Способ измерения перемещений Советский патент 1983 года по МПК G01B11/00 G01B11/14 

.СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЩЕНИИ, заключающийся в том, что формиру т коллимированный пучок света, направляют его на растровое сопряже- :ние под углом к плоскости и регистрйруют нощность пучка, прошедшего со.пряжение, по которой судят об относительной пространственной фазе образующих сопряжение растров и определяют контролируемый параметр, о т .личающийс я тем, что, с целью измерения также и изменений зазора между растрами, формируют дополнительный коллимированный пучок света, направляют его на тот же участок растрового сопряжения, что и основной, под углом к плоскости сопряжения, отличным от угла, под которым напрайляют основной пучок, оси пучков располагают в плоскости, нормальной к плоскости сопряжения и штрихам первого по ходу пучков растра растрового сопряжения, регистрируют мощность дополнительного i пучка, прошедшего сопряжение, по которой судят от относительной проО) странственной фазе образующих сопряжение растров, и по значению изменений разности фаз судят об изменении зазора.