Устройство для измерения толщины пленок Советский патент 1986 года по МПК G01B11/06 

И: о6ретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины непрозрачных пленок с отражающей поверхностью.

Цель изобретения - измерение непрозрачных пленок за счет образовани дополнительной отражающей базы, I предназначенной для установки контролируемого объекта.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.

Устройство для измерения толщины пленок содержит источник 1 монохроматического света, две плоскости 2 и 3, расположенные одна относительно другой так, что они образуют щель в направлении, перпендикулярном направлению распространения света, и сдвинутые друг относительно друга в направлении распространения света от источника, линзу 4, фотоприемник 5 и блок 6 регистрации дифракционной картины в плоскости 7,

Между плоскостями 2 и 3 под углом с-/2 к каждой из плоскостей, расположенных под углом су. одна относительно другой, установлено зеркало 8, предназначенное для крепления контролируемого объекта 9. Вторая плоскость 3 по ходу распространения света установлена с возможностью перемещения вдоль- направления распространения света с помощью механизма 10

Устройство работает следующим образом.

Монохроматический пучок света от

источника 1, ограниченный с одной стороны плоскостью 2, падает на зеркало 8. Пучок сйета, отраженный от зеркала 8, ограничивается с другой стороны плоскостью 3 и преобразуется линзой 4 в дифракционную картину плоскости 7. Дифракционная картина регистрируется фотоприемником 5 и

3

обрабатьгоается блоком 6 регистрации. С помощью механизма 10 плоскость 3 перемещается вдоль направления распространения света до положения 3 , при котором формируется дифракционная картина, не имеющая с одной стороны чередующихся экстремумов. При размещении измеряемого объекта 9 дифракционная картина изменяется: монотонное изменение интенсивности сме няется набором экстремумов.

С помощью механизма 10 плоскость 3 перемещается на расстояние ДЬ до восстановления первоначальной дифракционной картины, не имеющей зкстррмумов с одной стороны.

По значению uh однозначно определяют толщину d контролируемого объекта 9.

Формула изобретений

Устройство для измерения толщины пленок, содержащее источник монохроматического света, две плоскости, расположенные одна относительно другой так, что они образуют щель в направлении, перпендикулярном направлению распространения света, и сдвинутые друг относительно друга в направлении распространения света от источннгка, линзу, фотоприемник и блок регистрации дифракционной картины,

отличающееся тем, что, с целью измерения непрозрачных пленок, оно снабжено зеркалом, установленным между плоскостями под углом Ы/2 к каждой из плоскостей, расположенных под углом Ы одна относитель.но другой, причем вторая плоскость по ходу распространения света установлена с возможностью перемещения вдоль направления распространения

света.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для измерения толщины непрозрачных пленок с отражающей поверх ностью. Целью изобретения является измерение непрозрачных пленок за счет образования дополнительной отражающей базы, предназначенной для установки контролируемого объекта. Монохроматический пучок света от источника 1, ограниченный с одной стороны плоскостью 2, падает на зеркало 8. Пучок света, отраженный от зеркала 8, преобразуется линзой 4 в дифракционную картину, которая регистрируется фотоприемником 5 и блоком 6 регистрации. Перёд измерением объекта формируется дифракционная картина, не имеющая с одной стороны дифракционных экстремумов. После установки контролируемого объекта 9 дифракционная картина искажается. За счет перемещения плоскости 3 на « величину dh восстанавливается прежсл няя дифракционная картина. По значению &h однозначно определяют контролируемый параметр d.1 ил. ьо ю