Вакуумная установка Советский патент 1987 года по МПК G01M3/02 

112

Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектроме- трическим методом.

Цель изобретения - обеспечение оценки чувствительности до испытания на герметичность изделий, работающих в вакууме в негерметичных оболочках, путем моделирования схемы испытаний.

На чертеже изображена схема вакуумной установки.

Вакуумная установка содержит камеру 1 с датчиком 2 вакузта, внутри которой расположена дополнительная герметичная камера 3, снабженная датчиком 4 вакуума, натекателем 5 и контрольной течью 6 с вентилем 7. Допол- нительньй масс-спектрометрический течеискатель 8 соединен с дополнительной герметичной камерой 3, кото

му между кожухом и изделием, установ ка на магистрали между внешней и вну

рая соединена с камерой 1 через дрос- 20 тренней к-мерами 1 и 3 дросселирующего вентиля 9, обеспечивающего реселирующий вентиль 9.

Высоковакуумный насос 10 соединен с камерой 1, механический насос 11 соединен с выходом высоковакуумного насоса 10, а масс-спектрометрический течеискатель.12 соединен с выходом высоковакуумного насоса 10.

Устройство работает следующим образом.

После получения при полностью открытом дросселирзпощем вентиле 9 в камере 1 и в дополнительной герметйч- нойслсамере 3 вакуума, который создается вакуумными насосами 10 и 11 и измеряется датчиками 2 и 4 вакуума, включаются масс-спектрометрические течеискатели 8 и 12 и вентилем 7 открывается подача пробного газа из контрольной течи 6 в дополнительную герметичную камеру 3. Затем натека- телем 5 и дросселирующим вентилем 9 в дополнительной герметичной, камере 3 создают вакуум, равный вакууму в реальной негерметичной оболочке изделия .

Масс-спектрометрическими течеис- кателями 8 и 12 соответственно измеряют величины потоков пробного газа от контрольной течи 6 в дополнитель- |ной герметичной камере 3 и камере 1. По результатам измерений со гласно методик определяют чувствительность системы испытаний.

ренней камеры на уровне Q

гулирование газового потока из внут.9-Kt

РИ 25 критериально подобного нех ерметичнот

сти кожуха О , а также установка на внешней камере дополнительного газоанализатора позволяют моделировать испытания реального объекта и оце- 30 нить чувствительность метода испытаний реального изделия, что обеспечивает исключение неоправданных затра

: на обработку метода испытания на ре альном объекте.

35

Формула изобретения

Вакуумная установка, содержащая камеру, соединенные с ней средства

40

откачки -с вакуумными коммуникациями и запорными вентилями, датчики вакуума, контрольную течь и масс-спектро метрический течеискатель, отличающаяся тем, что, с целью

45 обеспечения оценки чувствительности до испытания на герметичность изделий, работающих в вакууме в негерметичных оболочках, она снабжена размещенной вн5 три камеры дополнительно

50 герметичной камерой, на которой уста новлены натекатель и контрольная течь, и дополнительным масс-спектро- метрическим течеискателем, соединенным с дополнительной герметичной мерой, которая соединена с основной камерой через дросселирующий вентиль

;ВНИИПИ Заказ 7256/39, Тираж - 76.

Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

При проверках герметичности изделий (особенно крупногабаритных), работающих в вакууме в негерметичных кожухах, оценка реальной герметичности изделия осложнена наличием кожуха с собственной степенью негерметичности, что вызывает необходимость использовать моделирование процесса испытаний для оценки чувствительности метода.

Размещение в вакуумной камере 1 на камере 3, имитирующей пространство между кожухом и изделием, контрольной течи. 6 и натекателя 5,. выполне- ние объема внутренней камеры 3 критериально подобным (критерий --) объеЧи

му между кожухом и изделием, установка на магистрали между внешней и внутренней к-мерами 1 и 3 дросселирующего вентиля 9, обеспечивающего реренней камеры на уровне Q

гулирование газового потока из внут.9-Kt

РИ 25 критериально подобного нех ерметичнот

сти кожуха О , а также установка на внешней камере дополнительного газоанализатора позволяют моделировать испытания реального объекта и оце- 30 нить чувствительность метода испытаний реального изделия, что обеспечивает исключение неоправданных затра

: на обработку метода испытания на ре альном объекте.

35

Формула изобретения

Вакуумная установка, содержащая камеру, соединенные с ней средства

40

откачки -с вакуумными коммуникациями и запорными вентилями, датчики вакуума, контрольную течь и масс-спектрометрический течеискатель, отличающаяся тем, что, с целью

45 обеспечения оценки чувствительности до испытания на герметичность изделий, работающих в вакууме в негерметичных оболочках, она снабжена размещенной вн5 три камеры дополнительной

50 герметичной камерой, на которой установлены натекатель и контрольная течь, и дополнительным масс-спектро- метрическим течеискателем, соединенным с дополнительной герметичной мерой, которая соединена с основной камерой через дросселирующий вентиль.

Подписное

Изобретение относится к области контроля герметичности изделий масс- спектрометрический методом и обеспечивает оценку чувствительности до испытания на герметичность изделий, работающих в вакууме в негерметичных оболочках, путем моделирования схемы испытаний. Вакуумная установка содержит основную и дополнительную вакуумные камеры 1 и 3 с датчиками 2 и 4 вакуума. На камере 3 установлены на- текатель 5 и контрольная течь 6 с вентилем 7. Объем камеры 3 соединен с течеискателем 8 и через дросселирующий вентиль 9 с объемом камеры 1, которая, в свою очередь, сообщена с высоковакуумным насосом tO и форва- куумным насосом 11, снабженными течеискателем 12. Камеры 1 и 3 вакууми- рушт. Включают масс-спектрометричес- кие течеискатели 8 и 12. Подают пробный газ из контрольной течи 6 в камеру 3. Измеряют поток пробного газа течеискателями 8 и 12 в камерах 1 и 3. По результатам измерений согласно методик определяют чувствительность системы испытаний. 1 ил. (/) С ооо ff X Hf