Интерферометр Советский патент 1959 года по МПК G01B9/02 

В ОСНОВНОМ авт. св. JXb 122552 описан интерферометр типа . аГ1ке,1 сона с подвижным и неподвижным зеркалал н. в котором для нзмененим взаимного расположения и ориентировки зеркал применены пьезодвигатели.

Предлагаемый интерферометр отличается от иитерферометра по авт. св. № 122552 тем, что в ием оба зеркала 1 и 2 выполнены подвижными и одно из них соединено с несколькими пьсзодвигателями.

На чертеже зеркало / соединено с одним пьезодвнгателем 3. а зеркало 2 - с несколькими пьезодвигателями 4, 5 и 6, часть которых обеспечивает параллельное смещение зеркала, а другая часть - поворот его относительно различных осей.

гправляющее напряжение подается иа пьезодвигатели через систему емкостей 7 и регулировочных сопротивлений 8.

Подавая соответствуюн.ше напряжения на обкладки пьезодвигателей, можно осуществлять юстировку зеркал, управлять разностью хода лучей но заданному закону и синхронизировать работу интерферометра с работой других приборов.

Предмет изобретения

1.Интерферометр но авт. св. № 122552 (заявка Л9 592651), отличаю щ и и с я те.м, что, с целью управления разностью хода ,тучеГ1 интерферирующих световых потоков и обеспечения взаимной ориентировки зеркал, второе зеркало интерферометра выполнено подвижным.

2.Интерферометр по п. 1, отличающийся тем, что, с пелью повыщения точности юстировки зеркал, в нем одно из зеркал соединено с несколькими пьезодвигателями, часть которых служит для параллельного смещения зеркала, а другая часть для его наклона.

прс(§/1яюш,ее напряжение

-Ф

0

пильное