Регулятор расхода с числовым управлением Советский патент 1986 года по МПК G05D7/00 

Изобретение относится к регулированию расхода, а более конкретно к конструкциям регуляторов расхода газ в вакуумных системах.

Целью изобретения является упрощение конструкции устройства.

На чертеже изображен один из вариантов конструкции клапанного регулятора расхода с числовым управлением.

Регулятор содержит входную камеру 1 и выходную камеру 2 с патрубками 3 и 4, разделенные регулирующим элементом в виде перегородки 5 с отверстиями 6 и пластин 7 с отверстиями 8. Каждое отверстие регулирующего элемента 5 снабжено седлом 9 электрически управляемого клапана 10() нормально закрытого типа с пружиной 11 и управляющими электромагнитами 12, Клапаны перемещаются в направляющей пластине 13.

Регулятор работает следующим образом,

В соответствии с кодовой командой правления, поступающей на клапаны 10, обеспечивается числовое управление устройством. Расход газа определяется проходным сечением отверстий 6 клапанов 10 и сечением отверстий 8 в пластинах 7, а также количеством пластин 7, последовательно расположенных во входной камере 1. Если все клапаны 10 устройства закры.ты, расход газа равен нулю. Младший разрящ команды управления управляет состоянием клапана 10f, имеющего наибольшее число последовательно расположенных пластин 7 с отверстиями 8, расположенных во входной камере 1„ Поэтому при управляющем коде 1000, когда клапан 10, открыт, а остальные закрыты, обеспечивается минимальный расход газа. Максимальный расход обеспечивается открытыми клапанами 10,-104 при управляющем ко,це 1111о Комбинируя состояние клапанов можно управлять во всем диапазоне величиной расхода газа от минимального до максимального. Изменяя сечение отверстнй б в перегородк 5 и (или) в пластинах 7 можно получить регуляторы расхода с числовым управлением с различными характермстиками зависимости расхода от упразляющего кода.

Число клапанов может быть и друп-ш. Оно выбирается в зависи.мости от диапазона изменения расхода требуемой плавности изу енения регулируемого потока, разрядности цифровой системы управления. При восьми клапанах величина ступеньки, на которую изменяется расход газа, равна , что практически обеспечивает его плавное регулирование.

Конструктивная реализация регулятора расхода зависит от типа привода клапана (магнитострнкционньгя; злектрострикциониыйs электромагнитный и др,). В приведенной конструкции использован электромагнитный привод,

Использование на входе регулятора, расхода с числовым управлением ограничителя входнс.го потокад а на выходе откачного ус,тройства (не показаны) обеспечивае.т, работу регулятора в необходимом диапазоне давлений газа, что позвсшкет расширить диапазон регулировсчния потоков, выбрать необходимьм режим расхода и область пpи eнeния,

Формула и 3 о б р е т е н и

Регулятор расхода с числовы:-. управлением, содержащитт корпус, разделенный на вЛ-О;1ную л :аыходную камеры перегородкой с отварстиямк по числу

разрядов команды управления 5 в каждом из которых установлен управляемый клапан, отличающийся тем, что 5 с целью упрощения регулятора, в нем установлены пластины с

отверстрдми, разделяющи1«ш входную камеру на отсеки, число которых соответствует числу управляемых клапанов, причем сечения отверстий в перегородках и пластинах соответственно одинаковы.

Изобретение относится к автоматическому регулированию потока газа в вакуумных системах. Цель изобретения состоит в упрощении конструкции и уменьшении ее габаритов. Регулятор содержит входную камеру 1 и выходную камеру 2 с патрубками 3 и 4. Между камерами установлены перегородка 5 с отверстиями 6 и пластины 7 с отверстиями 8, В каждом отверстии перегородки 5 установлен электрически управляемый клапан 10 нормально закрытого типа, причем сечения отверстий в перегородке и пластинах соответственно одинаковы. Перегородка 5 (Л с отверстиями 6 и пластины 7 с отверстиями 8 образуют регулирующий элемент. 1 ил. ю ел 00 00 to