Известны электродинамические клапаны для впуска порции газа в вакуумную камеру, срабатывающие при разряде конденсаторной батареи на импульсную катушку запорного устройства.
Однако импульсные катушки, особенно в малогабаритных клапанах с высокими рабочими параметрами, представляют наиболее сложный и ненадежный элемент конструкции.
Предлагаемый клапан отличается от известных тем, что его привод выполнен в виде разрядника, один из полюсов которого жестко связан с корпусом, а другой - с подвижным запорным органом.
Это повышает надежность устройства и его быстродействие за счет использования электрического разряда.
Па чертеже показан предлагаемый клапан, продольный разрез.
В корпусе / клапана помеш,ен подводящий коаксиальный токопровод, состоящий из внутреннего 2 и наружного 3 проводников, которые изолированы пленочным диэлектриком 4. Па конце внутреннего проводника установлен один из электродов 5 разрядного промежутка. Упругая пластинка 6 укрепляется на торце проводника с использованием малогабаритного уплотнения 7, например индиевой проволоки.
Падежное запорного органа, выполненного в виде винтовой пары 8, 9 и гайки 10, к седлу 11 клапана, укрепленному на корпусе 1, осуществляется за счет давления газа. Газ подается между наружным проводником и корпусом в полость, образованную пластинкой 6 и седлом клапана.
Уплотнение 12 на седле выполнено в виде кольца из фторопласта. Головка винта 9 служит вторым электродом разрядного промежутка. Пзолятор 13 изготавливается из самоочищающегося во время разряда материала, например фторопласта, интенсивное испарение которого эффективно препятствует осаждению
металлического пара на его поверхность при близком иротекании разрядного тока.
Величина зазора разрядного промежутка выбирается такой, чтобы происходил надежный его пробой при подключении к клапану
конденсаторной батареи 14 при помош.и коммутирующего элемента 15. При протекании тока по коаксиалу через упругую пластинку давление азимутального магнитного поля и плазмы разряда вызывают деформацию пластипки 6, что, в свою очередь, приводит к отходу гайки 10 от уплотнения седла.
Предмет изобретения
Электродинамический клапан для впуска порции газа в вакуумную камеру с запорным органом, прижимаемым к укрепленному на корпусе седлу давлением среды, отличаюи(11йся тем, что, с целью повышения быстродействия за счет использования электрического разряда, привод клапана вынолнен в виде разрядника, один из полюсов которого жестко связан с корнусом. а другой - с подвижным запорныл: органом.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИЙ ЛЕНТОЧНЫЙ ЭЛЕКТРОДИНАМИЧЕСКИЙ КЛАПАН | 1965 |
|
SU173555A1 |
Электродинамический клапан | 1985 |
|
SU1763781A1 |
Электродинамический клапан | 1991 |
|
SU1810702A1 |
ИНДУКЦИОННЫЙ ИНЖЕКТОР ПЛАЗМЫ | 2005 |
|
RU2294064C2 |
Затвор для импульсного напуска газа | 1988 |
|
SU1507114A1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИМПУЛЬСНОГО СЖАТИЯ ГАЗОВ | 1999 |
|
RU2142844C1 |
Устройство для генерирования однополярных электрических импульсов | 1976 |
|
SU604066A1 |
ГАЗОВЫЙ КЛАПАН | 1971 |
|
SU295937A1 |
ЭЛЕКТРОИСКРОВОЙ ГЕНЕРАТОР ЭНЕРГИИ | 2012 |
|
RU2510130C2 |
РАЗРЯДНИК ДЛЯ ЗАЩИТЫ ОТ ПЕРЕНАПРЯЖЕНИЙ | 2000 |
|
RU2208886C2 |
Z7ZZZZ7/Z6.
5, . J -V. -; piu.-r-J-j
и as vl.... т I Nf« ;.
-„.
;2%rv i
12
Даты
1971-01-01—Публикация