Способ калибровки газовых печей Советский патент 1987 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к области измерения малых потоков газа при калибровке контрольных течей, используемых при контроле герметичности.

Целью изобретения является расширение диапазона калибруемых течей и повышение точности путем обеспечения возможности создания газовых потоков с малыми эталон- концентрациями пробного газа и поддержания одинаковой газовой нагрузки на течеискателе при подаче пробного газа в него.

На чертеже приведена схема устройства для осуществления способа.

Устройство состоит из .мановакуумет- ра 1, установленного на входе натекателя 2. Трехходовой клапан 3 соединен с выходом натекателя 2, с входом клапана 4 и одним коленом трубки масляного дифференциального манометра 5, другое колено трубки которого соединено с входом клапана 6. Один конец трубопровода 7 соединен с масс- спектрометрическим течеискателем 8, другой - с выходами клапанов 4 и 6. Калибруемая течь 9 соединена с входом клапана 10, выход которого соединен с трубопроводом 7. Вакуумный датчик 11, вентиль-натекатель 12 и клапан 13 соединены с трубопроводом 7.

Способ калибровки газовых течей осуществляется следующим образом.

В устройство устанавливают калибруемую течь 9, открывают клапан 10, подают поток пробного раза в течеискатель 8 от калибруемой течи 9 и измеряют показания по течеискателю 8. Затем закрЕ,1вают клапан 10, открывают клапан 4, с помощью трехходового клапана 3 и через патекатель 2 подают в течеискатель 8 поток эталонной смеси газа, равный по величине потоку газа от калибруемой течи 9.

Величину потока эталонной смеси газа с известным содержанием пробного газа определяют, например, накопителем в известном объеме и измерением возрастания давления масляным дифференциальным манометром 5. Малая концентрация пробного газа в относительно большом потоке эталонной смеси газа в пределах 10 S...10 Вт (10-2...

... 10 л. мкм рт. ст./с) обеспечивает сравнение с потоком газа от калибруемой течи 9 относительно малой величины в пределах 10 ... ...10- Вт (10-..10-3л.мкмрт. ст./с). Выравнивание газовой нагрузки на масс-спектрометре течеискателя 8 при раздельной регистрации потока пробного газа калибруемой течи 9 и эталонной смеси газа осуществляется вентилем-натекателем 12. Конп троль величины газовой нагрузки осуществляется с помощью вакуумного датчика 11. Контрольные течи с потоками газа в пределах 10-6...10-2 Вт (10-2...102 л.мкмрт. ст./с) сравниваются с эталонными потоками газа 100%-ной концентрации.

5 Различные концентрации пробного газа в эталонной смеси газа могут быть получены с точностью 1...2%.

Поток газа калибруемой течи Q определяют по формуле

QT QM Вт (л. мкм рт. ст./с),

где Qjj - эталонный поток контрольного газа, Вт;

С - концентрация пробного газа в эталонной смеси, %.

Применение предлагаемого способа не требует наличия сложных установок для калибровки газовых течей.

Формула изобретения

Способ калибровки газовых течей, заключающийся в том, что в масс-спектро.мет- рическую камеру течеискателя поочередно подают поток пробного газа от калибруемой

течр) и эталонный поток пробного газа, измеряют сигналы на течеискателе и определяют величину калибруемой течи путе.м их сравнения, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона калибруемых течей и повышения точности, поток пробного газа от калибруемой течи создают из с.меси пробного газа с технологическим и подают в масс- спектрометрическую камеру в составе этой смеси, величину этого потока пробного газа выбирают равной величине эталонного потока, а при подаче потоков пробного газа поддерживают одинаковую газовую нагрузку на течеискателе.

Изобретение относится к области измерения малых потоков газа и позволяет обеспечить расширение диапазона калибруемых течей и повышение точности измерении путем создания газовых потоков с малыми эталонными концентрациями пробного газа и поддержание одинаковой газовой нагрузки на течеискатель при подаче пробного газа в него. В масс-спектрометрический течеискатель 8 подают равные потоки пробного газа от калибруемой течи 9 и от натекате- ля 2. Эталонный поток через натекатель 2 создают из смеси пробного газа с технологически заданной концентрацией. Газовую нагрузку на течеискатель 8 при подаче потока от калибруемой течи 9 поддерживают равной газовой нагрузке от эталонного потока с помощью вентиля-натекателя 12. 1 ил. 7/ 8 СП V 00 ю оо сх 00 СХ5