Установка для контроля герметичности полых изделий Советский патент 1985 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к контроль но-йзмерительной технике, а именно к контролю герметичности полых изделий, не допускакнцих контакта с индикаторным газом. По основному авт.св. № 1033883 известна установка, содержащая вакуумную камеру для контролируемого изделия, систему подачи и регулировани рабочего и индикаторного газов, масс спектрометрический течеискатель, индикаторную камеру, сообщаемую с полостью изделия, а также соединённую через запорный.орган с масс-спектрометрическим течеискателем и соединен ную с системой подачи и -регулировани рабочего газа, и выравнивающую камер с эластичным разделителем, одна из полостей которой сообщается с полостью изделия, а другая соединена с системой йодачи и регулирования индикаторного газа и сообщена через запорный орган с индикаторной камерой l. Недостатками известной установки являются невозможность оперативного контроля случайных натеканий индикаторного газа из элементов установки в полость изделия, что отрицательно сказьшается на надежности установки недостоверный контроль герметичности изделия из-за влияния на показания масс-спектрометрического течеискателя индикаторного газа, накапливающегося в полости выравнивающей камеры, сообщаемой с изделием. Цель изобретения - повышение надежности и достоверности контроля. Указанная цель достигается тем, что установка для контроля герметичности полых изделий снабжена контрольной камерой, соединенной с системой подачи и регулирования рабочего газа, а через запорньй органс масс-спектрометрическим течеискателем, индикаторной камерой, сообщакицейся с полостью изделия, причем индикаторная камера соединена -через зайорный орган с одной из полостей выравниваннцей камеры, которая через запорный орган сообщена с атмосферой . На чертеже представлена функциональная схема установки для контроля герметичности полых изделий. Установка содержит вакуумную камеру 1J предназначенную для размещеЛия гконтролируемого изделия 2, индикаторную камеру 3, контрольную камеру А, выравнивающую камеру 5 с эластичным разделителем 6 и двумя полостями 7 и 8, масс-спектрометрический течеискатель 9, систему подачи и регулирования рабочего газа, состоящую из балона 10 со сжатым рабочим газом, регулятора 11 давления и запорного органа 12, систему подачи и регулирования индикаторного газа, состоящую из баллона 13 со сжатым индикаторным газом, регулятора 14 давления и запорного органа 15. Индикаторная камера 3 соединена через запорный орган 16 с масс-спектрометрическим течеискателем 9. Контрольная камера 4 соединена с системой подачи и регулирования рабочего газа, а через запорный орган 17 - с масс-спектрометрическим течеискателем, кроме того, она сообщена с полостью изделия 2 и с индикаторной камерой 3 соответственно через запорные органы 18 и 19. Полость 7 выравнивающей камеры 5 сообщена через запорный орган 20 с индикаторной камерой 3, а через запорный орган 21 с атмосферой. Полость 8 выравнивающей камеры 5 соединена с системой подачи и регулирования индикаторного газа, сообщена через запорный орган 22 с индикаторной камерой 3, а через запорньй орган 23 - с атмосферой. Установка при контроле герметичности полого изделия работает следующим образом. Исходное состояние установки: в вакуумную камеру 1 помещено контролируемое изделие 2, все запорные органы закрыты, регуляторы 11 и 14 давления разгружены, баллоны 10 и 13 закачаны сжатым рабочим и индикаторным газом соответственно. Открывают запорные органы 15 и 23, настраивают регулятор 14 на давление Р, , Соответствующее условиям работы изделия 2, и продувают индикаторным газом полость 8 выравнива-. ющей камеры 5, после чего закрывают запорные органы 15 и 23. Открывают запорные органы 12, 19. 20 и 21, настраивают регулятор давления 11 на давление Р и продувают рабочим газом контрольную камеру 4, индикаторную камеру 3 и полость 7 выравнивающей камеры 5. Открьшают запорный орган 17. При достижении нулевого уровня индикаторного газа в контрольной камере 4 контролируемого масс-спектрометрическим течеискателем 9, закрывают запорные органы 17 и .21. Открывают запорный орган 18 и по средством эластичного разделителя 6 выравнивающей камеры 5 прецизионно вьфавнивают давление в изделии 2, индикаторной камере 3, контрольной камере А-и в полостях 7 и В вьфавни вающей камеры 5, после чего закрьюа ют запорные органы 12 и 20. Закрывают запорные органы 18 и 1 открывают запорный орган 22 и создают диффузионное перетекание индикаторного газа из полости 8 выравнивающей камеры 5 в индикаторную камеру 3. Через время , обусловленное чувствительностью масс-спектрометри- ческого течеискателя 9, запорный орган 22 закрывается. Открывается запорный орган 16 и массспектрометрическим течеискателем. 9 измеряется диффузионный фон () индикаторного газа в индикаторной камере 3, после чего запорный орган 16 закрывается. После повторной продувки полости В выравнивающей камеры 5 индикаторным газом, а койтрольной камеры 4, индикаторной камеры 3 и полости 7 выравнивакщей камеры 5 - рабочим газом, установления в ниХ давления Р( прецизионно выравнивают давление в контролируемом изделии 2 и в перечисленных камерах и полостях открыткем запорного органа 18, после чего закрывают запорные органы 12 и 20. Затем изделие 2 выдерживают в вакуумной камере 1 при разрежении, соответствующем условиям работы изделия, и закрывают запорные органы 17 и 18. Открывают запорный орган 22 и перепускают индикаторный газ из полости 8 выравнивающей камеры 5 в индикаторную камеру 3./Через время запорный орган 22 закрывают. Открьтают запорный орган 16 и массспектрометрическим течеискателем 9 измеряют уровень (fi индикаторного газа в индикаторной камере 3, после чего запорный орган 16 закрывается. По разности Лч Лj--otg-уровней индикаторного газа в индикаторной камере 3 судят о величине негерметичности изделия 2. Открьшая запорный орган 17, масс-спектрометрическим течеискателем 9 контролируют отсутствие индикаторного газа в контрольной камере 4, а соответственно, и в изделии 2. Таким образом, предлагаемая установка позволяет .вести оперативный контроль случайных натеканий индикаторного газа из элементов установки в полость изделия, а возможность сообщения полости выравнибающей камеры с атмосферой обеспечивает продувку ее рабочим газом, при которой . удаляется накапливающийся вэтой полости индикаторный газ, который влияет на достоверность контроля герметичности изделия.

УСТАНОВКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ПОШХ ИЗДЕЛИЙ по авт.св. 1033883, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности и достоверности контроля, она снабжена контрольной камерой, соедн;ненной с системой подачи и регулирования рабочего газа, а через запорный орган - с масс-спектрометрическим течеискателем, инди-. . каторной камере, сооСйцамцеЙся с.полостью изделия, причем индикаторная камера соединена через запорный орган с одной из полостей В1фавнива1ощей камеры, которая через запорный орган сообщена с атмосферой.