Способ функционального контроля интегральных схем Советский патент 1987 года по МПК G01R31/3177 

112

Изобретение относится к микрозон- довой технике и может быть использовано для контроля работоспособности интегральных схем (ИС).

Цель изобретения - повышение до- стоверности контроля за счет увеличения контрастности при регистрации карты логических состояний ИС.

Поставленная цель достигается тем, что с помощью специального уст- ройства из сигнала, несущего информацию о топологии и потенциалах образца, исключается сигнал, соответствующий топографическому контрасту схемы, в результате чего на видеоконтрольное устройство микроскопа поступает видеосигнал, несущий информацию только о потенциалах образца, что повьшает контрастность регистрируемой карты логических сое- тояний ИС.

На чертеже приведена блок-схема устройства, реализз ощего предлагаемый способ.

Устройство содержит электронно- оптическую колонну 1 РЭМ с камерой образцов, буферный усилитель 2, блок 3 выборки-хранения (БВХ), блок 4 вы- читания, фильтр 5 низких частот СФНЧ тактовый генератор 6, бйок 7 управления аналоговыми ключами, видеоконтрольное устройство (ВКУ) 8.

Блок 1 электрически связан с бло- ком 7 и усилителем 2, последний в свою очередь связан с блоками 4 и 3. Блок 3 управляется блоком 7, который работает от тактового генератора 6 и связан с блоком 4. Сигнал с блока 4 вычитания через ФНЧ 5 поступает на ВКУ 8.

Тактовый генератор 6 вырабатьша- ет импульсы частотой на несколько порядков больше, чем частота развертки электронного луча,т.е„ 80-150 кГц. Они поступают на блок 7 управления, который формирует последовательность управляющих импульсов, поступающих в противофазе на БВХ 3 и схему управления режимом исследуемой ИС. В момент, когда включен аналоговый ключ

ВНИИПИ Заказ 7640/48Тираж 730 Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

5

4

5

О

г 0

5

п

2

блока 3, на его выходе .запоминается величина видеосигнала, соответствующая отключенной ИС и на выходе блока 4 вычитания формируется нулевое напряжение вследствие того, что входные величины, поступающие на него совпадают. На следующем такте аналоговый ключ блока 3 размыкается и управляющее напряжение поступает на исследуемую ИС. Величина видеосигнала, поступающая на вход блока 4 вычитания, изменяется согласно карте логических состояний ИС, а величина сигнала на выходе блока 3 остается равной величине видеосигнала, соответствующего отключенной ИС. Поэтому на выходе блока 4 формируется напряжение, соответствующее разности видеосигналов отключенной и включенной ИС, На следующем такте картина повторяется. Таким образом, вычитание видеосигнала происходит практи-; чески в одной точке и формируемая карта логических состояний содержит в себе информацию лишь о потенциалах ИС.

Формула изобретения

Способ функционального контроля интегр.альных схем, заключающийся в том, что на испытуемую интегральную схему подают напряжение питания и входное тестовое воздействие, сканируют поверхность интегральной схемы острофокусированным пучком электронов, регистрируют интенсивность вторичной электронной эмиссии и преобразовывают ее в электрический сигнал, формируют изображение карты логических состояний и контролируют ее -параметры, отличающий- с я тем, что, с целью повьшения .достоверности контроля, запоминают величину полученного электрического сигнала в каждой точке, отключают питание интегральной схемы, регистрируют вторичную электронную эмис- сию, преобразуют ее в электрический СИГ1ИЛ, который вычитают из запомненного, по полученной разности формируют изображение карты логических состояний.

Изобретение относится к микро- , зондовой технике. Цель - повьпление достоверности контроля. Она достигается тем, что в способе функционального контроля интегральных схем (ИС) с помощью специального устройства (У) из сигнала, несущего информацию о топологии и потенциалах образца, исключается сигнал, соответ- ствующий топографическому контрасту схемы, в результате чего на видеоконтрольное У микроскопа поступает видеосигнал, несущий информацию только о потенциалах образца, что повышает контрастность регистрируемой карты логических состояний ИС. Способ реализуется в У, содержащем электронно-оптическую колонну РЭМ с камерой образцов 1, буферный уси-. литель 2, блок (Б) 3 выборки-хранения, Б 4 вычитания, фильтр 5 низких частот, тактовый генератор 6, Б 7 § управления аналоговыми ключами и видеоконтрольное У 8. Изобретение может быть использовано для контроля работоспособности ИС. 1 ил. W С го 00 ел Шь