Способ наполнения металлогалогенной лампы для фотоэкспонирования печатных плат Советский патент 1985 года по МПК H01J61/20 

Изобретение относится к газоразрядным лампам, точнее к металлогалогенным лампам с повышенным выходом УФ-излучения, и может быть использовано в автоматизированных производствах при фотоэкспонировании печатных плат в условиях аддитивного способа их изготовления.

Целью изобретения является увеличение мощности излучения ламп в области 300-400 нм при одновременном упрощении технологии изготовления.

У изготовленных образцов ламп с минимальными (1), оптимальными (Ц и максимальными (ill) значениями доз ровки компонентов, мг/см : I сплав 0,03; 0,13; 2,0; II сплав 0,05; 0,6; 2,9; 111 сплав 0,12; 1,25, 4,0.

Мощность находится в пределах от 1000 до 3000 Вт. При минимальных и максимальных значениях компонентов наблюдается ухудшение спектральных характеристик и снижение энергетичес кого КПД в диапазоне длин волн 300400 нм. При значениях компонентов сплава за пределами минимальной и максимальной дозировок наблюдается снижение концентрации излучающих компонентов в разряде и уменьшение доли УФ излучения в области спектра 300-400 нм ниже 10%. При оптимальной дозировке компонентов наблюдается максимальный КПД излучения в области спектра 300-400 нм.

Введение избыточной дозировки йодида свинца повьшает выход излучения в области спектра 300-400 нм, уменьшает потемнение кварцевой оболочки за счет оседания свинца.

полученного из обменных реакций на внутренней стенке горелки.

Применение эквиатомного сплава железа и кобальта (50% Fe и 50% Со) позволяет существенно снизить количество вносимых примесей, уменьшить ошибку при дозировании каждого из компонентов сплава.

Лампа работает следующим образом.

В отпаянной лампе, после первого включения возникает дуговой разряд и образуются йодиды по уравнениям

Fei + Pb;

Fe + РЫ, Col 2 + Pb.

Со + РЫ.

Нормальные электродные потенциалы для железа, кобальта и свинца равны соответственно 0,44; 0,30 и 0,13 В. Поэтому Fe и Со вытесняют Pb, образуя йодиды, участвующие в цикле свечения наряду с оставшимся Использование непосредственно Fel и СоЗ в технологии трудно, так как они гигроскопичны. В то же время Fe и Со - металлы, устойчивые на воздухе, не поглощают влагу, не взаимодействуют с кварцевым стеклом горелки. Используемый для наполнения йодид свинца наиболее стабильный, легко очищаемый вакуумной перегонкой, проводившейся перед изготовлением ламп.

В предлагаемой металлогалогенной лампе Pbl2 используют не только как транспортный агент: излучение свинца также используют в разряде. Дозировка подобрана так, чтобы йодида свинца было в избытке по сравнению с указанными вьшш реакциями.

СПОСОБ НАПОЛНЕНИЯ МЕТАЛПОГАЛОГЕННОЙ ЛАМПЫ ФОТОЭКСПОНИРОВАНИЯ ПЕЧАТНЫХ ПЛАТ, согласно которому в лампу вводят стартовый газ, иодид свинца и ртуть, отличающийс я тем, что, с целью увеличения мощности излучения в области 300400 им при одновременном упрощении технологии изготовления, в лампу дополнительно вводят железо и кобальт в виде эквиатомного сплава при следующих соотношениях компонентов, мг/см : 0,03-0,12 Сплав Fe - Со 0,13-1,25 Иодид свинца 2,0-4,0 Ртуть