Способ измерения макрорельефа поверхности объекта Советский патент 1987 года по МПК G01B11/30 G01B9/21 

113

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению макрорельефа поверхности объекта.

Цель изобретения повьшение точности измерения за счет сужения ин- терференционньк полос контурной карты в восстановленном изображении исследуемого объекта.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства для измерения макрорельефа поверхности объекта.

Устройство содержит последовательно установленные лазер 1, светодели- тельную пластину 2,зеркало 3, фотопластину 4 для записи голограммы во встречных пучках, кювету 5 с иммерсионной средой 6 в виде жидкости или газа.

Способ осуществляют следующим образом.

Объект 7 помещают в кювету 5 с иммерсионной средой 6. Излучение от лазера 1 делится светоделительной пластиной 2 на два луча, один из которых проходит через нее к фотопластине 4, отражаясь от зеркала 3, и далее-к объекту 7, а другой, отража- ясь от пластины 2, проходит к объекту 7. После первой экспозиции изменяют показатель преломления иммерсионной среды 6 в кювете 5, в которую помещают исследуемый объект 7. Затем Делают вторую экспозицию и снова изменяют показатель преломления среды 6 , Делают третью экспозицию и т.д. При калсдом k-M экспонировании показатель преломления иммерсионной среды 6 выбирают из соотношения .

, -i-Ck-OAn,

где п, - показатель преломления среды при I-м экспонировании; k - порядковый номер экспониро.вания;

ЛП - изменение показателя преломления . В соответствии с этим соотнощени- ем показатель преломления среды 6 перед каждой экспозицией изменяют на одинаковую величину лп, которая определяет цену интерференционных полос на контурной карте.

При многократном экспонировании голограммы с равными экспозициями ак опорной, так и предметной волн нтерференционные полосы существенноi ужаются. Однако при этом на контурой карте возникают промежуточные

22

интерференционные максимумы, которые в отдельных случаях могут служить помехой при расшифрбвке интерферо- грамм. С целью их ослабления каждое экспонирование голограммы можно осуществлять с экспозицией 1ц предмет- ной волны, отвечающей соотнощению

т -т ( - IK-1(4 или

I.

1 Г .Ш1111 1

L(k-l)(N-k)lJ

N - полное число экспозиций;

I, - экспозиция предметной волны при 1-м экспонировании,

q/1 (q выбирается из предполагаемого числа N экспозиций так, чтобы (N+1)-H экспозиция мало влияла на ши- рину полос).

рмула изобретения

1. Способ измерения макрорельефа поверхности объекта, заключающийся в том, что помещают объект в иммерсиг онную среду, производят экспонирование голограммы поверхности, изменяют показатель преломлени я иммерсионной среды, вновь производят экспонирование голограммы поверхности, восста- навливают интерференционную контурную карту поверхности объекта и измеряют макрорельеф поверхности, о т- личающийся тем, что, с целью повьщ1ения точности измерения, осуществляют по крайней мере еще одно экспонирование голограммы поверхности, а показатель п преломления иммерсионной среды при каждом последующем экспонировании выбирают из соотношения

(k-l)un,

где п, - показатель преломления среды при 1-м экспонировании, k - порядковьй номер экспониро- вания;

йп - изменение показателя преломления .

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что каждое после- дующее экспонирование голограммы осуществляют с экспозицией 1 предметной волны, определяемой из соотношения

I 1 ГIN-111 -1

4(k-l)(N-k)j где N - полное число экспозиций; 1 - экспозиция предметной волны на при 1-м экспонировании.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению макрорельефа поверхности объекта. Цель изобретения - повышение точности измерения за счет сужения х. / интерференционных полос контурной карты в восстановленном изображении исследуемого объекта. Помещают объект 7 в кювету 5 с иммерсионной средой 6,, голограмму экспонируют предметным и опорным пучками света многократно (три и более раз), причем показатель п преломления иммерсионной среды при каждом последующем экспонировании выбирают из соотношения ,+(k-l)дп, где п, - показатель преломления среды при 1-м экспо нировании, k - порядковый номер экспонирования, п - изменение показателя преломления. Каждое последующее экспонирование голограммы осуществляют с экспозицией I предметной волны, определяемой из соотношения , (N-l)/(k-l)(N-k)гдe N - полное число экспозиций, 1 - экспозиция предметной волны при 1-м экспонировании. 1 з.п, ф-лы, 1 ил. § (Л