Турбомолекулярный вакуумный насос и способ его сборки Советский патент 1987 года по МПК F04D19/04 

1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов и способам их сборки.

Целью изобретения является повышение надежности и технологичности.

На.фиг.1 представлен насос, продольный разрез; на фиг.2 - стакан с кольцевым замком и стержнем; на фиг.З - кольцевой замок.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с нижней крышкой 2 и закрепленным на ней по оси корпуса. 1 стаканом 3, расположенный в корпусе 1 статор 4, установленный по оси корпуса 1 на осевом и радиальных подшипниках 5, 6 и 7 и закрепленный на валу 9 ротора 8 приводной электродвигатель 10, причем радиальные подшипники- 6 и 7 расположены в полом подшипниковом корпусе 11, Установленном с зазором внутри стакана 3 и контактирующем с ним при помощи упругих элементов 12 и 1-3. Насос снабжен разъемным кольцевым замком 14, закрепленным на нижнем торце стакана 3, упругий элемент 12 размещён на поверхности замка 14, обращенной к подшипниковому корпусу 11, а в стенке стакана 3 выполнены продольные каналы 15, в которых с возможностью продольного перемещения и поворота размещены стержни 16 с клиновидной верхней частью. Кроме того, насос дополнительно содержит расположенные, в подшипниковом к орпу- се 11 пружину 17, установленную между радиальными подшипниками 6 и 7, и фитили 18, размещенные в полости и сообщенные с радиальными подшипниками 6 и 7, полость подшипникового корпуса 11 заполнена гигроскопической ватой 19, пропитанной смазывающей жикдостью, а осевой подшипник 5 выполнен магнитным,

Способ сборки турбомолекулярного вакуумного насоса реализуется следующим образом.

Первоначально осуществляется монтаж роторного узла путем закрепления на валу 9 ротора 8 приводного электродвигателя 10, осевого подшипника 5 и подшипникового корпуса 11 с радиальными подшипниками 6 и 7, Затем размещают в корпусе 1 насоса с нижней крьшкой 2 статор 4, стакан 3 и роторный узел, устанавливают подшипниковый корпус 11 в стакане 3 с

59491-2

зазором, закрепляют на стакане 3 кольцевой замок 14 с упругим элементом 12, а в продольных каналах стакана 3 устанавливают стержни 16, жестко соединяют подпшпниковый корпус 11 со стаканом 3 путем размещения клиновидной верхней части стержней 16 в зазоре и проводят динамическую балансировку роторного узла, после чего извлекают верхние части стержней 16 из зазора, обеспечивая упругую связь роторного узла со стаканом 3,

Проведение динамической балансировки роторного узла непосредственно в корпусе насоса и исключение необходимости повторной сборки насоса после балансировки повышает технологичность сборки насоса, а также надежность его работы.

10

15

20

Формула изобретения

1, Турбомолекулярный вакуумный

насос, содержащий корпус с нижней рышкой и з акрепленным на ней по оси орпуса стаканом, расположенный в орпусе статор, установленный по оси корпуса на осевом и радиальных

подшипниках ротор и закрепленный на валу ротора приводной электродвигатель, причём радиальные подшипники расположены в полом подшипниковом корпусе, установленном с зазором внутри стакана и контактирующем с ним при помопщ упругих элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и техно- . логичности, насос снабжен разъемным

кольцевым замком, закрепленным на нижнем торце стакана, один из упругих элемент ов размещен на поверхности замка, обращенной к подшипниковому корпусу, а в стенке стакана выполнены продольные каналы, в которых с возможностью продольного перемещения и поворота размещены стержни с клиновидной верхней частью.

50

2,Насос ПОП.1, отличающийся тем, что он дополнительно содержит расположенные в подшипни-. ковом корпусе пружину, установленную между радиальными подшипниками, и

55 фитили, размещенные в полости и сообщенные с радиальными подншпниками,

3,Насос по п.2, отличаю-.

щ и и с я тем, кового корпуса

что полость подшипни- заполнена гигроскопической ватой, ;;р.31а1танной смазывающей жидкостью.

4.Насос по п,1, отличающийся тем, что осевой подпшпиик выполнен магнитным.

5.Способ сборки турбомолекуляр- ного вакуумного насоса, включающий монтаж роторного узла путем закрепления на валу ротора приводного электродвигателя, осевого подшипника и подшипникового корпуса с радиальными подшипниками, динамическую балансировку роторного узла, размещение Б корпусе насоса с нижней крышкой статора, стакана и роторного узла и устанонку подшипникопого корпуса в стакане с зазором, о т л и ч а ю щ и и - с я тем, что, с целью повышения технологичности, перед размещением стакана в корпусе, насоса закрепляют на стакане кольцевой замок с упругим элементом и размещают в продольных каналах стака)1а стержни, до динамической балансировки роторного узла жестко соединяют подшипниковый корпус со стаканом путем размещения клиновидной верхней части стержней в зазоре, а после динамической балансйровки производят извлечение их из зазора.

фиеА

Редактор И.Рыбченко

фие

Составитель В.Кряковкин Техред М.ДВДЫК Корректор М.Максимишинец

Заказ 6131/35Тираж 571Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва Ж-35 , Раушская наб., д.4/5

,Ив.И™ в«--- Ч

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4

Изобретение позволяет повысить надежность насоса и технологичность его сборки. Р-азъемный кольцевой замок (КЗ) расположен, на нижнем торце стакана (С), закрепленного на нижней крышке по оси корпуса. На поверхности КЗ, обращенной к подшипниковому корпусу (ПК). размещен упругий элемент. В продольных каналах, выполненных в стенках С, с возможностью продольного перемещения и поворота размещены стержни с клиновидной верхней частью. Монтаж роторного узла осуществляют путем закрепления на валу ротора приводного электродвигателя, осевого подшипника и ПК с радиальными подпшп- никами. Затем размещают в корпусе насоса с нижней крьпякой статор и роторный узел, устанавливают ПК в стакане с зазором, .закрепляют на стакане КЗ с упругим элементом, а в продольных каналах С устанавливают стержни. Жестко соединяют ПК со стаканом путем размещения клиновидной верхней части стержней в зазоре и проводят динамическую балансировку роторного узла, после чего изплекают верхние части стержней из зазора, обеспечивая упругую связь роторного узла со С. 2 с. и 3 3.п. ф-лы, 3 ил. . с (Л со 01 со 4; со