Суспензия для шлифования твердых материалов Советский патент 1986 года по МПК C09G1/02 

Изобретение относится к абразив- ным составам, применяемым для шлифования твердых материалов 3 в частности сапфира.

Цель изобретения - повышение качества поверхности пластин сапфира

Суспензию готовят следующим образом.

В емкость вливают необходимое количество воды, доливают нужное количество глицерина, тщательно пермешивают до образования однородной жидкости, засыпают в требуемом количестве порошки карбида бора большей зернистости, карбида бора меньшей зернистости, карбида кремния зеленого большей зернистости, карбида кремния меньшей зернистости с последующим перемешиванием до получения однородной массы. Суспензия имеет темно-серый цвет.

Приготовленную суспензию разливают в рабочие емкости, из которых осуществляется подача суспензии во время шлифован ия в зону обработки, или в емкости для хранения.

Варианты состава предлагаемой суспензии, в частности для двустороннего шлифования сапфировых подложек больших интегральных микросхем следующие.

I .

Пример 1. Суспензию готовя по приведенной технологии при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Карбид бора зернистостью

М285,0

М4010,0

Карбид кремния зеленьш зернистостью

М285,0

М4010,0

Глицерин15,0

Вода55

Пример 2. Суспензию готовят по приведенной технологии при следующем соотношении компонентов, мае-. %:

Карбид бора зернистостью

М28 7,0

М4013,0

Карбид кремния зеленый зернистостью

М285,0

1 1 ,0 21 ,0

43

5

Пример 3. Суспензию готовят при приведенной технологии при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Карбид бора зерНИСТОСТЬЮ

М288,0

М4017,0 Карбид кремния зеленый зернистостью

М288,0

,0

Глицерин23,0

Вода27

0 Время шлифования 720 с (12 мии), причем в течение 600 с (10 мин) с момента начала обработки давление поддерживают на уровне П,9 кПа (0,121 кг-см ), а затем снижают

5 до 5,4 кПа (0,05.5 кг-см ). Материал притиров - чугун, количество одновременно шлифуемых сапфировых подложек 10, количество потребляемой за время шлифования суспензии 0,25 кг

0 (250 г).

Сравнение качества шлифования предлагаемой и известной суспензий проводят по параметру шероховатости поверхности сапфировых подложек пос- ле шлифования. Измерение параметра R(j проводят на профилографе (профило- метр. 201). Величину параметра для каждого конкретного состава предлагаемой и известной суспензий определяют по результатам статистической обработки 150 измерений параметра шероховатости поверхности обработанных сапфировых подложек.

Состав суспензии для шлифования 5 твердых материалов и свойства обработанных материалов приведены в табл.1 и 2.

Из табл. 1 и 2 следует , что параметр шероховатости поверхности

сапфира подложек после шлифования находится в пределах 0,48-0,52 мкм при содержании в предлагаемой суспензии карбида кремния зеленого меньшей зернистости в диапазоне 55 8 мас.%. Указанный диапазон содержания в предлагаемой суспензии карбида кремния зеленого меньшей зернистости является оптимальным, пос0

. -312556334

кольку выход за его пределы снижа- ле шлифования суспензией, составы

ет качество обработки (параметр пос- 1, 6, 7, 12)

Компонеяты, мас.Х

Карбид CSopa зернистостью

М28 -НАО

Карбид кремния, зеленый зернистостью

1120

М28

М40

Глицерин Вода

RQ (после шлифования)« мкм

6 16

5 10

7 13

в

U

8 17

6 12

6 16

5 10

7 13

8 14

8 17

6 12

0,56 0,50 0,48 0,50 0,52 0,56 0,58 0,51 0,50 0,51 0,52 0,57

ас.%

зернис

ия зетость

5 10

7 13

i Т а .6 л и ц а

8 17

6 12

6 16

5 10

7 13

8 14

8 17

6 12

{Таблица 2

5 10

7 13

8 17

5 10

7 13

8 17

Редактор Н.Гунько

Составитель И.Гинзбург Техред Л.Олейник

Заказ 4786/29Тираж 644Подписное

ВНИИШ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий П3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул. Проектная,4

Продолжение табл.2

Корректор И.Эрдейи