Диффузионный насос Советский патент 1986 года по МПК F04F9/06 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям диффузионных вакуумных насосов.

Цель изобретения - уменьшение миграции рабочей среды в откачиваемый объем путем исключения обратного потока.

На чертеже схематически изображен насос, продольный разрез.

Диффузионный насос содержит корпус 1 с днищем 2, размещенный в корпусе I. по оси паропровод 3 с верхним коническим соплом 4 и закрепленные на корпусе над паропроводом 3 электроды, имеющие электрический потенциал относительно паропровода 3, причем электроды выполнены в виде двух соосных сеточных конусов 5 и 6 с ячейками, смещенными друг относительно друга, и основаниями, обращенными к днищу 2, а углы при вершине внешнего конуса на 7-11°, а внутреннего на 3-5° превышают угол раскрытия верхнего конического сопла 4 паропровода 3.

Диффузионный насос работает следующим образом.

Пары масла через паропровод 3 и верхнее коническое сопло 4 истекают в корпус 1

и захватывают молекулы газа из пространства над паропроводом 3. При истечении паровой струи из верхнего конического сопла 4 и соударении ее со стенками корпуса 1 образуется обратный поток паров масла, направленный вверх в сторону откачиваемого объема, что в ряде случаев крайне нежелательно. Проходя по изолированному от корпуса паропроводу 3 и верхнему коническому соплу 4, пары масла ионизируются. Частички масляного пара, получивщие после выхода из сопла 4 направление вверх, притягиваются сеточными конусами 5 и 6 и мигрируют затем по сетке в сторону днища 2 корпуса 1. Те же частички, которые от соударения с сеточным конусом 5 изменили знак ионизации, отражаются вниз сеточным конусом 6.

Таким образом, обратный поток паров масла значительно уменьшается. Одновременно увеличивается откачивающее действие струи, поскольку, пройдя через противоположно заряженные сетки, газ частично ионизируется и получает добавочный импульс по направлению к струе за счет электростатических сил.

ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с днищем, раз.мещенный в корпусе по оси паропровод с верхним (Л to о 4 Ю ническим соплом и закрепленные на корпусе над паропроводом электроды, имеющие электрический потенциал относитльно паропровода, отличающийся тем, что, с целью уменьшения миграции рабочей среды в откачиваемый объем путем исключения обратного потока, электроды выполнены в виде двух соосных паропроводу сеточных конусов с ячейками, смещенными друг относительно друга, и основаниями, обращенными к днищу, причем углы при вершине внешнего конуса на 7-11, а внутреннего на 3-5° превышают угол раскрытия врехнего конического сопла паропровода.