжении 10 кВ. Использование данного изобретения по сравнению с известными способами имеет преимущества, так как стигматор прост по конструкции и может применяться в экспериментальных лабораториях предприятий электровакуумной промышленности при исследовании готовых электро1тнолучевых приборов.

СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ прибо ров, включ;зюа(ий определение места положения точки фокусировки пучка заряженных частиц, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа за счет осуществления контроля в готовом приборе, на прибор в области расположения кроссовера электронно-оптических систем устанавливают стигматор, подают на прибор и стнгматор напряжения питания, перемещают стн-гматор вдоль оси прибора, а местоположение точки фокусировки пучка определяют в момент преобразования крестообразного изображения на экране прибора в расфокусированное пятно.