Диффузионный вакуумный насос Советский патент 1993 года по МПК F04F9/06 

Изобретение относится к о&пасти вакуумной техники, а именно к конструкции диффузионных вакуумных насосов.

Целью изобретения является снижение обратного потока оаров рабочей жидкости из насоса 8 откачиваемый .

На Meptexe представлена схема описываемого насоса.

Диффузионный вакуумный насос содержит вертикальный охлаждаемый корпус 1, размещенный в нем по оси паропровод с зонтичным срплрм 2, формирующим взаимодействующую с корпусом 1 паровую струю, и установленный над соплом 2 отражатель 3. Насос снабжен защитными усеченными конусами 4 и 5, причем конус 4 установлен на енешкей поверхности otpa- кате/}я 3 на расстоянии от его нижнего края, равном длине образующей крнуса 4, w обращен к выхлопу насоса большим основанием, а конус 5 устанреяенна внутренней поверхности корпуса i над зоной взаимодействия с корпусом паровой струм и обращен к выхлопу насоса М(эньшим основанием.

Насос работает следующим образом.

Пары рабочей жидкости насоса поступают в сопло 2, где формируется паровая струя, направленная к корпусу 1. 8 пространстве между корпусом и соплом паровая струя захватывает молекулы газа,

0

5

0

поступающзго из oi качиваемого обьема и переносит их к выхлопу насоса. При взаимо- дейстзм41 сверхзвуковой паровой струи ее стенками сопла 2 вследствие сил трения образуется пограничный слой, в котором скорость струи является дозвуковой. Это приводит к частичному огибанию нижней Крог-Лгси сопла парами рабочей жидкости и разлету паров в сторону откачиваемого объема. Разлетающиеся пары попадают на поверхность конуса 4 и либо конденсируются на нем, либо отражаются е сторону паровой струи и захватываются ею. Аналогичная картина происходит в зоне взаимодействия паровой струи с корпусом, где разлетающиеся от этой зоны в сторону откачиваемого о5ье- ма пары попадают из конус 5 и кон денсиру- ются .

Таким образом, описанная конструкция насоса позволяет снизить обратный поток паров рабочей жидкости в откачиваемый объем.

(56) Леонов В.В. идр. Влияние проводимости входного канала.на предельную быстроту действия вакуумного диффузионного нзсос а. -- В сб.; Вопросы аломной науки л техники. -- Сер. Общая и ядерная ф лзика. М.;

ЦНИИзтоминформ, 9SA. вьш. 1 (26), с. 5.

/f omw uSaeMOM /.

Редактор Н. Цалихина Заказ 3183

Составитель В. Кряковкин

Техред М.МоргенталКорректор О. Густи

Подписное

Тираж НПО Поиск Роспатента V13035. Москва, Ж-35, Раушская наб,. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент, г Ужгород, ул.Гагарина. 101

Подписное

наб,. 4/5