Способ измерения зазора между растрами фотоэлектрических растровых преобразователей перемещений Советский патент 1986 года по МПК G01B11/00 G01B11/14 

Из(5бретенне относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения зазора между растрами при сборке и юстировке измерительных преобразователей линейных и круговых перемещений.

Целью изобретения является повьиие- ние точности измерения перемещений за счёт измерения зазора между рас-- трами.-

На Изображена схема, поясняющая способ измерения перемещений,

Спос об осуществляется следующим образом.

Формируют с помощью осветителей 1 и 2 два коллимированных пучка света, направляют их на один и тот же участок растрового сопряжения, образованного растрами 3 и 4 под разными углами и oi падения в плоскости, нормальной к плоскости сопряжения и штрихам первого по ходу пучков растра 3,. перемещают растры 3 и А один относительно другого, преобразуют с помощью фотоприемнйков 5 и 6 мощности пучков, прошедших сопря жение, в электрические сигналы, регистрируют фазометром 7 разность фаз этих сигналов, изменяют угол cJ. падения на участок растрового сопряжения одного из пучков света на величину йы, регистрируют фазомет ром 7 изменение разности фазлч элек

грич€ ских сиг-налов и лпреде.чяют величину зазора h тю ф рмуле

360rtg( -+ д, ) . Г где Т - линейный шаг растров .

h

Формула изобретения

Спосо.б измерения зазора между растрами фотоэлектрических растровых преобразователей перемещений-, заключающийся в том, что формируют два коллимированных пучка света, направляют их на один и тот же участок растрового сопряжения под разными углами падения в плоскости, нормальной к плоскости сопряжения и штрихам первого по ходу пучков растра, перемещают растры друг относительно друга, преобразуют мощности пучков, прошедЕШх сопряжение, в электрические сигналы, регистрируют разность фаз этих сигналов и определяют контролируемый параметр, о т л и ч а ю- щ и и с я тем, что, с целью повышения точности измерения перемещений, изменяют угол о/ падения на участок растрового сопряжения одного из пучков света на величину Со( , регистрируют изменение разности фаз л ч электрических сигналов и определяют величину зазора h по формуле

ЗбО tgCo/ +Ло )

где Т - линейный шаг растров.

ВНИИПИ Зака-. 32///41 Ъфаж 670 Подписное Произв.-полигр. , г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение позволяет повысить точность измерений перемещений фотоэлектрического растрового измерительного преобразователя путем юстировки его по значению величины зазора между растрами, образующими растровое сопряжение. Способ осуществляется следующим образом. Формируют два кол- лимированных пучка света и направля-. ют их на один и тот же участок растрового сопряжения под разными углами падения в плоскости, нормальной к плоскости сопряжения и штрихам первого ПС ходу пучков растра. Перемещают растры друг относительно друга, преобразуют мощности пучков, прошедших сопряжение, в электрические сигналы и регистрируют разность фаз этих сигналов. Изменяют угол is/ падения на участок растрового сопряжения одного из пучков света на величину л.о(, регистрируют изменение разности фаз ЛЧ электрических сигналов и опреде-г ляют величину зазора h по формуле h Т .AW/360rtg(oi -НдЫ) - tguJj, где Т - линейный шаг растров. 1 ил. (Л ю со ;о