Способ настройки интегральных тензометрических мостов Советский патент 1985 года по МПК G01B7/16 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при настройке тензометрических мостов, изготавливаемых по интегральной микроэлектронной технологии на основе как металлопленочных, так и полупроводниковых тензорезисторов.

Целью изобретения является повышение точности путем уменьшения аддитивной температурной погрешности в широком диапазоне температур.

На фиг. 1 представлен интегральный тензометрический мост с термочувствительным резистором и напыленной технологической перемычкой, общий вид; на фиг. 2 - схема включения моста при снятии величины температурного дрейфа.

Способ осуществляется следукицим образом.

При изготовлении тензометрического моста 1, включающего в себя четыре тензорезистора 2-5, в одно из плеч, например, последовательно с тензорезисторами 4 и 5, вводят термочувствительньй резистор 6. Выводы тензорезисторов 2-5 образованы соответственно контактшфю площадками 7-10, а выводы термочувствительного резистора 6 - контактными площадкам 11 и 12. Сопротивление термочувствительного резистора 6 выбирают таким, чтобы оно превышало предельно необходимое для термокомпенсации.

Тензомётрический мост 1 помещают в термокамеру 13 и с помощью клеммной

колодки 14 подключают к источнику 15 питания и вольтметру 16. Вьжлючатель 17 поочередно устанавливают в положение Замкнуто и Разомкнуто и

измеряют начальный выходной сигнал моста 1. Эти измерения проводят при двух различных температурах. По полученным данным рассчитывают температурный дрейф сигнала и величину сопротивления термочувствительного резистора 6, необходимую для термокомпенсации.

С помощью технологической перемычки 18, напыляемый между двумя любыми получившимися в соответствии с расчетом точками термочувствительного резистора 6 до требуемой величины. На этом процесс настройки интегрального

тензометрического моста заканчивается.

Использование предлагаемого способа позволяет более точно определять величину сопротивления термочувствительного резистора, необходимую для термокомпенсации, так как сигнал этого резистора оценивается на основе экспериментальных данных. Более точная подгонка величины сопротивления

обеспечивается бесступенчатой регулировкой с помощью напыляемой по месту перемычки. Таким образом, предлагаемый способ позволяет на порядок уменьшить аддитивную температурную

погрешность, что существенно повышает точность измерений при работе моста в широком диапазоне температур.

СПОСОБ НАСТРОЙКИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИХ МОСТОВ, заключающийся в том, что в одно из плеч моста вводят термочувствительный резистор, сопротивление которого превышает предельно необходимое для термокомпенсации, измеряют начальный выходной сигнал моста при закороченном термочувствительном резисторе для двух различных температур, определяют температурный дрейф сигнала, рассчитывают величину сопротивления термочувствительного резистора, необходимую для термокомпенсации, и с помощью технологической перемычки подгоняют величину сопротивления термочувствительного резистора требуемой величины, отличающийся тем, что, с целью повышения точности путем уменьшения аддитивной температурной погрешности в широком диапазоне температур, измеряют начальный выходной сигнал моста при тех же температурах и полностью включенном термочувствительном резисторе, а величину сопротивления подгоняют напыпением технологической перемычки и между двумя любыми точками термочувствительного резистора. 4 00 СО