Диффузионный насос Советский патент 1985 года по МПК F04F9/00 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству диффузионных вакуумных насосов и является дополнительным к авт. св. № 98W07.5

Цель изобретения - повьшение надежности работы насоса.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Диффузионный насос содержит кор- О пус 1 с форвакуумным патрубком 2, расположенньй р корпусе пооси паропровод 3 и нагреватель 4, размещенный в каналах 5, вьтолненных в днище 6 корпуса 1 и имеющих в стенках полу- 15 цилиндрические канавки 7, на- внутренних поверхностях которых размещена полимерная пленка 8 с. металлическим покрытием, отражающим инфракрасное излучение нагревателя 4, причем кана-20 лы 5 днища 6 при помощи трубопровода 9 с отсечным клапаном 10 подключены к форвакуумному патрубку 2 насоса.

Насос работает следующим образом.

Предварительно полость насоса 25 вакуумируют внещним форвакуумным насосом через патрубок 2 до остаточного

давления порядка рт.ст. При этом отсечной клапан 10 открыт, и одновременно с насосом вакуумируется полость, образованная каналами 5 днища 6. Затем клапан 10 закрывается и включается нагреватель 4, который нагревает рабочую жидкость насоса до температуры кипения. Пары рабочей жидкости по паропроводу 3 поднимаются к соплам, откуда истекают в виде сверхзвуковой струи, захватывающей молекулы откачиваемого газа и увлекающей их в сторону откачки. Пары конденсируются на стенках охлаждаемого корпуса 1, а молекулы откачиваемого газа удаляются из полости насоса через форвакуумный патрубок 2.

ПоБЬшение надежности работы насоса обусловлено увеличением долговечности нагревателя, который в процессе работы раскаляется и его инфракрасное излучениеj отражаясь от металли ческого покрытия пленки 8, нагревает жидкость в насосе. Отсутствие воздуха в каналах днища снижает окисление нагревателя при высокой температуре, продлевает срок его службы.

ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС по авт. св. № 981707, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы, каналы днища при помощи трубопровода с отсечным клапаном подключены к форвакуумному патрубку насоса.