Изобретение относится к области электровакуумных приборов и может быть применено для получения растра в электронно-лучевых приборах.
Известны электронно-оптические способы фокусировки и развертки элежт-ронного зонда, которые реализуются в системах с пространственно разделенными электронно-оптическими элемента:ми. При этом, если фокусирующий элемент - линза предшествует от.клоняющей системе перед плоскостью изображения, то в системе нельзя получить малый рабочий отрезок и большое уменьшение источника, как это имеет место в кинескопах. Если же линза расположена между отклоняюш,ей системой и плоскостью изображения, то размытие зонда и искажения растра, обусловленные, главным образом, сферической аберрацией, ухудшают качество растра и сильно ограничивают поле зрения. В ф01кусируюше-отклоняющих системах нередаюш,их телевизионных трубок, где фокусируюндая система расположена над отклоняющей системой, на краю поля зрения возникает изменение нормальной составляющей скорости электронов в несколько вольт.
Цель изобретения - уменьшение диаметра зонда и дисторсии раствора в плоскости изображения, а также повышения мобильности управления раствором.
Для этого фокусировку и развертку пучка
осуществляют одновременно, причем через «вадрупольный дублет одновременно пропускают постоянный ток для фокусировки пучка и переменный ток - через первый квадруполь
для развертки пучка и через второй квадруполь для свертки растра.
Па чертеже изображена одна из возможных схем прибора, осуществляющего предлагаемый способ.
Схема содержит первый квадруполь 1, второй квадруполь 2 электронную (источник электронов) 3, меридиональные обмотки 4 квадруполей, сагиттальные обмотки 5 квадруполей, магнитопроводы 6 квадруполей,
плоскость изображения 7, электронный пучок 8, главную траекторию 9 электронного пучка. При подаче на квадруноли 1 и 2 постоянного напряжения нучок 8, выходящий из электронной пущки 3, фокусируется квадрупольныМ дублетом в плоскости изображения 7. При этом главный луч пучка совпадает с оптической осью фокусирующего дублета. Плоскость чертежа является рассеивающей плоскостью для квадруполя 1 и собирающей плоскостью для квадруполя 2. При подаче на одну или обе пары катущек квадруполя отклоняющего тока, что соответствует уменьшению тока в одной катущке и одинаковому увеличению тока в противоположной катущке той
же пары, фокусирующие свойства квадруноля
в параксиальном приближении не меняются. Поэтому, подавая переменный отклоняющий ток на обмотки квадруполя 1, получают в плоскости изображения 7 сфокусированный сканирующий пучок. При этом формат растра, определяемый амплитудой переменного отклоняющего TOiKa в квадруполе 1, изменяется совместным фокусирующим действием постоянных полей квадруполей 1 и 2. Это изменение исправляют подачей па катущки 4 и 5 квадруполя 2 помимо фокусирующего постоянного тока переменных отклоняющих токов с соответственно выбранными амплитудами. Выбором соотношения амплитуд отклоняющих токов, подаваемых на обмотки квадруполей Л и 2, осуществляют управление растром, а именно форматом растра и сверткой растра. Например, получают свертку растра в действительной точке оси пространства изображения, или получают телескопическую развертку, при которой главная ось траектории 9 пучка в пространстве изображений в каждый данный момент времени остается параллельной оси системы. Независимо от характера развертки электронный пучок остается сфокусированным в плоскости изображения 7.
Практически способ может быть осущестВлеп как в системе из двух магнитных квадруполей, так и в системе из электростатических квадруполей.
Совмещение фокусировки и отклонения обеспечивает получение зонда и растра с параметрами лучшими, чем в системах, где фокусировка и отклонение пространственно разделены как для коротких, так и для длинных рабочих отрезков.
Предмет изобретения
Способ получения растра пучка заряженных частиц, основанный на фокусировке и
развертке пучка с помощью квадрупольных электронно-оптических элементов, отличающийся тем, что, с целью уменьщения диаметра зонда и дисторспи растра в плоскости изображения, а также повышения мобильности управления растром, фокусировку и развержу пучка осуществляют одновременно, причем через квадрупольный дублет одновременно пропускают постоянный ток для фокусировки пучка и неременный ток - через первый квадруноль для развертки пучка, а через второй квадруполь для свертки растра.
6 ,5
