Устройство для измерения потенциала заряженных слоев Советский патент 1985 года по МПК G01R29/12 

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано при определении потенциала заряжаемых коронным разрядом тонких дизлектрических пленок, фот полупроводниковых слоев. Цель изобретения -. повьппение быстродействия и расширение функцио нальных возможностей устройства. . На чертеже изображено предлагае мое устройство , общий вид. Устройство включает в себя коронйрующий электрод 1., окруженный цилиндрическим каркасом 2, опоясан Гным винтовой экранирующей полоской 3 с зондом 4, контакты 5, служащие для снятия сигналов с-зонда 4, и конт.акты 6 - для заземления экранирующей полоски 3,Цилиндрический каркас 2 приводится во вращение приводом 7. Исследуемый слой 8 помещается под каркас 2. (Источники питания коронирующего электрода 1 и привода 7 не показан ). Регистрирующий прибор 9 подключен к контактам 5 измерительного зонда 4, параллельно прибору подключен резистор to. , Измерения потенциала заряженных слоев проводятся следующим образом. На коронирующий электрод 1 подается высокое напряжение .и исследуемый слой заряжается в поле коронного разряда. Одновременно приводится во вращение каркас 2 с зондом 4. Поверхностный заряд на слое 8 вызывает в проходящем над ним зонде ЭДС электростатической индукции. Ток, проходящий через резистор 10, фиксируется прибором 9, например осциллографом. При вращении цилиндрического каркаса 2 относительно неподвижного исследуемого слоя8 в первый момент зонд 4 .своей крайней частью приближается к слою 8. Затем, по мере вращения, нижняя и ближайшая часть к слою 8 зонда 4 будет перемещаться вдоль слоя, т.е. вращающийся винтообразный зонд 4 по отношению к слою 8 будет перемещаться линейно вдоль него. Следовательно, на приближакнцемся к слою зонде 4 в силу электростатической индукции возникает сигнал, пропорциональный величине заряда в данном месте поверхности слоя. При перемещении зонда вдоль слоя 8 сигнал с зонда 4 зависит от колебаний заряда вдоль слоя 8. Связанный р зондом 4 прибор 9, например осциллограф фиксирует кривую, соответствующую распределению заряда вдоль слоя 8.

УСТРОЙСТВО ДНЯ ИЗМЕРЕНИЯ nOTEfflWAJlA ЗАРЯЖЕННЫХ СЛОЕВ, содержащее короянруюций электрод измерительный блок, снабженный по крайней мере одним зондом, соединенным с электроприводом и регистрирующим прибором, а также соединенный с электроприводом цилиндрический каркас, вдоль оси которого закреплен коронируюций электрод, а боковая поверхность снабжена экранизирующими по- . лосками,несущими зонда,о тли ч аю щ е е с я тем,что,с целью повышения его быстродействия и рас1вирения функциональных возможностей, экра- . нирующие полоски размещены вдоль винтовой линии.