Устройство для измерения потенциала поверхности электрета Советский патент 1987 года по МПК G01R29/12 

1

Изобретение относится к технике электроизмерений и может быть использовано для измерения потенциалов поверхностей тонких диэлектрических пленок и фотополупроводниковых слоев о

Цель изобретения - повьшение точности путем параллельного соединения нуль-индикатора с входными электродами.

На чертеже представлена электрическая схема устройства.

Устройство для измерения потенциала поверхности электрета содер1290208 2

метром 5, разность потенциалов между электродами 1 и 2 компенсируется до тех пор, пока суммарная разность потенциалов между указанными электро- 5 дами не станет равной нулю, т.е. поле заряда электрета, создающее разность потенциалов на электродах 1 и 2, равно и противоположно по знаку полю, создающему разность потенциалов на электродах 1 и 2 за счет воздействия источника 6, В этом случае напряжение источника.6 равно потенциалу поверхности электрета, а осциллограф нуль-индикатора 3 пока10

жит первый 1 и второй 2 входные элек- - зывает нулевое значение разности потроды, первый из которых соединен с общей шиной, электрометрический нуль-индикатор 3, вход которого подключен к второму входному электроду

2и через резистор 4 - к вольтметру 5 и первому выводу регулируемого источника постоянного напряжения 6, второй вывод которого соединен с общей шиной. Электрометрический нуль- индикатор 3 может состоять из динамического конденсаторного преобразователя постоянной разности потенциалов в переменное напряжение, к выходу которого подключен осциллограф.

Электроды 1, 2, резистор 4 и источник 6 помещены в экран 7.

Устройство для измерения потенциала поверхности электрета работает следующим образом.

Между электродами 1, 2 зажимается образец электрета. Разность потенциалов между этими электродами, равная потенциалу поверхности электрета,преобразуется динамическим конденсаторным преобразователем нуль-индикатора

3в переменное напряжение, которое фиксируется осциллографом нуль-индикатора 3. При помощи регулируемого источника постоянного напряжения 6, напряжение которого измеряется вольтСоставитель А.Пучковский Редактор Н.Горват Техред А.Кравчук Корректор Н.Король

Заказ 7895/41 Тираж 751Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

90208 2

метром 5, разность потенциалов между электродами 1 и 2 компенсируется до тех пор, пока суммарная разность потенциалов между указанными электро- 5 дами не станет равной нулю, т.е. поле заряда электрета, создающее разность потенциалов на электродах 1 и 2, равно и противоположно по знаку полю, создающему разность потенциалов на электродах 1 и 2 за счет воздействия источника 6, В этом случае напряжение источника.6 равно потенциалу поверхности электрета, а осциллограф нуль-индикатора 3 пока10

- - зывает нулевое значение разности по

тенциалов между электродами 1 и 2.

Предлагаемое устройство обеспечивает повышение точности измерений в три раза, так как функции закрепления образца и преобразования разности потенциалов в переменное напряжение разделены между электродами 1 .и 2 и конденсаторным динамическим пре- образователем нуль-индикатора. Экран 7 обеспечивает повышение помехоустойчивости.

Формула изобретения

Устройство для измерения потенциала поверхности электрета, содержащее электрометрический нуль-индикатор, входной электрод, соединенный с общей шиной, вольтметр и регулируемый источник постоянного напряжения, подключенный параллельно вольтметру, один из выводов которого соединен с общей шиной, отличающееся тем, что, с целью повышения точности, в него дополнительно введены второй входной электрод и резистор, при этом вход электрометрического нуль-индикатора подключен к второму входному электроду и через резистор - к выводу регулируемого источника постоянного напряжения.

Изобретение может быть использовано для измерения, потенциалов поверхностей тонких диэлектрических пленок и фотополупроводниковых слоев. Цель изобретения - повьшение точности измерения достигается путем параллельного соединения нуль-индикатора со входными электродами. Для этого в устройство дополнительно введены второй входной электрод и резистор. Устройство содержит входные электроды 1 и 2, электрометрический нуль-индикатор 3, резистор 4, вольтметр 5, регулируемый источник 6 постоянного напряжения. Нуль- индикатор 3 состоит из динамического конденсаторного преобразователя постоянной разности потенциалов в переменное напряжение. Электроды 1 и 2, резистор 4 и источник 6 помещены в экран 7, обеспечивающий повьшение помехоустойчивости. 1 ил. (Л isa 00 L I -J/ LA. L Г