Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1990 года по МПК F04D19/04 

Р

Ј

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Между входным и выходным участками 8 и 9 ротора (Р) 6 выполнены отверстия 11. На цилиндрическом статоре (С) 5, расположенном внутри Р 6, выполнены винтовые каналы (К) 13. Кроме выходного патрубка (П) 3 насос снабжен дополнительным выходным патрубком (ДП) 10. П 3 и ДП 10 подключаются к внешней системе вакуумирования независимо друг от друга. При работе с газами, имеющими малую молекулярную массу, внешняя откачка производится через ДП 10, а при работе с газами, имеющими большую молекулярную массу, внешняя откачка производится через П 3. При этом газ проходит через лопаточную ступень на входе насоса, через отверстия 11 попадает в молекулярную ступень, образованную К 13 С 5 и поверхностью Р 6. 2 ил.

А

ел ел о ю ю

N3

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомоле- кулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения - улучшение откач- ных характеристик насоса

При откачке газов с большой молекулярной массой внешнее вакуумирование осуществляют через патрубок 3. Таким образом, на стороне всасывания работает лопаточная ступень, а на стороне нагнетания - молеНа фиг. 1 изображена схема пред- 5 кулярная, образованная участком 9 ротора латаемого насоса; на фиг. 2 - разрез А-А 6 и каналами 13 цилиндрического стана фиг. 1.тора 5. Откачиваемый газ попадает в молеНасос содержит корпус 1 с входным 2 кулярную ступень через отверстия 11. и выходным 3 патрубками, размещенныеИсключение обратных по.токов со стороны

на внутренней поверхности корпуса 1 статор- ю фарвакуума каждого из патрубков 3 и 10 ные диски 4, расположенные по оси кор- достигается установкой между ними газодинамического уплотнения 12.

У предлагаемого насоса (по сравнению с известными) улучшить откачные характеристики при работе с любым родом откачи15

ваемого газа.

Формула изобретения Турбомолекулярный вакуумный насос,

пуса 1 цилиндрический статор 5 и охватывающий его ротор 6 с роторными дисками 7, разделенный на входной 8 и выходной 9 участки. Корпус 1 снабжен дополнительным выходным патрубком 10, ротор 6 - сквозными отверстиями 11, выполненными между входным 8 и выходным 9 участками, и газодинамическим уплотнением 12, расположенным между выходными патрубками 3 и 10, а на внешней поверхности цилиндри- 20 содержащий корпус с входным и выходным ческого статора 5 выполнены винтовые патрубками, размещенные на внутренней каналы 13.поверхности корпуса статорные диски, расположенные по оси корпуса цилиндриНасос работает следующим образом. ческий статор и охватывающий его ротор с

Патрубки 3 и 10 подсоединяют к внеш- роторными дисками, разделенный на входной

ним системам вакуумирования независимо 25 и ВыХОДной участки, отличающийся тем, что,

друг от друга.с целью улучшения откачных характеристик,

корпус снабжен дополнительным выходным

При откачке газов с малой молекуляр- патрубком, ротор - сквозными отверстиями, ной массой внешнее вакуумирование осу- выполненными между его входным и выход- ществляют через патрубок 10. Таким об- д ным участками, и газодинамическим уплот- разом, в откачке таких| газов принимают нением, расположенным между выход- участие лишь лопасточные ступени насоса, ными патрубками, а на внешней поверхности которые обеспечивают максимальную быст- цилиндрического статора выполнены винто- роту действия.вые каналы.

А-А

П

Риг

При откачке газов с большой молекулярной массой внешнее вакуумирование осуществляют через патрубок 3. Таким образом, на стороне всасывания работает лопаточная ступень, а на стороне нагнетания - молекулярная, образованная участком 9 ротора 6 и каналами 13 цилиндрического статора 5. Откачиваемый газ попадает в молеУ предлага известными) ристики при р

ваемого газа.

содержащий к патрубками, поверхности к

Формула изобретения Турбомолекулярный вакуумный насос,

ержащий корпус с входным и выходным рубками, размещенные на внутренней ерхности корпуса статорные диски, рас