Способ контроля просветляющих покрытий Советский патент 1987 года по МПК G01B11/06 

Изобретение относится к области. измерительной техники и может быть использовано для контроля оптических параметров просветляющих покрытий.

Цель изобретения - Повышение производительности и упрощения процесса контроля, достигаемые за счет сокращения количества различных спектральных диапазонов, при которых производится регистрация потока излучения провзаимодействовавшего с контролируемым покрытием.

На чертеже схематично представлен один из возможных вариантов устройства для реализации способа.

Схема содержит источник 1 света, сменный светофильтр 2, оптическую систему 3, подложку 4 с нанесенным на ней контролируемым покрытием, измерительный фотоприемник 5, блок 6 регистрации, контрольный фотоприемник 7 и стабилизированный источник 8 питания.

Устройство работает следующим образом .

Световой поток от источника 1 света проходит через светофильтр 2 и оптическую систему 3 и попадает на контролируемое просветляющее покрытие, нанесенное на подложку 4. Отраженный от него световой Поток той же оптической системой 3 направляется на измерительный фотоприемник 5,злек трический сигнал с которого поступает в блок 6 регистрации. Одновременно часть светового потока от источника 1 света после прохождения через светофильтр 2 попадает на контрольный фотоприемник 7 j электрический сигнал с которого также поступает в блок 6. Питание источника 1 света осуществляется стабилизированным источником 8 питания,

В блоке 6 регистрации при каждом введенном светофильтре производится одновременная регистрация токов обоих фотоприемников 5 и 7, исключение величин токов, вызванных фоновьми засветками, учитываемых при градуировке по эталонной подложке (не показана) , коррекция тока измерительного фотоприемника 5 в зависимости от отклонения тока контрольного фотоприемника 7 за счет возможного изме- 55 ков.

ВНИИПИ Заказ 875/40

Тираж 678Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

12985322

нения уровня и спектральных характеристик подающего на него светового

потока, после чего вычисляется отношение скорректированных токов и по

его величине и величине одного из скорректированных токов с помощью градуировочных кривых, выраженных математически и заложенных в память блока 6 регистрации, однозначно определяется совокупность искомых величин, например показатель преломления покрытия и его толщина. Полученная информация отражается на выходе блока 6 регистрации или используется для формирования управляющего напряжения, подаваемого непосредственно в- органы технологического процесса, обеспечивая нанесение просветляющих покрытий с требуемыми параметрами.

Элементы оптической системы 3 подбираются и рассчитываются таким образом, чтобы освещенности контролируемого покрытия и поверхности контрольного фотоприемника 7 менялись при изменении параметров излучения источника 1 света пропорционально по сравнению с освещенностью при оптимальном излучении, кроме того, необходимо исключить попадание внутрь оптической системы 3 внешнего света.

ФО рмула изобретения

Способ контроля просветляющих покрытий, заключающийся в том , что облучают контролируемое покрытие полихроматическим излучением, последовательно регистрируют соответствующие

различным участкам спектра потоки излучения-, провзаимодействовавшего с покрытием, а параметры покрытия определяют по соотношению зарегистрированных потоков, отличающийс я тем, что, с целью повышения производительности и упрощения процесса контроля, последовательно вьще- ляют в облучающем излучении коротковолновую и длинноволновую области

спектра, регистрируют потоки провзаимодействовавшего излучения для каждой из вьщеленных областей и опре- делгяют параметры покрытия по соотно- шениш двух зарегистрированных потоТираж 678Подписное

Изобретение касается измерительной техники и может быть использовано для контроля оптических параметров просветляющих покрытий. Целью изобретения является повышение производительности и упрощение процесса контроля благодаря сокращению числа спектральных диапазонов, S которых исследуется контролируемое покрытие. Контролируемое просветляющее пок рытие, напыленное на подложку 4, облучают излучением от источника 1 света, отраженный от него световой поток оптической системой 3 направляется на измеритель или фотоприемник 5, электрический сигнал с которого поступает в блок 6 регистрации, одновременно часть светового потока попадает и на контрольный фотоприемник 7,. в блоке 6 регистрации однозначно определяется совокупность искомых величин . 1 ил. а о (Л