Способ изготовления вакуумного фотоэлектронного прибора с микроканальной пластиной Советский патент 1991 года по МПК H01J9/12 

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к технологии изготовления вакуумных фотоэлектронных приборов, содержащих фо- токатод и микроканальную усилитель- „ Мую пластину (МКП), и может использоваться в микроканальных фотоэлект- Р()нных УМНОЖИТЕЛЯХ, фотоэлектронных детекторах и других приборах .

Целью изобретения является расши- f( рекйе функцйоналы«оз1 возможностей за счет расширення класса приборов с электронньм обезгажнваНием МКП, Tak как становится возможным проводить

цательное относительно эпектрода 7 .напряжение. Величина этаг о напряжения зависит от чистоты поверхности электрода 6, расстояния между электродами 6 и 7 с внутренней стороны вакуумной оболочки, материала диэлектрического кольца 8 и способа его соединения . с электродами 6 и 7. Так, например, в случае (фиг. 1) , когда зазор между электродами 6 и 7 со стороны внутренней части вакуумной оболочки составляет 3 мм, сами электроды изготовлены из ковара,диэлектрическое кольцо 8 - из керамики ВК-100- -2,электроды 6, 7 и кольцо 8 соединены элек-гронмое обезгаживакие s приборах fS Пайкой, устойчивая автоэлектронная Э1шс- с входным-OKHOMj непрозрачным для . наблюдается гфи напряжении между |ульрафиолетового излучения (например) электродами 6 и 7 - 5 кВ, Эмиссия из волоконно-оптической пластины возникает на неоднородностях электро- {B0n)j а приборах с входным окном, да б, находящегося под отрицательным по меньшим рабочего поля МКП), Кроме . 20 storoj повышается квантовая эффектив- ность прибора из-эа отсутствия поглощений в палладиевом фотокатоде. ; На фиг, 1 и 2 схематично представлены варианты устройств, .позволяю входной плоскостью МКП выбрано из ус- щих осуществить способ согласно йзоб- ловия равномерного облучения МКП прто ретенмю. . .

На фмг, 1 представлен вакуумный фото.электройный прибор (времяаналнзи- РУЮ5ДИЙ электроннб-оптичёс-кий лреобра зоватбль)( который содержит фотокатод , фокусирующую систему 2 пластины 3 развертки изображения, МКП 4, люминесцентный экран 5, автоэмйссйок- ную с «;тему, образованную аксиально- симметричнымн электродами 6 и 7

тенциалом, как правило, в месте его соединения с кольцом 8. В силу аксиальной симметрии электрода 6 и кольца 8 точки автоэмиссии располагаются по окружности Расстояние между электродом б и

ком электронов. Оно должно быть не меньше .рабочего диаметра МКП и определено экспериментально,

Эффективное обезгаживание МКП дос тигается электронной бомбардировкой в течение 30-40 ч при выходном токе пластины составляющем 20% от тока ее проводимости. Автоэлектронный не-, 35 точник вполне обеспечивает такой ток Регулировка его величины может осуществляться путем изменения напряже кия на йвтоэмиссиониом источнике, т.е. между электродами .6 и 7. После Проведения электронного обезгажива- ния в .приборе может быть сформирован рабочий фотокатод .:.

(электрод 6 является звтозмиссион кьтм), разделенными диэлектрическим кольцом 8, электрический вывод 9 для подачи напряжения на ШШ Позицией 10 обоз- / начен поток электронов,

На фиг. 2 изображен усилитель ЯРКОСТИ изображения в котором автоисточник может быть не соединен конэмиссионная система укреплена на

анодном конусе It. В этом приборе фо-45структивио с входом МКП. Тогда для

токатод 1 нанесен на ВОП 12, котораясоздания электронного потока в нане пропускает ультрафиолетовое излу-ггравлении ЬШ1 необходимо соеди1-шть

чение поэтому использование палла ее вход с положительным электродом

диевого фотокатода невозможно. автоэмисснонного источника при помоЭлектронное обезгаживание МКП про-50Щи внешней цепи или подать на ее вход

водится непосредственно перед формированием фотокатода. Для этого на.МКП при помощи электрода 7 и электрического вывода 9 подается рабочее напряположительное относительно аатоэми сионного источника напряжение,

На фиг. 1 видно, что электроды автоэмиссионного источника и кол

жение (обычно 1000 В), Меядз,у элект 55 чо 8 являются элементами оболочки

прибора« При этом электрод 7 служи для подачи напряженг я на взсод ПШ а электрод 6 является переходной м жетой для соединения частей прибор

родами 6 и 7 прикладывается напряже™ кие, необходимое для получения автоэмиссионного потока 10 электронов, При этом на электрод и подается отрицательное относительно эпектрода 7 .напряжение. Величина этаг о напряжения зависит от чистоты поверхности электрода 6, расстояния между электродами 6 и 7 с внутренней стороны вакуумной оболочки, материала диэлектрического кольца 8 и способа его соединения . с электродами 6 и 7. Так, например, в случае (фиг. 1) , когда зазор между электродами 6 и 7 со стороны внутренней части вакуумной оболочки составляет 3 мм, сами электроды изготовлены из ковара,диэлектрическое кольцо 8 - из керамики ВК-100- -2,электроды 6, 7 и кольцо 8 соединены Пайкой, устойчивая автоэлектронная Э1шс . наблюдается гфи напряжении между электродами 6 и 7 - 5 кВ, Эмиссия возникает на неоднородностях электро- да б, находящегося под отрицательным повходной плоскостью МКП выбрано из ус- ловия равномерного облучения МКП прто

тенциалом, как правило, в месте его соединения с кольцом 8. В силу аксиальной симметрии электрода 6 и кольца 8 точки автоэмиссии располагаются по окружности Расстояние между электродом б и

цательное относительно эпектрода 7 .напряжение. Величина этаг о напряжения зависит от чистоты поверхности электрода 6, расстояния между электродами 6 и 7 с внутренней стороны вакуумной оболочки, материала диэлектрического кольца 8 и способа его соединения . с электродами 6 и 7. Так, например, в случае (фиг. 1) , когда зазор между электродами 6 и 7 со стороны внутренней части вакуумной оболочки составляет 3 мм, сами электроды изготовлены из ковара,диэлектрическое кольцо 8 - из керамики ВК-100- -2,электроды 6, 7 и кольцо 8 соединены Пайкой, устойчивая автоэлектронная Э1шс- . наблюдается гфи напряжении между электродами 6 и 7 - 5 кВ, Эмиссия возникает на неоднородностях электро- да б, находящегося под отрицательным по входной плоскостью МКП выбрано из ус- ловия равномерного облучения МКП прто

ком электронов. Оно должно быть не меньше .рабочего диаметра МКП и определено экспериментально,

Эффективное обезгаживание МКП дос тигается электронной бомбардировкой в течение 30-40 ч при выходном токе пластины составляющем 20% от тока ее проводимости. Автоэлектронный не-, 5 точник вполне обеспечивает такой ток Регулировка его величины может осуществляться путем изменения напряже кия на йвтоэмиссиониом источнике, т.е. между электродами .6 и 7. После Проведения электронного обезгажива- ния в .приборе может быть сформирован рабочий фотокатод .:.

В общем случае автоэмиссиоккьй

источник может быть не соединен конположительное относительно аатоэмис- сионного источника напряжение,

На фиг. 1 видно, что электроды 6, автоэмиссионного источника и кольчо 8 являются элементами оболочки

прибора« При этом электрод 7 служит для подачи напряженг я на взсод ПШ а электрод 6 является переходной манжетой для соединения частей прибора

различных диаметров. Из приведенного рассмотрения ясно, что для создания электронного потока в данном приборе вообще не требуется никаких дополнительных конструктивных элементов.

Формул а и зоб

р е т е н и я

1. Способ изготовления вакуумного фото&лектронйого прибора с мнкрока- вальвой пластиной, включающий вьтолне ние в процессе откачки последовательных операций электронного обезгажи- вания микроканапьной пластины путем облучения ее электронным потоком от источника электроновi расположенного в оболочке фотоэлектронного прибора, |и формирования фотокатода, о т л и

5

ч а го щ и и с я тем, что с целью расптренйя функциональных йозмож- ностей Sa счет расширения класса приборов с электронньтм обезгаживаниен микроканальной пластины, в качестве источника электронов используют авто- эмиссионную систему, образованную двумя аксиально-симметричными элект- родами, разделенными диэлектрическим кольцом, при этом авто миссионный электрод располагают со сторойы вход-- ной плоскости микроканал 1ьн6й пласти ны на расстоянии, не меньшем её рабочего диаметра4

2. Способ по п. 1,отличдки- :Щ и и с я тем. Что автоэмиесиойнай система выпалнена в виде Эпементй оболочки прибора..

Изобретение относится к области электронной техники и быть использовано в мякроканальных фотоэлектронных умножителях; Цель изоб- ре-геняя - распмрение функциональных возможностей. На микроканальную усилительную пластину (МКП) 4 подаётся рабочее напряжеН:ие, Приложением на-г :Ьряження к электродам (Э) 6 и 7 получают автоэмиссионный поток 10 элект Ронов. В силу аксиальной симметрии Э 6 и диэлектрического кольца 8 точки автоэмиссии располагаются по окружности. Расстояние между электродом 6 и выходной плоскостью МКП 4 вырра- но из условия равномерного рблученйя МКП 4 потоком электронов и быть не меньше рабочего диаметра МКП 4. Электронная бомбардировка МКП 4 продолжается в течение 30-40 ч при. выходном тokе пластины,, составляющем от тока -ее проводимости. Регулировка тока осуществляется изменением напряжения между Э 6 и 7 После rtpo-, ведения процесса обезгаживайия формируют рабочий фотокатод 1, Э 6 и 7 . и диэлектрическое кольцо 8 являются элементами оболочки прибора. При этом Э 7 служит для подачи напряжения на вход МКП, а Э 6 является -переходной манжетой для соединения частей прибора, 1 з.ц, ф-лы, 2 ил. (Л с KD со СП со СП Фиг.1

5 3

7 4 Ю П //-/ /

Составитель Н.Григорьева Редактор Т.Юрчикова Техред Л.Сердюкова Корректор А.Ильин ;

2560 Тираж 319 /

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. Д/5

По

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектйай,

Подписное