Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1986 года по МПК F04D19/04 

(О

ьо

Ci СХ) 00

со Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов. Цель изобретения - повышение экономичности. На чертеже представлен насос, продольный разрез. Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 со статорными лисками 2, полостями 3 и 4 всасывания и нагнетания и установленный по оси корпуса 1 дисковый ротор 5, вал 6 которого связан с электродвигателем 7, снабженным системой 8 водяного охлаждения. Насос дополнительно содержит установленные в корпусе 1 со стороны полости 4 нагнетания молекулярную ступень 9 и водоструйный эжектор 0, активное сопло которого подк.11очено к системе 8 водяного охлаждения, .-I пассивное сообщено с полостью 4 нагнетания. Насос работает следующим образом. При вращении ротора 5 газ, поступаю1),ий в полость 3 всасывания, взаимодейстiiVvT со статорными дисками 2 и ротором о и переносится в направлении откачки, попадай в молекулярную ступень 9 и далее в .юлость 4 нагнетания. Из этой полости газ удаляется в атмосферу водоструйным эжектором 10, в котором в качестве активной среды используется вода из системы 8 охлаждения электродвигателя 7. Использование водоструйного эжектора позволяет исключить форвакуумную откачку насоса, поскольку в данном случае ее функции выполняет эжектор 10, использующий энергию воды из системы охлаждения, что в целом повышает экономичность насоса. Формула изобретения Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус со статорными дисками, полостями всасывания и нагнетания и установленный по оси корпуса дисковый ротор, вал которого связан с электродвигателем, снабженным системой водяного охлаждения, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, насос дополнительно содержит установленные в корпусе со стороны полости нагнетания молекулярную ступень и водоструйный эжектор, активное сопло которого подключено к системе водяного охлаждения, а пассивное сообщено с полостью нагнетания.

Изобретение относится к области вакуумной техники. Целью изобретения является повышение SKCJHOMiiiiiocTn. В корпусе I насоса устпнов.1сиы со ст() полости -) нагнетания 1О,1е1 ля|1|1Г;Я ступень 9 и воде струйный эжектор И). Активное соп.чо последнего подключеь:{) к системе 8 водяного охлаждения, а пассивное - к полости -5 нагнетания. Использование водоструйного эжектора позволяет исключить форвакхумную откачку насоса. В данном с;пчае ее функции выпо.1няет эжектор 10, использующий энергию вод|1 системы 8 охлаждения. 1 и..