Электромагнитный регулятор потока Советский патент 1992 года по МПК G05D7/00 

Изобретение относится к средствам для получения или поддержания требуемого давления в баллоне и к области автоматического регулирования микропотоков газа, а более конкретно к конструкции регуляторов газовых потоков в вакуумных системах, и может быть использовано в качестве регулируемого натекателя или переменного газового сопротивления при получении и поддержании требуемого разрежения в ва- куумной системе или вакуумном объеме.

Известен регулятор расхода газа с числовым управлением для регулирования потока газа в вакуумных системах, состоящий из корпуса, разделенного на входную и вы- ходную камеры перегородкой с отверстиями и управляемыми клапанами по числу разрядов команды управления и отсеками во входной камере, соединенными посредством отверстий.

Известно также устройство для дискретного регулирования расхода газа, содержащее корпус с входными и выходными отверстиями, упругую прокладку с жиклерами в виде пластин, которые размещены между фланцами и прижимами с возможностью возвратно-поступательного движения и фиксации крайних положений.

Недостатками указанных устройств являются их сложность, сравнительно узкий диапазон регулирования потока газа, сложность получения требуемого вида функции выходного потока газа и соответствия его форме управляющего сигнала.

Наиболее близким по технической сущ- ности к предлагаемому является регулятор расхода с числовым управлением, содержащий корпус с входной и выходной полостями. Выходная камера отделена от входной перегородкой с дросселями, а внутри вы- ходной камеры установлены пластины с отверстиями, которые делят ее на два объема. Регулятор работает как переменное сопротивление, смеситель или распределитель потоков газа.

Недостатком регулятора является сложность конструкции клапанов и узкий диапазон плавного регулирования микропотока газа, что обусловливает узкую область применения электромагнитного регулятора потока.

Цель изобретения - расширение области применения электромагнитного регулятора потока.

Поставленная цель достигается тем, что в электромагнитном регуляторе корпус со- держит входную и выходную полости, разделенные перегородкой с системой сквозных отверстий, симметрично по обе стороны перегородки установлены электромагниты, которые связаны с заслонками, выполненными в виде сплошных упругих мембран. Отверстия перегородки образуют матрицу и заполнены ферромагнитными телами.

На фиг.1 и 2 показана конструкция регулятора потока.

Электромагнитный регулятор потока содержит симметричные относительно плоскости АА корпус 1, входной штуцер 2, входную полость 3, перегородку 4 со сквозными поперечными отверстиями 5, ферромагнитные тела 6 в виде шариков, упругие, герметично прилегающие к корпусу 1 и перегородке 4 мембраны 7, систему электромагнитов 8, расположенных соосно с отверстиями 5 над мембранами 7, источники 9 питания и управления электромагнитами, выходную полость 10 и выходной штуцер 11.

Регулятор работает следующим образом.

Газ поступает через входной штуцер 2 во входную полость 3. При отсутствии управляющего сигнала на электромагнитах 8 упругие мембраны 7 герметично прилегают к корпусу 1 и перегородке 4, поток газа не поступает в выходную полость 10 и на выходной штуцер 11. При подаче управляющих сигналов на электромагниты 8 от источников 9 питания и управления ферромагнитные тела 6 приходят в движение, оттягивая упругую мембрану 7 от перегородки 4. В результате этого упругие мембраны 7 прогибаются, образуя тем самым канал для потока газа, протекающего из входной 3 и выходную 10 полости.

Длина и поперечное сечение образующихся каналов зависят от величины сигнала и координат включенных в данный момент электромагнитов. Управляя матрицей электромагнитов, можно в широких пределах регулировать величину газового потока, поступающего из входной полости в выходную.

К входной полости может подводится несколько газов, при этом она может быть разделена перегородками, что позволит использовать данный регулятор как управляемый смеситель.

Управление током в электромагнитах может быть аналоговым, импульсным, ши- ротно-импульсным и другим. Оно может проводится непосредственно от ЭВМ или микропроцессора. Корпус 1 и перегородка 4 могут быть выполнены из металла или полимерных материалов. Упругие мембраны могут быть выполнены из различных материалов, в том числе из резины, металлов, полимеров. Они могут обладать ферромагнитными свойствами. Ферромагнитные тела могут быть заменены ферромагнитным порошком.

Формула изобретения Электромагнитный регулятор потока, содержащий корпус с входной и выходной полостями, разделенными перегородкой с отверстиями, заслонки которых связаны с электромагнитами,отличающийся тем,

0

что, с целью расширения области применения электромагнитного регулятора, отверстия образуют матрицу, причем электромагниты установлены симметрично по обе стороны перегородки, а заслонки выполнены в виде сплошных упругих мембран, расположенных между электромагнитами и перегородкой, в отверстиях которой размещены ферромагнитные тела.

Изобретение касается автоматического регулирования и может использоваться для поддержания требуемого разрежения в вакуумных системах различного назначения. Цель изобретения - расширение области применения электромагнитного регулятора потока. Регулятор содержит корпус 1 с входной 3 и выходной 10 полостями, разделенными перегородкой 4 с отверстиями 5, образующими матрицу, в которых размещены ферромагнитные тела (шарики) 6. причем заслонки отверстий выполнены в виде сплошных упругих мембран 7, расположенных между перегородкой 4 и электромагнитами 8. 2 ил.

4 56