Устройство для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем Советский патент 1985 года по МПК G01R17/10 

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в качестве

индикатора применен цифровой вольтметр.

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЙ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, содержащее семиплечий резистивный мост, индикатор, одним выводом -соединенный с одной из вершин измерительной диагонали моста, источник питания и регулируемый резистор, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности, в него введен трехплатный уравновепшвакиций элемент с тремя наборами дискретных резисторов, причем два из них образуют первое и седьмое плечи семиплечего моста, а третий включен последова.тельно с источником питания (Л и регулируемым резистором в диагональ питания семиплечего моста, а с зажимы для подключения объекта измерения соединены соответственно с общим вьшодом третьего и шестого плеч моста, другим выводом индикатора первым плечом и седьмым плечом. О5 4 О5 оо

1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполы эовано на предприятиях электронной промьшшенности для контроля качества технологических процессов изготовления интегральных схем.

Известно устройство для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем, контакты которых включаются в схему, одинарного моста по четьфехзажимной схеме.Последовательно с соединительными проводами включены сопротивления кристалла неизвестной величины. При измерении сопротивления контакта необ ходимо тройное уравновешивание моста с добавлением сопротивлений . известной величины в. плечи, смежные с плечом, содержащим измеряемоеконтактное сопротивление 1 3Недостатком устройства является низкая производительность. .

Наиболее близким пЪ технической сущности является семиплечий резистивный уравновешенный мост, состоящий из плеч отношения г и гд , ппеча сравнения г , плеча с измеряемым сопротивлением г,, второго плеча сравнения, в котором, кроме декад резисторов с сопротивлением г,,, спа ренным с помощью двухплатного переключающего элемента с сопротивлением основного плеча сравнения, находится резистор с сопротивлением г. , плеча с сопротивлением величиной Tg - г, перемычки, соединяющей узел, в котором соединяются плечи с сопротивлениями Гд и rg- Гд с узло в котором соединены измеряемый объект с вторым плечом сравнения, гальванометра, источника питания и регулировочного резистора. Двухплатный переключающий элемент состоит из четырех двухплатных декадных переключателей с двумя наборами резисторов каждый. Уравновешивание семиплечего моста производится с помощью четырех двухплатных декадных

переключателей до установления нуля на гальванометре L2j.

Недостатком семиплечего уравновешенного моста является низкая производительность вследствие того, что уравновешивание схемы производится с помощью четырех двухплатных декадных переключателей.

Цель изобретения - повьш1ение производительности при измерении с помощью сем1-тплечего моста сопротивлений омических контактов интегральных, схем.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство .для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем, содержащее семиплечий резистивный мост, индикатор, одним выводом соединенный с одной из вершин моста в измерительной диагонали моста, источник питания и регулируемый резистор, введен трехплатный уравновешивающий элемент с тремя наборами дискретных резисторов, причем два из них образуют первое и седьмое плечи семиплечего моста, а третий - включен последовательно с источником питания и регулируемым резистором в диагональ питания семиплечего моста, а зажимы для подключения объекта измерения соединены соответственно с общим вьшодом третьего и шестого плеч моста, другим выводом индикатора, первым плечом с седьмым ппечом.

В качестве индикатора может быть применен цифровой вольтметр.

На чертеже изображена схема устройства. Устройство содержит г набор дискретных резисторов 1 первого плеча семиплечего моста, трехплатный уравновешивающий элемент 2, набор дискретных резисторов 3 седьмого плеча, набор дискретных резисторов 4 цепи питания моста, зонды 5, резистор 6 второго плеча моста, резистор 7 третьего плеча моста, изме