Масс-спектрометрический течеискатель Советский патент 1986 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к испытательной технике, а пменно к испытаниям на герметичность.

Цель изобретения повьшение надежности работы анализатора, а также манометрического преобразователя путем уменьшения количества продуктов, осаждающихся на электродах.

На чертеже изображен масс спектро метрический течеискатель.

Течеискатель содержит последовательно соединенные устройство 1 питания и регистрации, анализатор 2, охлаждаемую ловзтпку 3 и насосную группу 4. Охлаждаемая ловушка 3 вьшолнена в виде полого корпуса 5, в котором размещен резервуар 6 с криогенной жидкостью. Анализатор 2 подсоединен К- корпусу 5 в нижней части со стороны дна 7 резервуара 6, а на- сосная группа Д в верхней части со стороны заливной горловины 8 резервура 6 о Манометрический преобразователь 9 расположен в полости корпуса 5 между его дном 0 и дном 7 резерву ара 6 с криогенной жидкостью, причем поверхность дна 7 резервуара 6, обращенная к манометрическому преобразователю 9, вьтолнена вогнутой,

Течечскатель работает следующим образом.

Насосная группа 4 создает необходимый вакуум в полости анализатора 2. Пробный газ 5, попадающий в вакуумную полость течеискателя поступа ет в анализатор 2, где преобразуется в электрический сигнал и регистрируется. Кроме пробного газа в знализатор 2 могут поступать другие газообразные и парообразные вещества, на пример пары рабочих жидкостей насосной группы 4. Для их устранения служит охлаждаемая ловушка 3, стенки резервуара 6 которой эффективно связы вают молекулы этих веществ.

Наибольший эффект работы ловушки 3 сказьшается при максимальном удалении защищаемых элементов (манометрического преобразователя 9 и анализатора 2) от места подсоединения насосной группы 4. Расположение манометрического преобразователя 9 на дне корпуса 5 ловушки 3 в непосредственной близости от резервуара 6 и от входа в анализатор 2 создает наиболее благоприятные условия для его работы и работы течеискателя в целом.

Нижний конец резервуара 6 для . крио/ енной жидкости наиболее долго сохраняет температуру криогенной жидкости при ее естественном испарении в атмосферу. С другой стороны, давление паров рабочей жидкости насосной группы 4 уменьшается с yse расстояния по длине ва- куумпровода, соединяющего насосную группу 4 с анализатором 2,

Таким образом, при естествен ном испарении криогенной жидкости пары рабочей жидкости, десорбирующиеся с верхних..участков резервуара 6, а также проникающие из насосной группы 4, сорбируются на нижнем конце резервуара 6, сохраняющем температуру криогенной жидкости. При этом основной газовый поток,создаваемый насосной группой 4, помогает уменьшить давление паров рабочей жидкости в области наиболее холодного участка резервуара 6 для криогенной жидкости.

Размещение манометрического преобразователя 9, например магнитораз- рядного датчика, также вблизи наиболее охлажденной части ловушки 3 способствует дополнительному пониже™ кию давления паров рабочей жидкости путем расщепления частиц рабочей жидкости в электрическом разряде и дополнительно защищает вход в анализатор 2.

При удалении криогенной жидкости из резервуара 6 охлаждаемой ловушки 3 или ее полном естественном испарении возможно образование конден сата парообразных веществ на стенках резервуара 6. Для предотвраще- НИН прямого попадания конденсата на манометрический п{эеобразователь 9 поверхность дна 7 резервуара 6 для криогенной жидкости со стороны мано- .метрического преобразователя 9 выполнена вогнутой. Конденсат, образующийся на поверхности дна 7 резервуара б, концентрируется на кромке дна 7, не попадая на манометрический преобразователь 9.

Изобретение позволяет повысить надежность работы течеискателя, увеличить период между профилактическими мероприятиями по уда- пению с электродов осаждающихся продуктов.

3

Формула изобретения

1. Масс-спектрометрический тече- искатель, содержащий последовательно соединенные устройство питания и регистрации, анализатор, охлаждаемую ловушку, выполненную в виде полого корпуса с размещенным в нем резервуаром для криогенной жидкости, насосную группу и манометрический пре- образователь, соединенный с устройством питания и регистрации, отличающийся тем, что, с целью повьппения надежности работы течеиска

теля, анализатор подсоединен к корпу- 15 су охлаждаемой ловушки со стороны дна

резервуара для криогенной жидкости, а насосная группа - со стороны его заливной горловины.

2.Течеискатель по п, 1, о т л и- чающийся тем, что манометрический преобразователь размещен

в полости корпуса между его дном и дном резервуара для криогенной жидкости соосно с последним.

3.Течеискатель по п. 2, о т л и чающийся тем, что поверхность дна резервуара охлаждаемой ловушки, обращенная к манометрическому преобразователю, вьтолнена вогнутой .

Изобретение относится к испытаниям на герметичность с помощью масс- спектрометрического течеискателя и обеспечивает повьшение надежности работы анализатора и манометрического преобразователя путем уменьшения количества продуктов, осаждающихся на электродах. Анализатор течеискателя подсоединен к корпусу охлаждаемой ловушки в нижней части со стороны дна резервуара с криогенной жидкостью, а насосная группа - в его. верхней части со стороны заливной горловины. Дно резервуара для криогенной ЖИДКОСТИ наиболее долго сохраняет низкую температуру и защищает анализатор от попадания паров рабочей жидкости насосной группы. Манометрический преобразователь размещен в полости корпуса ловушки между его дном и дном резервуара, что способствует дополнительной защите анализатора вследствие расщепления тиц рабочей жидкости в электрическом разряде. ,Для предотвращения попадания конденсата на мансадетрический преобразователь поверхность дна резервуара для криогенной жидкости выполнена вогнутой. 2 з.п. ф-лы, 1 нл. Од о:

Редактор М.Циткина

Составитель А.Овсянникова

Техред С.Мигунова Корректор Л. Патай

Заказ 634/47 Тираж 778Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская на5., д. 4/5

Фийиал ППП Патент, г.Ужгород, ул.Проектная, 4