Способ определения поверхностной проводимости полупроводниковых кристаллов Советский патент 1959 года по МПК G01R27/08 

Предлагается слс.соб определения поверхностной проводимости полупроводниковых кристаллов, обладающих объемной проводимостью, основанный на использовании зависимости полного сопротивления проводника электрического тока от его геометрической формы.

Известные способы подобного рода не позволяют О|Существлять непосредственное измерение поверхностной проводимости полупроводников. При этих способах величина ее косвенно определяется по результатам измерений эффективного сопротивления кристалла, по спаду тока фотопроводимости, либо по измерению контактных потенциалов.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что в процессе измерений непосредственно определяют градиент потенциала вдоль образца, выполненного в виде клина с углом наклона не больгпе 7°, к которому ток подводится через контакты, имеющие постоянное переходное сопротивление.

На чертеже изображена принципиальная схема определения поверхностной проводимости полупроводников по предлагаемому способу.

Образец, с помощью котО ого производятся измерения, выполняется Б виде клина 1 с углом наклона не более 7 К этому образцу через контакты с постоянным переходпым сопротивлением подводится электрический ток / и с помощью электродов 2 измеряется градиент потенциала вдоль образца.

В дальнейшем по известным значениям тока /, градиента потенциала -тг- и поперечного сечения S образца в месте замера градиента

потенциала по соответствующим формулам определяется величина поверхностной и объемной проводимостей.

Предмет изо б р е т е и и я

Споеоб определения поверхностной проводимости полупроводниковых кристаллов, обладаюи;их объемной проводимостью, основанный на использовании зависимости полного сопротивления проводника электрического тока от его геометрической формы, отличающийся тем, что измеряют градиент потенциала вдоль образца, выполненного в виде клина с углом наклона не больше 7°, к которому ток подводится через контакты, имеющие постоянное переходное сопротивление.