Изобретение относится к технике измерений на СВЧ и может использоваться для измерения поверхностного сопротивления резистивных пленок на диэлектрической подложке, в частности для контроля поверхностного сопротивления резистивного покрытия поглощающих пластин поляризационных аттенюаторов, фильтров типов волн, оконечных нагрузок и др. в процессе их изготовления. Целью изобретения является повышение точности измерений параметров листовых материалов в виде резистив ных пленок на диэлектрической подложке . На фиг. 1 приведена структурная электрическая схема датчика для измерения параметров листовых материалов; на фиг. 2.- конструкция датчика для -измерения параметров листовых материаловi на фиг. 3 график для определения поверхностно го сопротивления. Устройство для измерения парамет ров листовых материалов содержит источник 1 СВЧ-сигнала, направленный ответвитель 2 подающей волны, направленный ответвитель 3 отражен422ной волны, датчик 4 для измерения параметров листовых материалов, выполненный в виде отрезка прямоугольного волновода 5 с продольными щелями 6, направленный ответвитель 7 прошедший волны (или другой измериТель ослабления), индикатор 8 (измеритель отношений). Измерение параметров листовых мате риалов осуществляется следующим образом., . Устройство для измерения параметров листовых материалов калибруется по отраженному и/или прошедшему сигналу без резистивной пленки на диэлектрической подложке. В отрезок прямоугольного волновода 5. через продольные щели 6 вводится диэлектрическая подложка с резистивной пленкой, поверхностное сопротивление которой подлежит измерению. Измеряется уровень отраженного и/или поглощенного сигнала, по которому вычисляются поверхностное сопротивление резистивной пленки с использованием рассчитанных заранее градиентов, зависимости коэффициента отражения и затухания от величины поверхностного сопротивления.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЧАСТОТНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПАССИВНОГО ЧЕТЫРЕХПОЛЮСНИКА В ВОЛНОВОДЕ | 1996 |
|
RU2125273C1 |
| Способ контроля распределения поверхностного сопротивления СВЧ-поглотителя и устройство для его осуществления | 1985 |
|
SU1355942A1 |
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ "НАНОМЕТРОВАЯ МЕТАЛЛИЧЕСКАЯ ПЛЕНКА - ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ИЛИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПОДЛОЖКА" | 2007 |
|
RU2349904C1 |
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ "МЕТАЛЛИЧЕСКАЯ ПЛЕНКА - ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ИЛИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПОДЛОЖКА" | 2006 |
|
RU2326368C1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КОМПЛЕКСНОГО КОЭФФИЦИЕНТА ОТРАЖЕНИЯ В КВАЗИОПТИЧЕСКОМ ТРАКТЕ (ВАРИАНТЫ) | 1994 |
|
RU2079144C1 |
| Устройство для измерения параметров листовых диэлектриков | 1979 |
|
SU885868A1 |
| НАПРАВЛЕННЫЙ ОТВЕТВИТЕЛЬ СВЧ МОЩНОСТИ | 1995 |
|
RU2121736C1 |
| СПОСОБ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ ПЛОСКИХ ПЛЕНОК ИЗ НЕМАГНИТНОГО ИМПЕДАНСНОГО ИЛИ ПРОВОДЯЩЕГО МАТЕРИАЛА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2005 |
|
RU2284533C1 |
| ИЗМЕРИТЕЛЬ ПАРАМЕТРОВ ДВУХФАЗНОГО ПОТОКА СЫПУЧИХ ВЕЩЕСТВ, ПЕРЕМЕЩАЕМЫХ ВОЗДУХОМ ПО МЕТАЛЛИЧЕСКОМУ ТРУБОПРОВОДУ | 2006 |
|
RU2339914C2 |
| МИКРОПОЛОСКОВОЕ НАПРАВЛЕННОЕ УСТРОЙСТВО | 2007 |
|
RU2364996C1 |
ДАТЧИК ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ЛИСТОВЫХ МАТЕРИАЛОВ содержащий отрезок прямоугольного волновода , в серединах широких стенок которого прорезаны продольные щели, расположенные одна против другой, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений параметров листовых материалов в виде резистивных пленок на диэлектрической подложке, продольные щели имеют треугольную форму.
(f, адб
КС8Н
100
200 фиг.З
300
| Устройство для измерения параметров листовых диэлектриков | 1979 |
|
SU885868A1 |
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
| Mair Н | |||
| G | |||
| ,Ein Verfahren Zur 1-essung der Komlexen DielektriziatS2ahlyon Folien und dunen Flatten im Mikrowellenbereich.- reguenz, 1970, 24, № 10, p | |||
| Автоматический тормоз к граммофону | 1921 |
|
SU303A1 |
