Способ измерения параметров глубоких уровней в полупроводниках Советский патент 1987 года по МПК H01L21/66 

Описание патента на изобретение SU1250107A1

Изобретение относится к йолупро- воднйковрй технике и может быть использовано для измерения параметров глубоких уровней в полупроводниках.

Цель изобретения - повьшение точности.

На фиг.1 приведена вольт-амперная характеристика (ВДХ) образца в двойном логарифмическом масштабе, измере- ю представлены измеренные ВАХ в двойном , Нная в режиме эксклюзии,на фиг.2-по- : логарифмическом масштабе в режиме левая зависимость дифференциального эксклюзйи. При малых напряжениях ВАХ наклона ВАХо в двойном логарифмичес- линейна, ток I пропорционален напря- ком масштабе,, ;. жению V, При больших - I ,v. .

Определено минимальное значение дифференциального наклона ВАХ в двойном логарифмическом масштабе alf 0,59 (фиг.2) и напряжение V при У„

0,90 В и ток I при d : ,02 х

Пример. Исследовалась полупро--) 5 водни совая пластина германия р-типа с удельным сопротивлением при комнатной температуре Ом.см и концентрацией осфаточной примеси ,

где Ny - концентрация акцепторов, Nd- 20 10 А, подвижность дырок ft/ f концентрахщя доноров, размеры которой 1,8-10 см /В , эффективная масса 0,96x0,42x0,50 см с толщиной больше дьфок тр 0,55, рассчитаны величины, биполярной диффузионной длины Lj/vl мм/. энергии;.активации dE 0,37 эВ, вре- К узким торцам пластины изготавлива- мени жизни носителей 4,, лись антизапориый и омический кон25 степень компенсации ЛЫ 6,5-10 см,

такты; антизапорный контакт изготавливался вплавлением индия на травленную в кипящем пергидроле () поверхность германия, омический - вплавлением олова. Измерялась вольт-амперная характеристика исследуемого полупроводника при комнатной температуре в режиме постоянного тока. На фиг.1

Определено минимальное значение дифференциального наклона ВАХ в двойном логарифмическом масштабе alf 0,59 (фиг.2) и напряжение V при У„

0,90 В и ток I при d : ,02 х

10 А, подвижность дырок ft/ f 1,8-10 см /В , эффективная масса дьфок тр 0,55, рассчитаны величины, энергии;.активации dE 0,37 эВ, вре- мени жизни носителей 4,,

10 А, подвижность дырок ft/ f 1,8-10 см /В , эффективная масса дьфок тр 0,55, рассчитаны величины энергии;.активации dE 0,37 эВ, вре- мени жизни носителей 4,,

степень компенсации ЛЫ 6,5-10 см,

Похожие патенты SU1250107A1

название год авторы номер документа
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНЖЕКТИРУЮЩЕГО КОНТАКТА К МОНОСУЛЬФИДУ САМАРИЯ 1995
  • Володин Н.М.
  • Костюкевич Е.В.
  • Смертенко П.С.
  • Ханова А.В.
  • Ханов Ю.А.
RU2089972C1
ГЕНЕРАТОР ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ КОЛЕБАНИЙ СВЧ И КВЧ ДИАПАЗОНОВ 1996
  • Квяткевич И.И.
  • Матвеев Ю.А.
  • Обухов И.А.
  • Чернявский А.А.
  • Гладышева Н.Б.
  • Дорофеев А.А.
  • Краева Г.К.
RU2113743C1
МНОГОЭЛЕМЕНТНЫЙ ИК-ПРИЕМНИК НА ГОРЯЧИХ НОСИТЕЛЯХ С ДЛИННОВОЛНОВОЙ ГРАНИЦЕЙ 0,2 ЭВ 1993
  • Рязанцев И.А.
  • Двуреченский А.В.
RU2065228C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КОНДЕНСАТОРНОЙ СТРУКТУРЫ МЕМРИСТОРА, ХАРАКТЕРИЗУЮЩИХ ПРОЦЕСС ФОРМОВКИ 2015
  • Тихов Станислав Викторович
  • Горшков Олег Николаевич
  • Антонов Иван Николаевич
  • Касаткин Александр Петрович
  • Коряжкина Мария Николаевна
  • Шарапов Александр Николаевич
RU2585963C1
КРИСТАЛЛ СИЛОВОГО ВЫСОКОВОЛЬТНОГО ДИОДА С БАРЬЕРОМ ШОТТКИ И p-n ПЕРЕХОДАМИ 2023
  • Войтович Виктор Евгеньевич
  • Воронцов Леонид Викторович
  • Гордеев Александр Иванович
RU2805563C1
ИМПУЛЬСНЫЙ ИНЖЕКЦИОННЫЙ ЛАЗЕР 2006
  • Слипченко Сергей Олегович
  • Тарасов Илья Сергеевич
  • Пихтин Никита Александрович
RU2361343C2
МНОГОЭЛЕМЕНТНОЕ ФОТОПРИЕМНОЕ УСТРОЙСТВО С ДЛИННОВОЛНОВОЙ ГРАНИЦЕЙ ПОГЛОЩЕНИЯ ДО 7 МКМ 2000
  • Двуреченский А.В.
  • Ковчавцев А.П.
  • Курышев Г.Л.
  • Рязанцев И.А.
RU2175794C1
ЛАЗЕР-ТИРИСТОР 2019
  • Слипченко Сергей Олегович
  • Пихтин Никита Александрович
  • Подоскин Александр Александрович
  • Симаков Владимир Александрович
  • Коняев Вадим Павлович
  • Кричевский Виктор Викторович
  • Лобинцов Александр Викторович
  • Курнявко Юрий Владимирович
  • Мармалюк Александр Анатольевич
  • Ладугин Максим Анатольевич
  • Багаев Тимур Анатольевич
RU2724244C1
Способ определения диффузионной длины неосновных носителей заряда в гомо-р-п-переходе 1989
  • Андреева Татьяна Петровна
  • Махний Виктор Петрович
SU1746435A1
ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ БИПОЛЯРНЫЙ ТРАНЗИСТОР СО СТАТИЧЕСКОЙ ИНДУКЦИЕЙ 2023
  • Гордеев Александр Иванович
  • Войтович Виктор Евгеньевич
  • Еремьянов Олег Геннадьевич
  • Максименко Юрий Николаевич
RU2805777C1

Иллюстрации к изобретению SU 1 250 107 A1

Реферат патента 1987 года Способ измерения параметров глубоких уровней в полупроводниках

Формула изобретения SU 1 250 107 A1

10

,-J

t/77

Ю

-i

Ю

-5

Ю

Ю Фиг. 1

Ут /и У.8

фиг. г

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1987 года SU1250107A1

Мерджалилова М.А
и др
Термости- мулированная ЭДС на электронно-дырочном переходе
Физика твердого тела, 1У66, т
Топка с несколькими решетками для твердого топлива 1918
  • Арбатский И.В.
SU8A1
Печь-кухня, могущая работать, как самостоятельно, так и в комбинации с разного рода нагревательными приборами 1921
  • Богач В.И.
SU10A1
Патрон с изолирующей обоймой для электрических ламп 1924
  • Осипов П.П.
SU3090A1
Buchler М.Сг
Impiirity centres in p-n Junctions determined from shifts in the thermally stimvuated ciirrint and capacitance response vith heating rate
Solid State Electronics, 1972, V
Прибор для нагревания перетягиваемых бандажей подвижного состава 1917
  • Колоницкий Е.А.
SU15A1
Приспособление для точного наложения листов бумаги при снятии оттисков 1922
  • Асафов Н.И.
SU6A1

SU 1 250 107 A1

Авторы

Малютенко В.К.

Зюганов А.Н.

Смертенко П.С.

Витусевич С.А.

Даты

1987-11-30Публикация

1984-12-25Подача