Визуальные методы определения величины смещения интерференционных полос не удовлетворяют возросшим требованиям к точности в научных и технических измерениях с помощью оптических интерференционных методов.
При помощи предлагаемого способа можно объективно и с высокой точностью измерить дробную часть смещения интерференционных полос, причем в качестве интерферометра используется интерферометр Кастерса шти Жаадена. Обе системы интерференционных полос, даваемые сравниваемыми образцами, приводятся в равномерное движение. При сравнении, например, концевых мер это достигается равномерным перемещением с помощью синхронного мотора 1 (см. чертеж) предметного столика с концевыми мерами 2. Обе системы интерференционных полос сравниваемых образцов проектируются с помощью щели 3 и двух призм 4 на два фотоумножителя 5. Разность фаз синусоидальных напряжений, возникающих на выходе фотоумножителей, пропорциональна смещению полос и может быть измерена с высокой точностью фазометром, показания которого не зависят от амплитуды сигнала 6.
Предмет изобретения
1. Способ измерения дробной части сдвига двух систем интерференционных полос в интерферометрах путем измерения разности фаз двух электрических напряжений, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности и разрешающей способности измерений, обе системы интерференционных полос приводят в равномерное движение относительно щелей двух фотоумнол ;ителей и измеряют разность фаз тех электрических напряжений, которые снимают с выходов этих фотоумножителей.
JVk 12-1676- 2 -
2.Устройство для осуществления способа по п. 1, содержащее интерферометр, отличающееся тем, что, с целью приведения интерференционных полос iB равномерное движение, одно и:-: зеркал интерферометра или его клиновидная комленсационная пластина выполнены перемеи1аю1цимися с такой скоростью, чтобы резкость интерференциониой картины сохранялась в течение в;)емени, необходимого для отсчета показаний фазометра.
3.Устройство для осуществления способа по п. 1, отоТичающееся тем, что. с целью достижения максимальной чувствительности, ни)ина ще;1ей фотоумножите тей выбрана равной половине расстояния между инте зференционными полосами.
4.В устройстве по пп. I и 2 применение фазометра, показания которого не зависят от амплитуды сигналов
J
I
