Быстродействующий электродинамический мембранный клапан. Советский патент 1960 года по МПК F16K7/16 F16K31/02 

Известен быстродействующий пластинчатый клапан для впуска малой порции газа в камеру, в которой поддерживается глубокий вакуум. Действие клапана основано на электродинамическом взаимодействии токов в круглой металлической пластинке клапана и расположенной под ней спирали, через которую пропускается ток разряда конденсатора.

Описываемый мембранный клапан в отличие от известного имеет вместо клапанной пластинки прзжинящую мембрану, подпертую в центре регулировочным винтом. Поэтому 1стапан закрывается не только под действием внешнего давления газа, но и под действием собственной упругости.

Благодаря этому удается сократить время открытия клапана с 200- 300 до 10-20 мксек, причем продолжительность этого времени может регулироваться.

На чертеже изображен клапан, в разрезе.

Корпус клапана / и крышка 2 выполнены из немагнитного металла.

Стальная мембрана 3 прижата к выполненному из эластичного изоляционного материала седлу 4 силой давлеш-ш газа в камере А и обеспечивает поддержание вакуума в камере Б.

В центре мембрана 3 подпирается регулировочным винтом 5, который изолирован от мембраны колодкой 6.

Под мембраной расположена изолированная спираль 7, ток к которой подводится через шины 8. При пропускании по сннра«1и имнульса тока (тока разряда конденсатора большой емкости) мембрана, вследствие электродинамического взаимодействия индуцируемых в ней токов с током в спнрали, отбрасывается от седла и упирается в прокладку 9, закрепленную на перегородке 10 корпуса, после чего опа под действиел собствепной упругости и сил давления газа вновь закрывает отверстие, прилегая к седлу 4. Время открытия клапана регулируется изменениед нажатия регулировочного випта 5.

Предмет изобретения

Быстродействующий электродинамический мембранный клапан для впуска малой порции газа в камеру высокого вакуума, состоящий из пластинки и расположенной под ней. спирали, по которой в момент открытия «лапана нропускается электр-ический ток разряда конденсатора, отличающийся тем, что, с щелью сокращения времени открытия клапана до 10-,20 мксек и регулировки этого времени, пластинка выполнена IB виде пружинящей мембраны, прижимаемой к седлу центральным нажимным регулировочным винтом.