Масс-спектрометрический течеискатель для испытания изделий на герметичность методом щупа Советский патент 1976 года по МПК G01M3/00 

10, подсоединяемую посредством трубопровода 11 и входного клапана 12 в линию между всасывающим соплом щупа и анализа тором. Охлаждаемая ловушка заполнена жидким азотом и закрыта крышкой 13, на которой установлен клапан 14, регулиру1ощий давление испаряющегося азота, поступающего по трубопроводу 15 к рассеивающему соплу щупа. Течеискатель работает следующим образом. Щуп нфюсят к обследуемой поверхности изделия. Азот, образованный в азотной ловущке естественным испарением жидкого азота, поступает по трубопроводу к рассеивающему соплу щупа и создает вокруг всас вающего сопла защитную среду от фоновых атмосферных потоков пробного газа и потоков этого газа от течей, расположенных вн зоны, обследуемой в конкретный момент. Пробный газ, вытекающий из течи вместе с газом- осителем (азотом), через всасывающее сопло щупа, отрегулированное до оптимальной проводимости иглой, и трубопровод поступает в адсорбционную колонку. В адсорбционной колонке все газы, кро ме пробного, поглощаются адсорбентом, а поток пробного газа через входной клапан течеискателя и ловушку поступает в массспектрометрический анализатор. Повышение парциального давления пробного газа в анализаторе свидетельствует о наличии течи. Формула изобретения Масс-спектрометрический течеискатель для испытания изделий на герметичность методрм щупа, содержащий анализатор, насосную систему для создания в нем рабочего давления, щуп с всасывающим и рассеивающим соплами и охлаждаемую азотную ловушку, включенную в линию между анализатором и всасывающим соплом щупа, о тличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения чувствительности испытаний, охлаждаемая ловушка выполнена в виде замкнутого резервуара с отводом к рассеивающему соплу, а течеискатель снабжен сорбционной колонкой, расположенной в охлаждаемой азотной ловушке.