Вакуумная ловушка Советский патент 1986 года по МПК F04F9/06 

точник холода установлены в корпусе 1. Источник холода вьшолиен в виде многокаскадной термоэлектрической батареи 3. Экраны 4 соединены с ОЭ 2 и при ПОМО1ЦИ теплопроводов 5 - с теплым каскадом 6 батареи 3. Батарея 3 размещена в гофрированном сильфоне 8, сообщенном с атмосферой, а теплопроводы выполнены в виде пластин, установленных в гофрах 9 сильфопа 8. Сильфонный антимигратор 7 подсоединен средней частью к теплому каскаду 6 батареи 3. Пары масел или других примесей идут со стороны вакуумного насоса навстречу потоку откачиваемого газа. Дойдя до ловушки.

они огибают экраны А и проходят к ОЭ 2, где задерживаются, переходя в твердую фазу. Н{идкая фаза примесей движется вдоль антимигратора 7 до зон с температурой ниже температуры затвердевания, где намораживается и задерживается. Температура экранов 4 активно понижается путем охлаждения более теплым источником 6 через прижатые друг к другу теплопроводы 5 и гофры 9. Активное охлаждение экранов более теплыми каскадами батареи приводит к понижению теплопередачи излучением от экранов и передачи тепла теплопроводностью по антимигратору. 2 3.п. ф-лы. 1 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике - вакуумным насосам с термоэлектрическим охлаждением. Цель изобретения - повышение экономичности работы и облегчение обслуживания путем уменьшения теплопередачи излучением от экранов и теплопроводностью по антимпгратору. Охлаждаемые элементы (ОЭ) 2 и подключенньш к ним ис

1

изобретение относится к вакуумно технике, а именно к вакуумным ловушкам с термоэлектрическим охлаждение

Цель изобретения - повьшение экономичности работы и облегчение обслуживании .

На чертеже изображена вакуумная ловушка.

Вакуумная ловушка содержит корпу 1, расположенные в нем охлаждаемые .элементы 2 и подплючеиный к последним источник холода, выполненньй в виде многокаскадной термоэлектрической батареи 3. Ловушка дополнительно содержит экраны 4, соединенные с охлаждаемыми элементами 2, и при помощи теплопроводов 5 - с теплым каскадом 6 термоэлектрической батареи 3.

Ловушка снабжена сильфонным антиш1гратором 7, подсоедИне1{ным средней частью к теплому каскаду 6 термоэлектрической батареи 3.

Кроме того, ловушка снабжена сообщеннь№1 с атмосферой гофрированным сильфоном 8, термоэлектрическая батарея 3 размещена в последнем, а теплопроводы выполнены в виде пластин, установленных в гофрах 9 сильфона 8.

Вакуумная ловушка работает следующим образом.

Пары масел или других примесей идут со стороны вакуумного насоса

навстречу потоку откачиваемого газа из вакуумируемого объема.

Дойдя до ловушки, они огибают экран 4 и проходят к охлаждаемымэлементам 2, где задерживаются, переходя в твердую фазу, исключающую их миграцию по поверхности. Жидкая фаза примесей, осевшая на стенках корпуса 1 и экранов 4, движется вдоль

сильфонного антимигратора 7, пока не доходит до зон с температурой ниже температуры затвердевания, где намораживается и задерживается.

Для уменьшения теплопритока излучением от экранов 4 их температура активно понижается путем охлаждения более теплым источником холода через прижатые друг к другу теплопроводы 5 и гофры 9 сильфона 8.

Активное ох.паждение экранов более теплыми каскадами термоэлектрической батарей приводит к значительному понижеьшю теплопередачи излучением от экранов и передачи тепла теплопроводностью по антимигратору.

Это позволяет значительно сократить мощность, потребляемую термоэлектрической батареей.

Формула изобретения

сильфонным антимигратором, подсоединенным средней частью к теплому каскаду термоэлектрической батареи.

3. Ловушка по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью облег чения обслуживания, она снабжена сообщенным с атмосферой гофрированным сильфоном, и термоэлектрическая батарея размещена в последнем, а теплопроводы вьтолнены в виде пластин, установленных в гофрах сильфона.