Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1986 года по МПК F04D19/04 

ла, снабжена кольцевым постоянным магии том 16, обхватывающим ее, и имеет с внутренней стороны кольцевую радиальную канавку 9, в которой размещен кольцевой элемент 15 с образованием зазора, заполненного магнитной жидкостью. Со стороны верхнего торца ОВ 7 выполнена кольцевая осевая расточка 10 и сообщенный с ней паз 11, в которых установлена гильза 13 с буртиком 14 с образованием зазора, заполненного легкоплавким металлом. На валу 4 ротора 3 над ОВ 7 установлено отражатель1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкция. турбомоле- кулярных вакуумных насосов.

Целью изобретения является улучщение откачных характеристик и повыщение чистоты создаваемого вакуума.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит вертикальный корпус 1 со ста- торными дисками 2, установленный по оси корпуса 1 дисковый полый ротор 3, закрепленный на валу 4, и связанный с ним приводной электродвигатель 5, расположенный в полости ротора 3 и и.меющий охлаждаемый корпус 6, снабженный верхней 7 и нижней 8 опорными втулками. Верхняя опорная втул- ка 7 корпуса 6 электродвигателя 5 снабжена с внутренней стороны кольцевой радиальной канавкой 9, имеющей в поперечном сечении форму треугольника, обращенного основанием к валу 4, а со стороны верхнего торца - кольцевой осевой расточкой 10 и сообщенным с ней кольцевым радиальным пазом 11 с треугольным поперечны.м сечением, и вал 4 ротора 3 снабжен отражательным кольцом 12, размещенным над верхней опорной втулкой 7, гильзой 13 с кольцевым треугольным буртиком 14, расположенной в расточке 10 и пазу 11 с образованием зазора, заполненного легкоплавким металлом, и кольцевым элементом 15 с наружными выступами, размещенными в радиальной канавке 9 с обра- зованием зазора, заполненного магнитной жидкостью, причем верхняя опорная втулка 7 выполнена из магнитопроводного материала и снабжена кольцевым постоянным магнитом 16, обхватывающим ее в зоне радиальной канавки 9. Кроме того, полость кор- пуса 6 электродвигателя 5 заполнена инертным газом под давлением, равным половине атмосферного, а высота h уровня легкоплавкого металла меньще глубины HI расное кольцо 12. Полость корпуса 6 ЭД 5 заполнена инертным газом под давлением, равным половине атмосферного. Легкоплавкий металл в зазоре, образованном гильзой 13 в расточке 10, а также магнитная жидкость в зазоре, образованном элементом 15 в канавке 9, обеспечивают герметичность полости насоса от полости корпуса 6 ЭД 5 и исключают проникновение в нолость насоса паров органических жидкостей, используемых для смазки опор вала 4. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

точки 10, но превыщает высоту Нз треугольного буртика 14.

Насос работает следующим образом.

Газ, поступающий на вход насоса, взаимодействует со статорными дисками 2 и ротором 3 и переносится к выходу из насоса. Легкоплавкий металл в зазоре, образованном гильзой 13 в расточке 10, а также магнитная жидкость в зазоре, образованном кольцевым элементом 15 в радиальной канавке 9, обеспечивают герметичность полости насоса от полости корпуса 6 электродвигателя 5. В результате гарантированной герметичности при любых возможных давлениях в полости насоса (от рабочего до атмосферного) вследствие заполнения полости корпуса 6 электродвигателя 5 инертным газом при давлении, равном половине атмосферного, газ из этой полости не проникает в полость насоса, а следовательно, исключается проникновение в нее щаров органических жидкостей, используемых для смазки опор вала 4 ротора 3.

Таким образом, обеспечивается улучщение откачных характеристик, т.е. отсутствует источник газовой нагрузки со стороны электродвигателя, а также новыщается чистота создаваемого вакуу.ма.

Формула изобретения

1. Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий вертикальный корпус со статорными дисками, установленный по оси корпуса дисковый полый ротор, закрепленный на валу, и связанный с ним приводной электродвигатель, расположенный в полости ротора и имеющий охлаждающий корпус, снабженный верхней и нижней опорными втулками, отличающийся тем, что, с целью улучщения откачных характеристик и повыщения чистоты создаваемого вакуума.

верхняя опорная втулка корпуса электродвигателя снабжена с внутренней стороны кольцевой радиальной канавкой, имеющей в поперечном сечении форму треугольника, обращенного основанием к валу, а со стороны верхнего торца - кольцевой осевой расточкой и сообщенным с ней кольцевым радиальным пазом с треугольным поперечным сечением, и вал ротора снабжен отражательным кольцом, размещенным над верхней опорной втулкой, гильзой с коль- цевым треугольным буртиком, расположенной в расточке и пазу с образованием зазора, заполненного легкоплавким металлом, и кольцевым элементом с наружными выступами, размещенным в радиальной канавке с образованием зазора, заполненного магнитной жидкостью, причем верхняя опорная втулка выполнена из магнитопроводно- го материала и снабжена кольцевым постоянным магнитом, обхватывающим ее в зоне радиальной канавки.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что полость корпуса электродвигателя заполнена инертным газом под давлением, равным половине атмосферного.

изобретение относится к вакуумной технике. Цель изобретения - улучшение от- качных характеристик и повышение чистоты создаваемого вакуума. Электродвигатель (ЭД) 5, расположенный в полости ротора 3, имеет охлаждаемый корпус 6, снабженный опорными втулками (ОВ) 7 и 8. Верхняя ОВ 7 выполнена из магнитопроводного материа(Л го 00 и СХ) 00